���Ұ���ƳҊ,���춦�����@��Щ�Ąӵı��飬�����ѽ�(j��ng)�Q̽��������������е�һЩ����,���D�rЦ�����Z�����ֻ���控�Ą���������춦�ļ��,��

�Y(ji��)���˺��춦��ՄԒ֮��,�������������Լ��a(ch��n)�I(y��)�@�^(q��)�����L�濂��(j��ng)���x־�ε� ��ͬ��,��ҕ����EUV�߶˹�̙C(j��)�Ŀ��Ќ����,���Լ���DUV��̙C(j��)����(d��o)�µ�оƬ���a(ch��n)�a(ch��n)����

֮ǰ�������F(xi��n)��̙C(j��)�аl(f��)���ͻ��,����Ҫ����DUV��̙C(j��)�ϵ�ͻ��,��

��EUV�߶˹�̙C(j��)߀���аl(f��)��(d��ng)��, EUV�cDUV�ą^(q��)�e��Ҫ�ڲ��L�ϡ�

DUV��̙C(j��),���ַQ���������̙C(j��),���L��Ҫ��193�{�ף���EUV��̙C(j��)�ֽИO�����̙C(j��),�����L��Ҫ��13.5�{��,�����LԽ�̣���ζ������Խ��,�������������оƬ����ҲԽ���M(j��n),��

��DUV��̙C(j��)�ѽ�(j��ng)�ܴ󷶇����a(ch��n)28�{�׵�оƬ��14�{�׺�7�{�׮�(d��ng)ȻҲ�����a(ch��n),��ֻ���^��Ʒ�ʲ���,��

28�{�׵�оƬ�ѽ�(j��ng)�܉��w���֙C(j��)֮��Ĵ󲿷֮a(ch��n)�I(y��)�������ˣ����֙C(j��)��Ҫ��һЩ�߶�оƬ,��Ҳ������DUV��̙C(j��)���a(ch��n),�mȻ�����RһЩ����ھ��Ȳ������Ʒ�ʲ��ߵĆ��},����ֻҪ�����a(ch��n)�������@Щ��(x��)֦ĩ��(ji��)�Ć��}���ܿ˷�,��

�����ڿ��м��g(sh��)�ˆTҹ���^�յ��о���,����EUV��̙C(j��)�ϵ�ͻ�ƣ�Ҳֻ�Ǖr�g���}��

ҕ���ꌍ��Һͮa(ch��n)��֮��,�������x�_�˰댧(d��o)�wоƬ�a(ch��n)�I(y��)�@�^(q��),����ȥҕ�����ԟo�˙C(j��)����Ҫ�I(y��)��(w��)��С�����F(tu��n)���Լ������˹�������I(y��),���mȻ�f�г��ŵþo,���w���ϱ��^���ۣ���߀���ի@�M�M,��

����@Щ���¼��g(sh��)��I(y��),���nj��F(xi��n)�a(ch��n)�I(y��)�Y(ji��)��(g��u)��(y��u)�����������I(l��ng)��(j��ng)��(j��)�l(f��)չ��������,�����Ҫ���Ը߶���ҕ�Լ����H�Ե����߷���,��

�Y(ji��)�����a(ch��n)�I(y��)�@�^(q��)����I(y��)��ҕ��֮�󣬳��ҳ����Լ��Č�܇�ص������,��

�ڻ���ǵĸ�����,���������ڊW��A6�ĺ�����λ���]Ŀ�B(y��ng)��,�����H�ϲ��]����Ϣ������һֱ��˼���l(f��)չ��(j��ng)��(j��)�͸��������Ć��},��

ȫʡ�Ľ�(j��ng)��(j��),���ڻ��۰Ĵ󞳅^(q��)һ�w�����댧(d��o)�wоƬ�a(ch��n)�I(y��)�@�^(q��),����ҕ�l�����a(ch��n)�I(y��)�@�^(q��) �Ȏׂ����Ŀ�����I(l��ng)��,�����o�Ɇ������l(f��)����(qi��ng)�ŵ����L���������댧(d��o)�wоƬ,���˹�����,����ҕ�l������δ��ʮ��Ľ^���L(f��ng)��,��

���ϻ��۰Ĵ󞳅^(q��)֮ǰ�Ľ�(j��ng)��(j��)���N(y��n)�ͱ��^�ۺ�,����(j��ng)��(j��)�l(f��)չ�^�����Ɇ��}��

����Ŀǰ���^��(d��n)�ĵľ���,�����o��(c��)�ĸ�����̭���a(ch��n)�ܵĈ�(zh��)����r,���Լ��^(q��)��l(f��)չ������Ć��}��

�mȻ֮ǰ���ύ��һ��,����ʡ��(n��i)����һ��һ��(j��ng)��(j��)�ͷ��Ľ��h,���ѽ�(j��ng)�@����ͨ�^��

�����w�Č�ʩ��r��ô��,����߀����ȥҕ��O(ji��n)��һ��,��

���^�@����ȥҕ�죬���Ҳ��������ĵ�֪ͨ�ط��ɲ�,�����Ǵ��㎧�ׂ������ĵ���ȥ��̽��r,��

���������I(l��ng)��(d��o)��������ȥҕ��,�������Ķ��DŽe����׌�㿴���ģ�һЩ������֪�������Ǻ��y������,��

�����˽����挍����r,�����қQ����һ�Ρ�΢��˽�L�����ռ����кό��H�ĵ�һ���Y��,��

����,���@�ӵ��{(di��o)�鷽ʽ��혱�߀���Ԍ���̭���a(ch��n)�ܵĈ�(zh��)����r�M(j��n)�������Ų� ,����ֱ����һ�e�ɵ�,��

���^���@������ҕ��֮ǰ��߀���Ƚ�Q�ؕ��Ć��},�����һص����֮��,��������Ҋ�˽M�����L��־����

��־��ͬ־,�����@��ȥ�i��ҕ��댧(d��o)�wоƬ�a(ch��n)�I(y��)�@�^(q��)�ĕr��,�����춦ͬ־�M(j��n)���ˮ�(d��ng)�潻�����Ҍ����������ͱ��F(xi��n)�dz��M��,����Ȼ���Ю�(d��ng)���ؕ��ď�(qi��ng)��Ը��,�����Կ��]�����P(gu��n)�����ˡ�����

��־�������ҵđB(t��i)�ȱ�ʾ�@Ӡ����ʡ�L,���ҽ^���]�и������Q������˼,��ֻ���^��ɞ����ؕ��ă�(y��u)�����p�ɲ�߀�кܶ࣬�㲻�ٿ��]һ��������,����ֱ�Ӄ�(n��i)���춦ͬ־�ˆ�,����

����������־������˼��

��ɞ��Լ��ؕ��ĸɲ�,���q���^��֮�a,��

���H��̎�������p�ɲ����@��Ŀ��(bi��o)څ֮���F�����e���^�ߵĸɲ�,��Ҳ�����]�Լ����е����p�˓�(d��n)���@һšλ��

�����l������@��šλ�ĵĺ�����,���Լ��V韵İl(f��)չǰ;,��

����Q(m��o)Ȼ���춦�@ƥ���R����ρ����o�ɕ�����ܶ��˵IJ��M�ͷ��h,��

�@Щ�ˮ�(d��ng)Ȼ���Ҍ������������M,�������뷽�O(sh��)���،��춦���_(d��)���M��

�mȻ���ҽ^���Й�(qu��n)���Q���l��(d��ng)�Լ����ؕ�,����Ҳ��횿��]��εķ�ʽ,���M����Ҫ���һЩ����Ӱ�,��

�¹�(ji��)�e�`���c�ˈ���,�����ͺ�S�o(h��)�ˆT���ڃɷ�犃�(n��i)У���¹�(ji��)��(n��i)��,��Ո���ĵȴ���