���Ұ���ƳҊ���춦�����@��Щ�Ą�(d��ng)�ı���,�������ѽ�(j��ng)�Q̽����(du��)���������(d��ng)�е�һЩ����,���D�r(sh��)Ц�����Z(y��),�����ֻ���控�Ą�(l��)���������춦�ļ��,��

�Y(ji��)���˺��춦��ՄԒ֮��,�������������Լ��a(ch��n)�I(y��)�@�^(q��)�����L(zh��ng)�濂��(j��ng)���x־�ε� ��ͬ��,��ҕ����EUV�߶˹�̙C(j��)�Ŀ��Ќ�(sh��)�(y��n)��,���Լ���DUV��̙C(j��)����(d��o)�µ�оƬ���a(ch��n)�a(ch��n)����

֮ǰ������(sh��)�F(xi��n)��̙C(j��)�аl(f��)���ͻ��,����Ҫ����DUV��̙C(j��)�ϵ�ͻ��,��

��EUV�߶˹�̙C(j��)߀���аl(f��)��(d��ng)��, EUV�cDUV�ą^(q��)�e��Ҫ�ڲ��L(zh��ng)�ϡ�

DUV��̙C(j��),���ַQ���������̙C(j��),���L(zh��ng)��Ҫ��193�{��,����EUV��̙C(j��)�ֽИO�����̙C(j��)�����L(zh��ng)��Ҫ��13.5�{��,�����L(zh��ng)Խ��,����ζ������Խ�ߣ����������(l��i)��оƬ����ҲԽ���M(j��n),��

��DUV��̙C(j��)�ѽ�(j��ng)�ܴ󷶇����a(ch��n)28�{�׵�оƬ,��14�{�׺�7�{�׮�(d��ng)ȻҲ�����a(ch��n)��ֻ���^��Ʒ�ʲ���,��

28�{�׵�оƬ�ѽ�(j��ng)�܉��w���֙C(j��)֮��Ĵ󲿷֮a(ch��n)�I(y��)��������,�����֙C(j��)��Ҫ��һЩ�߶�оƬ��Ҳ������DUV��̙C(j��)���a(ch��n),�mȻ��(hu��)���RһЩ����ھ��Ȳ������Ʒ�ʲ��ߵĆ��},����ֻҪ�����a(ch��n)����(l��i),���@Щ��(x��)֦ĩ��(ji��)�Ć��}���ܿ˷���

�����ڿ��м��g(sh��)�ˆTҹ���^�յ��о���,����EUV��̙C(j��)�ϵ�ͻ��,��Ҳֻ�Ǖr(sh��)�g���}��

ҕ���ꌍ(sh��)�(y��n)�Һͮa(ch��n)��֮��,�������x�_�˰댧(d��o)�wоƬ�a(ch��n)�I(y��)�@�^(q��),����ȥҕ�����ԟo(w��)�˙C(j��)����Ҫ�I(y��)��(w��)��С�����F(tu��n)���Լ������˹�������I(y��),���mȻ�f(shu��)�г��ŵþo,���w���ϱ��^���ۣ���߀���ի@�M�M,��

��?y��n)��@Щ���¼��g(sh��)��I(y��),���nj�(sh��)�F(xi��n)�a(ch��n)�I(y��)�Y(ji��)��(g��u)��(y��u)������(j��)�����I(l��ng)��(j��ng)��(j��)�l(f��)չ��������,�����Ҫ���Ը߶���ҕ�Լ���(sh��)�H�Ե����߷���,��

�Y(ji��)����(du��)�a(ch��n)�I(y��)�@�^(q��)����I(y��)��ҕ��֮��,�����ҳ����Լ��Č�܇�ص�����ǡ�

�ڻ���ǵĸ�����,���������ڊW��A6�ĺ�����λ���]Ŀ�B(y��ng)��,����(sh��)�H�ϲ��]����Ϣ,������һֱ��˼���l(f��)չ��(j��ng)��(j��)�͸��������Ć��}��

ȫʡ�Ľ�(j��ng)��(j��),���ڻ��۰Ĵ󞳅^(q��)һ�w��,���댧(d��o)�wоƬ�a(ch��n)�I(y��)�@�^(q��)����ҕ�l�����a(ch��n)�I(y��)�@�^(q��) �Ȏׂ�(g��)���(xi��ng)Ŀ�����I(l��ng)��,�����o(w��)�Ɇ���(hu��)���l(f��)����(qi��ng)�ŵ����L(zh��ng)��(d��ng)��,����?y��n)��?d��o)�wоƬ���˹�����,����ҕ�l,������δ��(l��i)ʮ��Ľ^��(du��)�L(f��ng)�ڣ�

���ϻ��۰Ĵ󞳅^(q��)֮ǰ�Ľ�(j��ng)��(j��)���N(y��n)�ͱ��^�ۺ�,����(j��ng)��(j��)�l(f��)չ�^��(du��)���Ɇ��},��

����Ŀǰ���^��(d��n)�ĵľ��ǣ����o��(c��)�ĸ�����̭���a(ch��n)�ܵĈ�(zh��)����r,���Լ��^(q��)��l(f��)չ������Ć��},��

�mȻ֮ǰ���ύ��һ�ݣ���ʡ��(n��i)��(sh��)��һ��(du��)һ��(j��ng)��(j��)�ͷ��Ľ��h,���ѽ�(j��ng)�@����ͨ�^,��

�����w�Č�(sh��)ʩ��r��ô�ӣ���߀����ȥҕ��O(ji��n)��һ��,��

���^�@����ȥҕ��,�����Ҳ��������ĵ�֪ͨ�ط��ɲ������Ǵ��㎧�ׂ�(g��)�����ĵ���ȥ��̽��r,��

��?y��n)�������I(l��ng)��(d��o)��������ȥҕ��,�������Ķ��DŽe����׌�㿴���ģ�һЩ������֪�������Ǻ��y������,��

�����˽����挍(sh��)����r,�����қQ����(l��i)һ�Ρ�΢��˽�L�����ռ����кό�(sh��)�H�ĵ�һ���Y��,��

����,���@�ӵ��{(di��o)�鷽ʽ��혱�߀���Ԍ�(du��)��̭���a(ch��n)�ܵĈ�(zh��)����r�M(j��n)�������Ų� ,����(ji��n)ֱ����һ�e�ɵ�,��

���^���@������ҕ��֮ǰ��߀���Ƚ�Q�ؕ��Ć��},�����һص����֮��,��������Ҋ�˽M�����L(zh��ng)��־��,��

��־��ͬ־�����@��ȥ�i��ҕ��댧(d��o)�wоƬ�a(ch��n)�I(y��)�@�^(q��)�ĕr(sh��)��,�����춦ͬ־�M(j��n)���ˮ�(d��ng)�潻��,���Ҍ�(du��)���������ͱ��F(xi��n)�dz��M�⣬��Ȼ���Ю�(d��ng)���ؕ��ď�(qi��ng)��Ը��,�����Կ��]�����P(gu��n)�����ˡ�����

��־����(du��)���ҵđB(t��i)�ȱ�ʾ�@Ӡ,����ʡ�L(zh��ng),���ҽ^��(du��)�]�и������Q������˼,��ֻ���^��ɞ����ؕ��ă�(y��u)�����p�ɲ�߀�кܶ࣬�㲻�ٿ��]һ��������,����ֱ�Ӄ�(n��i)���춦ͬ־�ˆ�,����

����������־������˼��

��ɞ��Լ��ؕ��ĸɲ�,���q���^��֮�a,��

���H��̎��(j��)�����p�ɲ���(du��)�@��(g��)Ŀ��(bi��o)څ֮���F����(j��)�e���^�ߵĸɲ�,��Ҳ�����]�Լ����е����p�˓�(d��n)���@һšλ,��

�����l(shu��)������@��(g��)šλ�ĵĺ��������Լ��V韵İl(f��)չǰ;,��

����Q(m��o)Ȼ���춦�@ƥ���R����ρ�(l��i),���o(w��)�ɕ�(hu��)����ܶ��˵IJ��M�ͷ��h��

�@Щ�ˮ�(d��ng)Ȼ���Ҍ�(du��)�����������M,������(hu��)�뷽�O(sh��)���،�(du��)�춦���_(d��)���M,��

�mȻ���ҽ^��(du��)�Й�(qu��n)���Q���l(shu��)��(d��ng)�Լ����ؕ�����Ҳ��횿��]��εķ�ʽ,���M����Ҫ���һЩ����Ӱ�,��

�¹�(ji��)�e(cu��)�`���c(di��n)�ˈ�(b��o)��,����(b��o)�ͺ�S�o(h��)�ˆT��(hu��)�ڃɷ�犃�(n��i)У���¹�(ji��)��(n��i)��,��Ո(q��ng)���ĵȴ���