��������r�gգ�۶��^,��
������(j��ng)�^����İl(f��)�ͣ�����ݛՓ,���ѽ�(j��ng)��ӿ����һ�������˟o������ĵز�,��
�������ڼ��ҵ�������܊�����������R,�����]�а��c��Ҫ��ጵ���˼,��
�����@Ҳ��ʹ����猦���R���g�����R������׃���Ӆ�,��
��������W(w��ng)��,���{�Ǹ������������ij�ЦҲ�_����픷塣
������������,�����ڵ�����������ЦԒ,��
�����K�ڣ��������˵�עҕ��,����һ���{�ǹ�̙C���[�������ܴ�ِ,����ʽ�_ʼ�ˣ�
����գ�۹���,��
����ֱ���g����˔�(sh��),�����һ�_ʼ�Ď�ǧ�f��ֱ��һ·���j,��
�����ڶ̶̎�犵ĕr�g��(n��i),����ͻ����һ�|���P(gu��n)��
�����@߀������,��
���������ĕr�g��,��ֱ���g���˔�(sh��)߀�ڳ��m(x��)�ϝq��
�������,������ͻ����3�|���P(gu��n),��
����Ҫ�������ɇ������A(y��)�ϣ��ӹ���ֱ���g�ľW(w��ng)·,�������˷���(w��)����(sh��)��,��
��������,���˿�ֱ���g��ͱ����ˣ�
����ֱ���g��˿䏈���^���˔�(sh��),������Ҋ��,�����μ��ܴ�ِ����ȫ���緶����(n��i),�������ж�ô���˲�Ŀ,��
�����ܿ죬һ��������ȹ,���L���ǘ�(bi��o)��(zh��n)���W��Ů�L��ĸ���Ů��,��ʩʩȻ������һ���R�r������v�_��
������������,�������R�^���ڈ��^������һ�Y��
������(d��ng)��Ц���f�������ĸ�λ���e,��ֱ���g�ĸ�λ����,���������ã���
�������gӭ��ҁ�����һ���{�ǹ�̙C���[���ĬF(xi��n)��,�����������M�е�,���ǹ�̙C���ܴ�ِ����
��������һ��,���F(xi��n)���D�r���ׄ�,��
����Ů���ַdz��жYò�ĵȴ�����ͣ�£��@���^�m(x��)�f��,��
���������δ�ِ,��Ҏ(gu��)�tҲʮ�ֺ��Σ���Ȼ�ǹ�̙C,������ȻҪ�������fԒ,��Ҫ����댧(d��o)�w�������fԒ����
���������,����݆��ِ,��һ���O(sh��)Ӌ���߂��h(hu��n)��(ji��)����ِ�Ĺ�̙C��Ҫ�քe�����3um,��1um,��72nm��36nm,��18nm,��10nm��7nm�ȼ��e�İ댧(d��o)�wоƬ,����
��������ِ��ȡ��̭��,������һ�_��̙C�o����ɵ͵ȼ��İ댧(d��o)�wоƬ,���͌����ص���̭�������M����һ�h(hu��n)��(ji��)�ı�ِ�С�����
��������p���`��,��ÿ�_��̙C,��������оƬ�r���������ΙC��������
����Ů�����������푏���������,��
�������ò��f,���@��Ҏ(gu��)�t������������Щ��ª��,��
������Ѫ�ȳ̶�ֱ�Ӿ����M��,��
����ʲô̓�Ķ����v����ҹ�̙C�в���,��
�����e����Щ�]�õ�,���ó�����һ��֪����,��
����������,���Ҍ����ҽ�Bһ� ��ӱ��δ�ِ�Ĺ�̙C����
����������,����nmsl��˾�����®a(ch��n)Ʒ����7nm����̙C������
������һ��,���R�^һ�������Ì���(zh��n)��nmsl��˾�Ĺ�̙C,��
�����F(xi��n)���D�r���ׄ�,��
�����ܿ죬һ�_��һ�_��̙C����̖,�����w����(sh��),�����������˿������˳�����
�������л����ٵĶ��o����һ������,��
�����K��,��
����Ů����������һ�_��̙C���Z���D�rͣ�D����,��
�����������ĵLj���,��������������ʮһ�w�����о����аl(f��)��3nm���߾����̙C������
��������һ����
�����R�^���R�D(zhu��n)���������Ĉ���,��
�����ǵ��控Ц,���п�����һ�_���ο��ơ���܇���Ĺ�̙C߅�ϡ�
�����F(xi��n)���D�r�fȸ�o,��
�����]��c������,��
�������ꡭ��
�������У���������һ���]��ס��Ц������,��
�����o����,����Ц��ͬѩ����һ�㣬�������B�h(hu��n)����(y��ng),��
������������,�����ô�Ц��
����ֱ���g��Ĕ�(sh��)�|�^��,��˲�gҲ����ס�ˡ���
����������������,�������@����B�������ǿ�һ��Цһ��,��3nm���߾����̙C,���l�o�������@ô�f�İ�,�����o���,����
������Ҫ���f�����@�|��,���ͽ^����������һ�_��̙C,���@�����ľ���һ�_��܇����
�����������ġ���̙C��,��Ҫ���B�������3um����̙C���첻�������ǿɾ�����˼�ˡ�����
�����������@һ��,���GĘ�ǁG���ˡ�����
����ֱ���g��,����ȫ�������ڳ�Ц�����ġ�
�����˕r�˿�,��
��������������I(l��ng)��(d��o)��,��Ҳ���@һ��ֱ���߶��P(gu��n)ע��
�����������������k������,���ȴ�����ِ���_ʼ,��
����������
�������R�������x,������ꐇ������k������,��һ��������@ʾ������������ֱ���ă�(n��i)��,��
����ꐇ�������ֱ���Į���,�����K��ֱͨ������Ҫ�����������˳���,��
�����mȻ���R����ͅǵϵĽ�������������,��ꐇ������в��ɵ�Ҳ���ˎֵך⡣
�����ɴ��®������P(gu��n)�������u,��
����ꐇ���Ҫ�f����(d��n)���Dz����ܵġ���
������һ߅,�����ɇ�,����ɫ�m�
��������Ҳ�ھ۾�����Ķ���ֱ���Į���,��
�������в���˼����������һ�����ܲ�ȡ���Єӡ���
��������
�����K��,��
�������f���ڴ���Ŀ���У�Ů��������ǰ��,�����f��,��
�������F(xi��n)�ڣ�������,�����ι�̙C���ܴ�ِ��һ݆,����ʽ�_ʼ����
����Ԓ������,��
�������е����й�̙C,������ͬ ����ʲôָ��һ�㣬������\�D(zhu��n)������,��
�����ǵ��@߅�s�]���κ΄��o����,����������һ�ښ⡣
�����������]�����۾�,��
�����X����һ����һ��Ļ��������R�����ă�(n��i)��,��
�����@���죬���ă�(n��i)��Ҳ��ܼ尾,��
����Ҫ�������Rһֱ�o�����Ě�,���������ǵ���͈Գֲ���ȥ�ˡ���
�����ǵϡ���
������(w��n)ס��,��
�������,��
����ֱ���g�ľW(w��ng)�т���Ҋ�ǵϲ��H�]�Є����������]�����۾�,��
�����D�rը�_���,��
�������������������������@����ô��,���]���۾��Jݔ��,�������f�õ�3nm��̙C��҂��_�_�۽�h,����
�������b���b����ȥ�ˆh,��߀�ܞ�ɶ����
������Ц������,���Ҿ��f�@��һ�v��܇��,��Ҫ���@����܉������댧(d��o)�w�����Ӿ���ţ��մī�C���ͺղ��룡��
������������
�����挦������|(zh��)��,��
�����ǵ��͵ر��_���۾�,��
������һ�룬���첽�ߵ��ˡ���܇����ǰ,��������܇����һ���[�صİ��o,��
����핿��g��
������֨��֨����
����һꇾ�Ľ���Ħ������,��
�����y��ɫ����܇,�������w�D�r��������������܇����߅,��
����ԭ����ק���ŵ�ը�����܇,���˿̾�Ȼ��ͬ׃�ν���һ�㣬�_ʼ�˼���׃��,��
������һ������,��
����ԭ���ġ���܇��������һ���o��Ԏ�����ΑB(t��i),�����F(xi��n)������������ǰ,��
�����ɉK�y��ɫ�Ľ��ٰ壬��ͬ��ꖂ�һ��,�������˰����,��
��������ꖂ㡯�£���Ȼ����һ�_���������Ĺ�̙C,��
������ǰ���@һĻ,��
����핿��g���@���������˵�����,��
�¹�(ji��)�e�`���c�ˈ���,�����ͺ�S�o�ˆT���ڃɷ�犃�(n��i)У���¹�(ji��)��(n��i)��,��Ո���ĵȴ���