����Ȼ��̙C(j��)Ҳ������,���Ǿ͜�(zh��n)����������Ĥ���,���ゃ�o�Ҝ�(zh��n)��ò���,���Ҽҿ��ÿ��Ǻ��s�r(sh��)�g�ģ����Ҫ��12��ǰ,�����14�{��оƬ���a(ch��n)�,���
��������������f��,��
���l(f��)ǰ������ǣ�ϣ��ʲô�r(sh��)���õ�14�{���p��оƬ�������؏�(f��)���������12��ǰ,����?y��n)?2��12���ǾW(w��ng)�j(lu��)ُ�﹝(ji��),�������ƽ�_(t��i)�����u؛�ѳ����Ĺ�(ji��)�ա�
�ԏ�����W(w��ng),�����|ƽ�_(t��i),���K����ُ�ȾW(w��ng)ُƽ�_(t��i)��܊ͻ�������Ĺ�(ji��)��Ҳ�_ʼ����,��
3��14̖(h��o),����ɫ���˹�(ji��)��
4��14̖(h��o),����ɫ���˹�(ji��),��
5��20��21̖(h��o),�����˹�(ji��),��
11��11̖(h��o)�����ُ�﹝(ji��),��
12��12̖(h��o),���W(w��ng)�j(lu��)ُ�﹝(ji��)��
�@Щ��(ji��)�՟oһ����,�����ƽ�_(t��i)����(hu��)�������X����,���e���p11���p12��ÿ�궼��(hu��)��������I�I�I,�������˵��˳�,��
�F(xi��n)���ѽ�(j��ng)�R��Ҫ��10����Ѯ�����Ҳ��ָ���̶�һ��(g��)�r(sh��)�g,���܉�?q��)��F(xi��n)�p��̎�������a(ch��n),��������������Ş�l(f��)�������ڣ��������p12�@��(g��)����Sُ�﹝(ji��)��,��
��������ĕr(sh��)�g������,��12��10̖(h��o)���_��Ʒ�l(f��)����(hu��)��12��11̖(h��o)ȫƽ�_(t��i)�ϼ��A(y��)��,��12��12̖(h��o)��ʽ�M(j��n)������Ş�l(f��)��,��
������ ������һ㶣�����F(xi��n)�ڟo�r(sh��)�o�̲���ˢ������(du��)�˲Ŷ��ֵ��J(r��n)֪,��
DUV��̙C(j��)���Ȳ���,��
����������ع⼼�g(sh��)��
�]�����^14�{����Ĥ��,��
���H�Ԅ�(d��ng)������,��
���O������,��
�@��(g��)����զ�@ô׃�B(t��i)��,��
�桤��̌���,��
����Ҋ�������@���°͵�ģ�ӣ����ѵ�������С���Ǻ��mASML��˾�W(xu��)�ɚw����,�����ö�һ�c(di��n),���Ǻ�����������,���
��˻������
����������һ�ڛ���,���B�����Ե���о���H���̎�Ҳ���ɵ�¶��Ĩ�@�@��
�ư���,��
�@�����ư���,��
����Ǻ��mASML��˾��ǰ�T������ô�����ع⼼�g(sh��),���Լ�����Ĥ�����칤ˇ���ܽ����,���@����λ피�(j��)����˲ţ�
������ͫ���W�^Ĩ�ʼ�,����ǵ���������ʲô�\(y��n),�����܌��@λ피�(j��)�˲��������¡�
���ҿ϶�,��н�Y��������,����о���H�^��(du��)���뉺���d�Ƽ��ģ��ɞ�ʲô�����Ҳ����������@�N피�(j��)�Ĺ���˲���,��
���dz����wĽ,��߀�м��ʣ������ں�,���ޞ�ʲô������ϰ岻����������,��
Ҋ�����S�S��ԇ����������̈́�(d��ng)��,����ǟo�ε�Ц��Ц,�����������mȻ�������c(di��n)�s����Ҳ�����@һ����,�����챼���@ô��,��߀����ȥ�Ԃ�(g��)��a(b��)���꾫���Ժ�,����ȥ�������Ĥ��������,����
����(du��)�����ֵ�,�,���
����������һ���S���f��������o��һ���Ϝ�(zh��n)����ϵĕr(sh��)�g,������Ϳ����_��,����
�����а�,�,���
Ҋ��Ǻ��������l(f��)Ԓ�ˣ�����Ҳ���ڏ�(qi��ng)��,��
�������������c(di��n)����,���^�m(x��)ȥ�ưɳ����ġ�
��Ȼ��Ƕ��@���f��,����Ҳֻ���ٵȵ�,��������(zh��n)����Ĥ��IJ���߀����Ҫ�r(sh��)�g�ġ�
����ȻҪ���,���Dz���߿������]��(g��)�ط�,����
���̿���������f����
�����ի@����,��Ī�^����о���H��,��
һ���C��(sh��)�����ع⼼�g(sh��)����ͻ�ƹ�̙C(j��)���ƣ���ô���ஔ(d��ng)����оƬ�I(l��ng)����˴Ώ�����܇,���ݺݵس����ׇ�һ����,��
��EUV��̙C(j��)���ƣ�
ƨ�Û]��,��
������Ҳ�]�ܽ^,�����˂�(g��)Ո(q��ng)���ք�(sh��)����
���Ҽ�Ȼ�ǖ|��������ô��ֻ�����],��ꐿ�,�����ֵܡ����ϸ����߰�,�����ѽ�(j��ng)�ږ|��������Ǽ�(j��)�͏d����λ��,�����֮�࣬߀�����p�҂�ħ����ҹ��,�,���
ħ����������о���H�رP������������Ǐ�����w��,����Ҫ�����ֻ���],����Ո(q��ng)�ͣ�����ľͲ�������������,��
���L(f��ng)��,���@�DZ��Ҫ�е�,��
����
��һ߅��
���,������^(q��),��
���d�Ƽ������w�(y��n)�ꡣ
��ί�����Ј�(ch��ng)�{(di��o)���΄�(w��)��Ҧ�����H���H��,�����Լҵ��w�(y��n)��䮔(d��ng)�����Ј�(ch��ng)�{(di��o)���ˆT,��
���˾����{(di��o)�У���߀��������V��W(w��ng)��,���l(f��)��������̖(h��o)�ľW(w��ng)�j(lu��)�{(di��o)�І���,�����ң��F(xi��n)�����dX1�֙C(j��)�ęC(j��)��Ҳ�Ѓ�(n��i)�����{(di��o)�І���,��
����,�����ϡ����dX1�C(j��)��,����Ӌ(j��)�����{(di��o)�І���,����(du��)��(y��ng)�����ײ�ͬ���{(di��o)���}Ŀ��
��(d��ng)�����M(j��n)��,�����w�(y��n)���dX1�֙C(j��),��Ҧ�������R��ǰ��Ә����
�����ã��������d�Ƽ���˾�Ј�(ch��ng)����,���������M(f��i)����犕r(sh��)�g,����æ��һ���{(di��o)�І�����
��ԃ������λ�������,��������w�^������,�������ӑ�(y��ng)ԓ�Ǹ����W(xu��)У���ŌW(xu��)�ČW(xu��)����
��(d��ng)�������Ƿ�Ը�����{(di��o)�І���,��������һ�,���o�����c(di��n)�^�ش����
����(d��ng)Ȼ�˿��ԣ��㆖��,�,���
���x�x�,���
Ҧ���ȶYò�Եص��x��һ,���ó��S��ӛ�±�������Ո(q��ng)�����njW(xu��)�����
����(du��),������һ�е�,����
�������F�գ���
����,�,���
���õ���ͬ�W(xu��)��Ո(q��ng)����ُ�C(j��)�A(y��)�x�Ƕ���,�����X���҂�Ʒ�Ƶ���һ�c(di��n)����������,����
����ُ�C(j��)�A(y��)�㲻����ǧ�K�ɣ��@��(g��)�r(ji��)λ�܉��x����֙C(j��)����,�����dX1�֙C(j��)���ÿ��ԝM���ҵĴ������� �f������ٶȷdz,���,���@���ұ��^ϲ�g��һ�c(di��n)�,���
��ͬ�W(xu��)���������ش�,��
Ҧ���ȿ���ӛ䛵�ͬ�r(sh��)���^�m(x��)��������Ҳ�����f,�������^ϲ�g���W����@��(g��)����,����
���ǵģ�ʮ��犝M�,���ゃ�����Z���@���f,����
���������ن�һ��,���������f���dX1�֙C(j��)���ԝM�����ֵ��ÙC(j��)����,���]�НM����Dz��ַ�������f�f���
��ͬ�W(xu��)�qԥ��һ��(hu��),�����X���c(di��n)�f������,��
�����d�Ƽ��ľ����w�(y��n)�꣬�f���dX1�֙C(j��)��ȱ�c(di��n),���@����(hu��)�������s��ȥ��,��
Ҧ���ȿ�������]����ο���������Է��Ĵ�đ���f,���҂��{(di��o)���Ñ�������Ǟ����պ���Ը��M(j��n),���������ゃ���M��Įa(ch��n)Ʒ�,���
Ԓ�f���@����,���@λ��ͬ�W(xu��)Ҳ�]]�ˣ��²۵��������dX1�֙C(j��)��ȱ�c(di��n)�䌍(sh��)�ܶ�,�����MѪ��Ҳֻ�ǽ�Q�˂�(g��)��Ļ���Ɇ��},����
������늳ذ�,��ֻ��3000����,�����ڵĴ���,���F�N���H�i���֙C(j��)���ѽ�(j��ng)3500��4000������늳���,�������ゃ��늳ص�늺ܿ�,�����c(di��n)���|(zh��)�,���
������늳؆��}����,�����յ��R�^����Ҳ���У��e��ҹ�g����,������̓��(bi��o)̫��(y��n)��,���B����4c�֙C(j��)���Ȳ��^�,���
��߀���ゃ�īC����5420̎����,���˼Ҷ������810̎�����ˣ���ʲô�ゃ߀Ҫ�����һ��(g��)�汾�Įa(ch��n)��,����
��߀�а�������
Ҧ���Ȳ���ӛ���,���W(xu��)���h�������ԃr(ji��)���֙C(j��)�����M(f��i)������
�������W���,��Mϵ����Ļ,���_�����оƬ�@�����⣬�����������������²���һ��,��
���Կ�����,������]���@����ȥ�����֙C(j��)�u(p��ng)�r(ji��)�����dX1�֙C(j��)����Ƕ����s�ƙC(j��),�������ϲ����_(t��i)����ǷN�C(j��)��,��
���^�Ǖr(sh��)��Ҳ�]�k�����Y��Ҳ�ѽ�(j��ng)������,��
ȥ���y���J��,��
��(d��ng)�r(sh��)�ǷN�l�R�Ʈa(ch��n)����r���y��Ҳ�����Q(m��o)Ȼ�ſ�,��
�������W�����_�����оƬҲ�]�ع�,����������֪�����d�Ƽ���˾�з��P�Ŀ��ܡ�
Ҫ����ǰ֪����Ԓ,����������Ҫ�y�з��J,������ͬ��Ҳ��(hu��)�s�����T���X��ɡ�
Ҧ������ȫ��ӛ���ɺ�,������ӛ�±�������Ҳ�����f,�����Ǜ_�����W��䡢�_�����оƬ��Mϵ����Ļ������ُ�I�҂������dX1�֙C(j��)�MѪ��,����
���ǵ�,����
��ͬ�W(xu��)�c(di��n)���c(di��n)�^��
��������҂����d�Ƽ��Ƴ�һ��֧�ָ��߳�늹���,���Ĕz������ȫ�������O���֙C(j��)�ĸ߶���Ş,�����X�ÿ��Զ��r(ji��)���٣���
Ҧ�����^�m(x��)ԃ��,��
�@λ��ͬ�W(xu��)�м�(x��)������,���J(r��n)�����(f��)�������Ҳ�֪���������ã���������f���ղ�ݔ�O���֙C(j��),�����ҿ��Խo����ىK,������ij�늹��ʣ�Ҳ���ԼӃɰىK,����ǧ���Ҷ����Խ��ܰɡ,���
�����^,����
��Ԓ�hһ�D(zhu��n)���Ԏ�������������������������,���ゃ�e����(li��n)�l(f��)��̎��������,����ͬ�W(xu��)���_(t��i)�s�ƙC(j��)�쿨�����ˣ���
�ԏ�(li��n)�l(f��)�Ʊ������ٰ˺�,�����͏صױ��Ñ��Ј�(ch��ng)�ٗ�,��
���L���Ñ�Ⱥ�w�njW(xu��)�����W(xu��)����̫�о����о��ԃr(ji��)����,�������ɲ���(hu��)�����̶�,��
Ҧ�����ֺ�(ji��n)�Ά��˃ɂ�(g��)���}������䓹P���x�������x�x��Ը�Ⅲ�c�҂����{(di��o)��,���@߅Ҳ����һ�ݾ���С�YƷ����,����
����,��߀�жYƷ��,����
��ͬ�W(xu��)����һϲ����֪���Ж|���o,�����žͲ��²���ô����,��
������һ�¡,���
Ҧ��������ӛ�±�,���첽�����w�(y��n)��ı���^(q��)���ó�һ��(g��)������ѩ�⣬Ц����������ן�,�����む(g��)ѩ��,����
���x�x�x�x�,��,�����
�����������w�(y��n),���ҾͲ��L��һλ���,����
���õ���Ů���,����
��Ҧ����߀�ھ����{(di��o)�Еr(sh��),���W(w��ng)�j(lu��)�{(di��o)�е��ٶ��@Ȼ���졣
��ƽ�_(t��i),��
���d�Ƽ��ٲ��l(f��)�����Ј�(ch��ng)�{(di��o)�І���,���ײ��@ʾ�ą��c�˔�(sh��)�ѽ�(j��ng)��4�f���˅��c��Ŀǰ߀̎�ڽy(t��ng)Ӌ(j��)�A��,������֧�ֲ鿴,��
���{(di��o)�І����Ć��}���ѽ�(j��ng)�u(p��ng)Փ�^(q��)ը�_���,��
���������(hu��)ë���������·�ꐿ��f�˾�ʲôԒ����,�����Ҫ�Ƴ�һ���a(b��)�����dX1ȫ��ȱ�ݵ��֙C(j��)���F(xi��n)���@��(g��)���ڵ��{(di��o)�І���,������X����(g��)������Ҫ����������,����
���A��(qi��ng)�����硿�����������������{(di��o)�І����Ć��},�����Xꐿ���(du��)�߶��Ј�(ch��ng)�đB(t��i)�Ⱥܕ����,������(hu��)��Ҫ��(du��)�O���֙C(j��)����(zh��n)�˰ɣ���
����(qi��ng)���i�С������ゃ��ע���,���������f���ߵij�늹���,���y���f���W����ѽ�(j��ng)ͻ����120W���M(j��n)܊���ߵij�늹�����,����
��ţ��_�졿�������dX1���_�Ј�(ch��ng),�����dX2�y(t��ng)���Ј�(ch��ng)��ꐿ������ǎ��I(l��ng)���d�Ƽ��������������,���@�Ǹ߶��Ј�(ch��ng),����(ch��ng)�Ј�(ch��ng)��ȫ��Ҫ�Ĺ�(ji��)�డ�,��,�,����
��ذ��С�����������ꐿ����ܰ����dX1ȱ���a(b��)�㣬�п���,����ֻ���f�п��ܹ�,�����d�Ƽ���˾���п��ܰ��O����˾��������
�¹�(ji��)�e(cu��)�`,���c(di��n)�ˈ�(b��o)��,����(b��o)�ͺ�S�o(h��)�ˆT��(hu��)�ڃɷ�犃�(n��i)У���¹�(ji��)��(n��i)�ݣ�Ո(q��ng)���ĵȴ�,��