�I(l��ng)��(d��o) ���@����(sh��)��(j��)�����Ǹ��d�������_(d��)��������һ�µ�ˮƽ���_��(sh��)���e�����X���҂�����(n��i)��I(y��)������_(d��)���@����(sh��)��(j��)����

����ʡ��Ҳ��������һЩ���A��I(y��)�ģ��_�����ȷe늹�˾�������е��ѽ�(j��ng)��Ͷ�a(ch��n)�ˣ����Ƴ̹�ˇ����e늹�˾�@�ҹ��S���f����ʮ�˼{�׵���Ʒ�����������ٷ�֮��ʮ�����g(sh��)���ʮ�����@��

�e늹�˾�@�ҹ��S��������(n��i)�İ댧(d��o)�w�ИI(y��)̫��Ҫ�ˡ�

������(n��i)��ЩоƬ��I(y��)����Ʒ�ʣ���֮�e늹�˾��������Щ�����B��ʮ��{�׹�ˇ��߀�]�����ء�

�����V���Ļش𣺡������(n��i)�҂��϶����_(d��)���@����Ʒ�ʣ�ʮ���(n��i)�϶��ܳ��^�ٷ�֮��ʮ���ϡ���

�����c(di��n)���S���Ƴ̹�ˇ�������҂����߼{�׵ĕr���ܷ��C�@����Ʒ�ʣ����J(r��n)����Ҫʮ�����׷�ϡ���

�I(l��ng)��(d��o)��Щ�@ϲ��ֻ��Ҫʮ��᣿�ǿ�̫���ˡ�

���^���ֆ��������߼{�������أ���

�����qԥ��һ���f�����������f����Ҫ�ǹ�̙C(j��)�IJ�ࡣ����̕r�g��(n��i)�o����ُ��EUV��̙C(j��)�����҂��������߼{�����µĹ�ˇ���y��Ҫ�Ŵ�ٱ�����

�����^�҈����҂�δ���܉�׷�ϣ�����������҂��Լ���EUV��̙C(j��)����

�I(l��ng)��(d��o)��Ę��Ҳ���F(xi��n)���ڴ�֮ɫ�������P(gu��n)���g(sh��)�о�������I(y��)��������Ϣ������Ŀǰ���g(sh��)���߀��Щ�󣬵��ѽ�(j��ng)�ڴ�̤���ļ���׷�s�ˡ�

��Ҳϣ���@һ�������c(di��n)�������܉��H�ۿ�������(n��i)��оƬ�ИI(y��)�ɞ�����피⣬����վ������֮�p��

�I(l��ng)��(d��o)Ҳ������ܶ����鲻�������ܿ�ģ������Ǻ������Y������ȥ�����g(sh��)��ͻ��Ҳ��Ҫ�r�g��

߀�ã��F(xi��n)��׷�s߀��������

�����ͬ־�����\�Ƽ���ɰ��w�ˆ᣿��

������R�ϻش𣺡�����ǰ�ѽ�(j��ng)ȫ����ɡ��ӹ�˾�ĸ߹�Ҳ���^���ˣ��oһ��ʧ����

�����^���Œӵ�һЩ�ˆT���аٷ�֮ʮ������ʧ�����^Ҳ��ȥ���҂�����(n��i)������оƬ�O(sh��)Ӌ��I(y��)�����\����Ҳ��Ƹ��һЩ���P(gu��n)�˲����a(b��)�䣬Ҳ�в����ǏĿ����{(di��o)�^���ģ����g(sh��)�F(tu��n)꠺͹���F(tu��n)꠶��U(ku��)���ˡ���

���O�����Z������Ͷ�룬�����䌍(sh��)��Ŀǰ�����҇���(n��i)피��оƬ�O(sh��)Ӌ��I(y��)���ڸ����\�Ƽ�ǢՄُ�IһЩ�ܘ�(g��u)���g(sh��)���ڙ�(qu��n)����(zh��n)���O(sh��)Ӌ���a(ch��n)�ĸ߶��֙C(j��)��ƽ��оƬ����

��߀��һЩ��I(y��)Ҳ�ڽ��|�У���Ҫ�O(sh��)Ӌ��܇оƬ�ȡ���

�I(l��ng)��(d��o)����Ć���������Щ���\�Ƽ����ˆT�]�и��I(y��)�f(xi��)�h�᣿��

��Щ�ˣ����\�Ƽ����@ô���Sȥ����(n��i)������оƬ�O(sh��)Ӌ��I(y��)�ˣ���ӛ�Ç���Ƽ���I(y��)�����I(y��)�f(xi��)�hʮ�ֿ��أ���(d��ng)�����I(l��ng)����(n��i)��(chu��ng)�����A�S�ď��������Ƿŗ��˷e늹�˾�Ĺə�(qu��n)���ű����S�^�m(x��)���¾��A�ИI(y��)��

֮������?y��n)錣���֙?qu��n)���ٱ��ظ��x�_���M(j��n)��������I(y��)�e���ˎ��꣬�@�����»ص��˾��A�ИI(y��)��

������ጵ�����һЩ��Ҫ�ĹǸɶ��и��I(y��)�f(xi��)�h����Щ�Ƿŗ���һЩ�ڙ�(qu��n)�����ׅf(xi��)����Щ�����۵���I(y��)�o���r����߀��һЩ��̫��Ҫ�ļ��g(sh��)�ˆT�����ǰ��\�Ƽ��o���i������һЩ���ӣ���Щ���۵��ˆT�������������i�ǡ���

��������Ҫ�Dz�Ը������ǣ��O��Ҳ������i����߅�[��̫������

��(d��ng)Ȼ�i����߅Ҳ������һЩ���棬׌���\�Ƽ����w�ĕr���ٸ�����һЩ�ɱ���

�¹�(ji��)�e�`���c(di��n)�ˈ��������ͺ�S�o(h��)�ˆT���ڃɷ�犃�(n��i)У���¹�(ji��)��(n��i)�ݣ�Ո���ĵȴ���