����Ȼ��̙C(j��)Ҳ�����ˣ��Ǿ͜�(zh��n)����������Ĥ���,���ゃ�o�Ҝ�(zh��n)��ò���,���Ҽҿ��ÿ��Ǻ��s�r(sh��)�g�ģ����Ҫ��12��ǰ,�����14�{��оƬ���a(ch��n),�,���
��������������f����
���l(f��)ǰ�������,��ϣ��ʲô�r(sh��)���õ�14�{���p��оƬ,�������؏�(f��)���������12��ǰ����?y��n)?2��12���ǾW(w��ng)�j(lu��)ُ�﹝(ji��),�������ƽ�_�����u؛�ѳ����Ĺ�(ji��)��,��
�ԏ�����W(w��ng)�����|ƽ�_,���K����ُ�ȾW(w��ng)ُƽ�_��܊ͻ��,�������Ĺ�(ji��)��Ҳ�_ʼ���ࡣ
3��14̖,����ɫ���˹�(ji��),��
4��14̖����ɫ���˹�(ji��),��
5��20,��21̖�����˹�(ji��),��
11��11̖,�����ُ�﹝(ji��)��
12��12̖,���W(w��ng)�j(lu��)ُ�﹝(ji��),��
�@Щ��(ji��)�՟oһ���⣬���ƽ�_����(hu��)�������X����,���e���p11���p12,��ÿ�궼��(hu��)��������I�I�I�������˵��˳�,��
�F(xi��n)���ѽ�(j��ng)�R��Ҫ��10����Ѯ,�����Ҳ��ָ���̶�һ��(g��)�r(sh��)�g���܉�?q��)��F(xi��n)�p��̎�������a(ch��n),��������������Ş�l(f��)��������,���������p12�@��(g��)����Sُ�﹝(ji��)�ϡ�
��������ĕr(sh��)�g������,��12��10̖���_��Ʒ�l(f��)����(hu��),��12��11̖ȫƽ�_�ϼ��A(y��)�ۣ�12��12̖��ʽ�M(j��n)������Ş�l(f��)��,��
������ ������һ�,������F(xi��n)�ڟo�r(sh��)�o�̲���ˢ�������˲Ŷ��ֵ��J(r��n)֪��
DUV��̙C(j��)���Ȳ���,��
����������ع⼼�g(sh��),��
�]�����^14�{����Ĥ��,��
���H�Ԅ�(d��ng)��������
���O������,��
�@��(g��)����զ�@ô׃�B(t��i)�,���
�桤��̌���,��
����Ҋ�������@���°͵�ģ��,�����ѵ�������С���Ǻ��mASML��˾�W(xu��)�ɚw���ģ����ö�һ�c(di��n),���Ǻ�����������,����
��˻������
����������һ�ڛ���,���B�����Ե���о���H���̎�Ҳ���ɵ�¶��Ĩ�@�@,��
�ư��ˣ�
�@�����ư���,��
����Ǻ��mASML��˾��ǰ�T��,����ô�����ع⼼�g(sh��)���Լ�����Ĥ�����칤ˇ���ܽ����,���@����λ피�����˲�,��
������ͫ���W�^Ĩ�ʼɣ���ǵ���������ʲô�\(y��n),�����܌��@λ피��˲���������,��
���ҿ϶���н�Y��������,����о���H�^�����뉺���d�Ƽ��ģ��ɞ�ʲô�����Ҳ����������@�N피��Ĺ���˲���,��
���dz����wĽ,��߀�м��ʣ������ں�,���ޞ�ʲô������ϰ岻����������,��
Ҋ�����S�S��ԇ����������̈́�(d��ng)��,����ǟo�ε�Ц��Ц,�����������mȻ�������c(di��n)�s����Ҳ�����@һ����,�����챼���@ô��,��߀����ȥ�Ԃ�(g��)��a(b��)���꾫���Ժ�,����ȥ�������Ĥ��������,�,���
���������ֵܡ,���
����������һ,���S���f��������o��һ���Ϝ�(zh��n)����ϵĕr(sh��)�g������Ϳ����_��,�,���
�����аɡ,���
Ҋ��Ǻ��������l(f��)Ԓ��,������Ҳ���ڏ�(qi��ng)��
�������������c(di��n)����,���^�m(x��)ȥ�ưɳ�����,��
��Ȼ��Ƕ��@���f�ˣ���Ҳֻ���ٵȵ�,��������(zh��n)����Ĥ��IJ���߀����Ҫ�r(sh��)�g��,��
����ȻҪ����Dz���߿������]��(g��)�ط�,����
���̿���������f����
�����ի@����,��Ī�^����о���H�ˡ�
һ���C��(sh��)�����ع⼼�g(sh��)����ͻ�ƹ�̙C(j��)����,����ô���ஔ(d��ng)����оƬ�I(l��ng)����˴Ώ�����܇,���ݺݵس����ׇ�һ����,��
��EUV��̙C(j��)����,��
ƨ�Û]��,��
������Ҳ�]�ܽ^,�����˂�(g��)Ո���քݵ���
���Ҽ�Ȼ�ǖ|����,����ô��ֻ�����],��ꐿ�,�����ֵ�,�����ϸ����߰�,�����ѽ�(j��ng)�ږ|��������Ǽ��͏d����λ��,�����֮��,��߀�����p�҂�ħ����ҹ��,�,���
ħ����������о���H�رP������������Ǐ�����w��,����Ҫ�����ֻ���],����Ո�ͣ�����ľͲ�������������,��
���L(f��ng)�磬�@�DZ��Ҫ�еġ�
����
��һ߅,��
���,������^(q��)��
���d�Ƽ������w�(y��n)��,��
��ί�����Ј��{(di��o)���΄�(w��)��Ҧ�����H���H�飬���Լҵ��w�(y��n)��䮔(d��ng)�����Ј��{(di��o)���ˆT,��
���˾����{(di��o)��,����߀��������V��W(w��ng)��,���l(f��)��������̖�ľW(w��ng)�j(lu��)�{(di��o)�І���,������,���F(xi��n)�����dX1�֙C(j��)�ęC(j��)��Ҳ�Ѓ�(n��i)�����{(di��o)�І���,��
���¡�����,�����dX1�C(j��)��,����Ӌ(j��)�����{(di��o)�І���,������(y��ng)�����ײ�ͬ���{(di��o)���}Ŀ,��
��(d��ng)�����M(j��n)��,�����w�(y��n)���dX1�֙C(j��),��Ҧ�������R��ǰ��Ә����
������,���������d�Ƽ���˾�Ј�����,���������M(f��i)����犕r(sh��)�g,����æ��һ���{(di��o)�І����,����
��ԃ������λ���������������w�^������,�������ӑ�(y��ng)ԓ�Ǹ����W(xu��)У���ŌW(xu��)�ČW(xu��)��,��
��(d��ng)�������Ƿ�Ը�����{(di��o)�І���,��������һ㶣��o�����c(di��n)�^�ش����
����(d��ng)Ȼ�˿���,���㆖��,�,���
���x�x�,���
Ҧ���ȶYò�Եص��x��һ,���ó��S��ӛ�±�������Ո�����njW(xu��)����,����
����������һ�е�,����
�������F��,����
����,����
���õ���ͬ�W(xu��),��Ո����ُ�C(j��)�A(y��)�x�Ƕ���,�����X���҂�Ʒ�Ƶ���һ�c(di��n)����������,����
����ُ�C(j��)�A(y��)�㲻����ǧ�K�ɣ��@��(g��)�r(ji��)λ�܉��x����֙C(j��)����,�����dX1�֙C(j��)���ÿ��ԝM���ҵĴ�����,������ �f������ٶȷdz���,���@���ұ��^ϲ�g��һ�c(di��n)�,���
��ͬ�W(xu��)���������ش�
Ҧ���ȿ���ӛ䛵�ͬ�r(sh��),���^�m(x��)��������Ҳ�����f,�������^ϲ�g���W����@��(g��)���ܣ���
���ǵ�,��ʮ��犝M늣��ゃ�����Z���@���f,�,���
���������ن�һ��,���������f���dX1�֙C(j��)���ԝM�����ֵ��ÙC(j��)���]�НM����Dz��ַ�������f�f��,����
��ͬ�W(xu��)�qԥ��һ��(hu��),�����X���c(di��n)�f������,��
�����d�Ƽ��ľ����w�(y��n)�꣬�f���dX1�֙C(j��)��ȱ�c(di��n),���@����(hu��)�������s��ȥ��,��
Ҧ���ȿ�������],����ο���������Է��Ĵ�đ���f���҂��{(di��o)���Ñ�������Ǟ����պ���Ը��M(j��n),���������ゃ���M��Įa(ch��n)Ʒ,����
Ԓ�f���@����,���@λ��ͬ�W(xu��)Ҳ�]]�ˣ��²۵��������dX1�֙C(j��)��ȱ�c(di��n)�䌍(sh��)�ܶ�,�����MѪ��Ҳֻ�ǽ�Q�˂�(g��)��Ļ���Ɇ��}�,���
������늳ذ�,��ֻ��3000����,�����ڵĴ��ס��F�N,���H�i���֙C(j��)���ѽ�(j��ng)3500��4000������늳���,�������ゃ��늳ص�늺ܿ죬���c(di��n)���|(zh��),�,���
������늳؆��}���⣬���յ��R�^����Ҳ����,���e��ҹ�g����,������̓��(bi��o)̫��(y��n)��,���B����4c�֙C(j��)���Ȳ��^,�,���
��߀���ゃ�īC����5420̎�������˼Ҷ������810̎������,����ʲô�ゃ߀Ҫ�����һ��(g��)�汾�Įa(ch��n)��,����
��߀�а�������
Ҧ���Ȳ���ӛ������W(xu��)���h�������ԃr(ji��)���֙C(j��)�����M(f��i)����,��
�������W���,��Mϵ����Ļ���_�����оƬ�@������,�������������������²���һ��,��
���Կ�����������]���@����ȥ�����֙C(j��)�u�r(ji��),�����dX1�֙C(j��)����Ƕ����s�ƙC(j��),�������ϲ����_����ǷN�C(j��)��,��
���^�Ǖr(sh��)��Ҳ�]�k�����Y��Ҳ�ѽ�(j��ng)������,��
ȥ���y���J��,��
��(d��ng)�r(sh��)�ǷN�l�R�Ʈa(ch��n)����r���y��Ҳ�����Q(m��o)Ȼ�ſ�,��
�������W�����_�����оƬҲ�]�ع�,����������֪�����d�Ƽ���˾�з��P�Ŀ��ܡ�
Ҫ����ǰ֪����Ԓ,����������Ҫ�y�з��J,������ͬ��Ҳ��(hu��)�s�����T���X��ɡ�
Ҧ������ȫ��ӛ���ɺ�,������ӛ�±�������Ҳ�����f,�����Ǜ_�����W��䡢�_�����оƬ,��Mϵ����Ļ������ُ�I�҂������dX1�֙C(j��)�MѪ��,����
���ǵģ���
��ͬ�W(xu��)�c(di��n)���c(di��n)�^,��
��������҂����d�Ƽ��Ƴ�һ��֧�ָ��߳�늹���,���Ĕz������ȫ�������O���֙C(j��)�ĸ߶���Ş�����X�ÿ��Զ��r(ji��)����,����
Ҧ�����^�m(x��)ԃ��,��
�@λ��ͬ�W(xu��)�м�(x��)�����룬�J(r��n)�����(f��)�������Ҳ�֪����������,����������f���ղ�ݔ�O���֙C(j��),�����ҿ��Խo����ىK������ij�늹���,��Ҳ���ԼӃɰىK,����ǧ���Ҷ����Խ��ܰɡ,���
�����^,����
��Ԓ�hһ�D(zhu��n)���Ԏ�������������������������,���ゃ�e����(li��n)�l(f��)��̎��������,����ͬ�W(xu��)���_�s�ƙC(j��)�쿨�����ˣ���
�ԏ�(li��n)�l(f��)�Ʊ������ٰ˺�,�����͏صױ��Ñ��Ј��ٗ�,��
���L���Ñ�Ⱥ�w�njW(xu��)�����W(xu��)����̫�о����о��ԃr(ji��)���ˣ������ɲ���(hu��)�����̶�,��
Ҧ�����ֺ��Ά��˃ɂ�(g��)���}��,������䓹P���x�������x�x��Ը�Ⅲ�c�҂����{(di��o)�У��@߅Ҳ����һ�ݾ���С�YƷ����,�,���
������߀�жYƷ��,����
��ͬ�W(xu��)����һϲ,����֪���Ж|���o�����žͲ��²���ô����,��
������һ��,����
Ҧ��������ӛ�±�,���첽�����w�(y��n)��ı���^(q��)��,���ó�һ��(g��)������ѩ��,��Ц����������ן�,�����む(g��)ѩ��,���
���x�x�x�x�,���,����
�����������w�(y��n),���ҾͲ��L��һλ��ˡ,���
���õ���Ů���,����
��Ҧ����߀�ھ����{(di��o)�Еr(sh��)���W(w��ng)�j(lu��)�{(di��o)�е��ٶ��@Ȼ����,��
��ƽ�_,��
���d�Ƽ��ٲ��l(f��)�����Ј��{(di��o)�І������ײ��@ʾ�ą��c�˔�(sh��)�ѽ�(j��ng)��4�f���˅��c,��Ŀǰ߀̎�ڽy(t��ng)Ӌ(j��)�A��,������֧�ֲ鿴��
���{(di��o)�І����Ć��},���ѽ�(j��ng)�uՓ�^(q��)ը�_���,��
���������(hu��)ë���������·�ꐿ��f�˾�ʲôԒ���������Ҫ�Ƴ�һ���a(b��)�����dX1ȫ��ȱ�ݵ��֙C(j��),���F(xi��n)���@��(g��)���ڵ��{(di��o)�І���,������X����(g��)������Ҫ���������ˣ���
���A��(qi��ng)�����硿����������,�������{(di��o)�І����Ć��},�����Xꐿ����߶��Ј��đB(t��i)�Ⱥܕ����,������(hu��)��Ҫ���O���֙C(j��)����(zh��n)�˰ɣ���
����(qi��ng)���i�С������ゃ��ע���,���������f���ߵij�늹���,���y���f���W����ѽ�(j��ng)ͻ����120W���M(j��n)܊���ߵij�늹�����,����
��ţ��_�졿�������dX1���_�Ј�,�����dX2�y(t��ng)���Ј���ꐿ������ǎ��I(l��ng)���d�Ƽ��������������,���@�Ǹ߶��Ј�,�����Ј���ȫ��Ҫ�Ĺ�(ji��)�డ�,��,�����
��ذ��С�����������ꐿ����ܰ����dX1ȱ���a(b��)��,���п���,����ֻ���f�п��ܹ������d�Ƽ���˾���п��ܰ��O����˾������,����
�¹�(ji��)�e(cu��)�`,���c(di��n)�ˈ�(b��o)������(b��o)�ͺ�S�o(h��)�ˆT��(hu��)�ڃɷ�犃�(n��i)У���¹�(ji��)��(n��i)��,��Ո���ĵȴ�,��