������ϯ��һ̖(h��o)����Ĥ������ϴ��ɣ���
����̖(h��o)����Ĥ��Ҳ��ϴ��ɣ���
����(b��o)������ϯ����(j��ng)�^(gu��)����(f��)�_�J(r��n)����һ�M����Ĥ�����δ�l(f��)�F(xi��n)�л҉m�ړ��������M(j��n)��ԇ���a(ch��n)�ˣ���
������ϯ��20�{���Ƴ̹�̙C(j��)����(sh��)���{(di��o)ԇ��ɣ�Ո(q��ng)ָʾ����
����(gu��)ħ����
��о��(gu��)�H��(sh��)�(y��n)���ء�
���������״�ӣ������������N�������ȣ�����ǰ��һȺ����æµ�Ĺ�̹��̎���
������߅������I(l��ng)��Ժʿ�T��㑼���(d��ng)�ش��˴��֣����Լ��ˑB(t��i)�[�͵���������ϯ������Ĥ���̙C(j��)����(zh��n)����ˣ������҂��Dz��Ǒ�(y��ng)ԓԇ�����a(ch��n)оƬ�ˣ���
���Z(y��)����ͣ����������L(zh��ng)݅��(du��)��݅���ǷN��ͣ����njW(xu��)����Ҋ(ji��n)�������Z(y��)�⡣
�l(shu��)Ҳ��֪���@�Εr(sh��)�g���T����cһ����о��(gu��)�H���̎�����(j��ng)�v��ʲô����Ȼ��(hu��)��(du��)һλ��ʮ���^�����p���@���ˑB(t��i)��
�����ͳ��֙C(j��)���������ڣ������Z(y��)������12��6̖(h��o)������٣����û���50��r(sh��)�g��������λ���m���̎��](m��i)�Ё�(l��i)�ɣ���
�����������ѽ�(j��ng)����֧�_(k��i)�ˡ���
�T��㑿��ٻش�
���m���̎����I20�{���Ƴ̹�̙C(j��)ٛ(z��ng)�͵ġ�
�Ʉe�X(ju��)�ú��mASML��˾���ģ��u��̙C(j��)߀��ٛ(z��ng)�ׂ�(g��)���̎�����(sh��)�t�@Щ���ǁ�(l��i)�O(ji��n)���C(j��)���\(y��n)�еġ�
�����Ĺ�����(n��i)�ݾ���ʲôҲ���øɣ�����о��(gu��)�HҪ�o�����l(f��)���Y����������߀���i�O(sh��)��ę�(qu��n)�ޡ�
�f(shu��)ֱ���c(di��n)��
�㻨���X����߀�����S���ã������˼�����ͣ��ͣ��
�@�N����ģʽ��ֹ��̙C(j��)�I(l��ng)�߾��șC(j��)�������͙C(j��)е����܇���a(ch��n)�O(sh��)��ȣ�ԭ�S�Ҷ���(hu��)���ׂ�(g��)�׳ȵĹ��̎���
�����ͱO(ji��n)���O(sh��)���ʹ�ã������Ƅ�(d��ng)�˶��c(di��n)λ�ã�һЩ(li��n)�W(w��ng)�O(sh��)��߀�߂��Ԅ�(d��ng)���i�Ĺ��ܣ�������i��߀��Ҫ������ԭ�S���̎������ܽ��_(k��i)�O(sh��)���i��
�벻���O(ji��n)�أ�
Ҫô�I���汾���O(sh��)�䣬Ҫôֱ�ӾͲ��I��
������(gu��)��l(f��)չ������(gu��)������I(y��)��l(f��)չ�Ͳ��ܲ��I��ֻ�ܽ����@�ӱ����Ĺ���ģʽ��
��?y��n)��@Щ���m���̎�������̣��@��ʮ����о��(gu��)�H���̎��F(tu��n)�(du��)�ړv��ʲô��������ȫ���˽⣬Ҳ����ȥ�˽⡣
���mASML��˾�ɽo�������΄�(w��)�̓ɂ�(g��)���O(ji��n)����о��(gu��)�H��20�{���Ƴ̹�̙C(j��)�\(y��n)�У���(b��o)���̙C(j��)�����a(ch��n)�΄�(w��)��(n��i)�ݡ�
�@Ҳ�����f(shu��)����о��(gu��)�H���a(ch��n)ʲô��͵�оƬ����ʲô�¼��g(sh��)���Ӳ��^(gu��)�����ıO(ji��n)�ء�
���^(gu��)��ֵ��һ����ǣ�14�{��оƬ���a(ch��n)��һ����Ҫ��20�{���Ƴ̹�̙C(j��)��28�{���Ƴ̵Ĺ�̙C(j��)�ӿ������a(ch��n)��
�@��ʹ��20�{���Ƴ̹�̙C(j��)��������������c(di��n)���a(ch��n)��һ��14�{���p��̎�����o������^(gu��)ȥ��������m(x��)������Ş�l(f��)����(hu��)���_(k��i)��
�F(xi��n)���ѽ�(j��ng)12��6̖(h��o)�ˣ����x12��12̖(h��o)�Hʣ6��r(sh��)�g�������ץ�o�r(sh��)�g���a(ch��n)���s��9̖(h��o)ǰ���p��̎����оƬ���^(gu��)ȥ��
��(d��ng) (t��ng)Ҋ(ji��n)�ѽ�(j��ng)֧�_(k��i)����ĺ��m���̎�������վ�����ҕ��о��(gu��)�H�Ĺ��̎�һȦ�f(shu��)����
��ע�⿴����ֻ��һ�Σ��܌W(xu��)�����٣������ն���ȫ���ゃ�Լ������x�ˡ���
Փ���x���@������й��̎�������ţ�������(gu��)����(g��)ʡ���߳���(l��i)�Ġ�Ԫ�ɡ�
���õ�����ϯ����
������ϯ��ӛ�Ա��^����������
��Ҫ���҂������ն����ع⼼�g(sh��)��Ҫ�c(di��n)���Ǿ��ஔ(d��ng)��ͻ������Փ7�{��(j��)оƬ��ˇ����
���_(k��i)ʼ������ϯ����
���̎���������������
��ʮ��ĕr(sh��)�g����ĬĬ�o(w��)���SëС���p���������о��(gu��)�H�Ĺ�����u(y��)��ϯ���mȻ�](m��i)����ʽͨ�棬���@�ѽ�(j��ng)��Ĭ�J(r��n)����(sh��)�ˡ�
���@ô����ţ�����Ժʿ���۷�������ֻ����һ���£��Ǿ�����Ƭ�r(sh��)�������H����������ˮ����Փ֪�R(sh��)��������(sh��)����������ȫ�����������Ć�(w��n)�}������Ĥ��Ҳ�������I(l��ng)�������ɣ�����(g��)�^(gu��)�̛](m��i)�а��c(di��n)��ʧ�`��
�T�����ǰһ��������һ����о��(gu��)�H���̎����������J(r��n)�濴������ϯ������һֱ���@����҂��� (t��ng)���ˆ��
�������T��ϯ����
�� (t��ng)�����ˡ���
��֪�����T��ϯ����
��о��(gu��)�H�Ĺ��̎�������(y��ng)�������F(xi��n)�ڶ��������Լ��۾��b�ϔz���^��
���߰ɣ��s�r(sh��)�g������������������ȥ��
�M(j��n)���̙C(j��)�^(q��)��횴������m�����κ�һ�z�҉m�����п���Ӱ���K���a(ch��n)��
��ʮλ��о��(gu��)�H�Ĺ��̎����o�S���
����
��һ߅��
��о��(gu��)�H������(hu��)Մ�ҡ�
����ɂ�(g��)���۴����p�W�ѽ�(j��ng)�Ұ����̵�����ˮ��Ц�Ǻǵ���������Ɲ������ԇԇ�����ˎ���(l��i)�������ϰ��¡���
���������(c��)�����������������������������Ǵ�Ⱑ���@�K�ϰ����ղ���ʮ���˰ɣ���
����Ƴ����һ�ۣ������f(shu��)����������ʮ�ꡣ��
���ڌ�(du��)�棬��l(f��)���ۣ��������ݵ�����Ɲһ�@�������_�����ĸ��x�������mȻ�Ҳ������~�����ղ���ʮ�꣬���@��(g��)�϶��ǺÖ|������
��������Ȼ����
������o(w��)���飬�����؏�(f��)��
����Ɲ (t��ng)��Ҳ������豭��(x��)��(x��)Ʒ�b�������š��Ý�IJ��㣬���Һ���ȥ�Ժ�߀�й���ζ���@�����ゃ����(gu��)���f(shu��)�Ļظ��dž��
���](m��i)�e(cu��)���@���������ϰ��²��еĻظʡ���
���̴�Ԓ����
����һ��(c��)�ĸ������촽�p���(d��ng)�����X����ҧ����(n��i)������ʹ�X(ju��)��(l��i)���pЦ�⡣
ʮ���ϰ��£�
��ô���ܽo�����ģ�
��(du��)���@λ�׳ȣ�ؓ(f��)؟(z��)�O(ji��n)������ʹ�ù�̙C(j��)�ġ����w�O(ji��n)��?c��i)z���^�������o��ȶ�ˎ�Ͳ��e(cu��)�ˣ�߀�o���ʮ���ϰ��¡�
���^(gu��)�������](m��i)�뵽���ǣ�������һ����o(j��)�ˣ���Ȼ�@ô�p����߀�ݵ���ô�á�
��ʮ�K�I�Ĺ��I(y��)�裬Ӳ���f(shu��)�������ϰ��¡�
��������
�ں��˵ڶ���������ƝҲ�_(k��i)�TҊ(ji��n)ɽ��������λ���ң���(y��ng)ԓ��ֻ�ǺȲ�ɣ���
����(du��)������ӆُ(g��u)��̙C(j��)�������̲��o�����f(shu��)����
������Ҋ(ji��n)�M(j��n)�����}��Ҳ�f(shu��)��Ŀ�ĵ������҂�����ӆһ�_(t��i)20�{���Ƴ̵Ĺ�̙C(j��)����
���ޣ���Ҫ�U(ku��)�����a(ch��n)����
����Ɲ���������ԃ��(w��n)����
�������c(di��n)���c(di��n)�^��������ô���ӕr(sh��)�g��������ԇԇ��20�{��ӆ�Σ�Ŷ��(du��)�ˣ�14�{��EUV��̙C(j��)�㿴�ܡ�����
Ԓ��δ�䣬����Ɲ����������Ǹ�߿���EUV��̙C(j��)�ɲ������܉��f(shu��)����ģ��ゃ�Լ�Ҳ��������������l(shu��)�������ゃ����
���f(shu��)��Ҳ��(du��)���҂�߀���^�m(x��)Մ20�{���Ƴ̵�DUV��̙C(j��)�ɡ������̴��˂�(g��)�A��(ch��ng)����
���˵��΄�(w��)�ܺ�(ji��n)�Σ�������������ĕr(sh��)�g��
����һλ���m���̎���(l��i)���࣬��Ӌ(j��)�Ͳ���ˣ��F(xi��n)�ھ�ƴ�����Ӿ������ˡ�
����
оƬ���a(ch��n)܇�g��
20�{���Ƴ̹�̙C(j��)��(n��i)����
��һ�K����Ĥ���ѽ�(j��ng)���b����̙C(j��)�R�^�����193�{�ײ��L(zh��ng)����������Դ��ÿ���ع⣬����(hu��)�ڵײ��ľ��AƬ�Ͽ̳��O(sh��)Ӌ(j��)�õ�оƬ�·�D����
�S���Ƅ�(d��ng)ƽ�_(t��i)�IJ����Ƅ�(d��ng)���Լ���̙C(j��)�R�^�IJ����ع⣬���AƬ�����������������оƬ�·�D����������a(ch��n)20�{��оƬ���F(xi��n)�ھ��ѽ�(j��ng)��ɹ�̣�����ֱ���ͽ��и���b�z�y(c��)�ˡ�
����DUV��̙C(j��)���a(ch��n)14�{��оƬ��һ���ع�������ܝM��������Ҫ�����ع⡣
��ȡ����һ�K����Ĥ�棬���b�ڶ��K����Ĥ�档������Ŀ�⿴���T����f(shu��)����
�T������R������
��(d��ng)?sh��)ڶ��K����Ĥ������̙C(j��)�R�^̎�������_(k��i)ʼ�H��У��(zh��n)�����v������� (t��ng)���ˣ������ع⼼�g(sh��)�y���c(di��n)���ھ��A��(du��)�R������ɴε��c(di��n)λ���F(xi��n)ƫ��ڶ����ع⌢��(hu��)�p�ĵ�һ���ع����µ��·�D�������Ҫ���С�ġ���
�ڴ_�J(r��n)�](m��i)��(w��n)�}�Ժ��������T��㑵���������ͿĨ����z���M(j��n)�ж����عⲽ�E����
�������ˡ���
�T�����������
������zҪ����ֲ����@�c(di��n)��(y��ng)ԓ�y�����ゃ�������쵭������
�ڶ��β��E��(zh��n)��ú�̙C(j��)�ٴΆ���(d��ng)���_(k��i)ʼ�ڵײ����A���M(j��n)�ж����ع⡣
���Ʋ��E��(ji��n)�Σ����䌍(sh��)�κ�С���`����п��܌�(d��o)���������A��(b��o)�U��
һ�����A��(b��o)�U���Ǿ���ʮ���f(w��n)�ēpʧ��
��?y��n)�һ�?2Ӣ��ľ��A��Ҳ���dz��f(shu��)�Ĺ�Ƭ�������ܴ���г�500öоƬ��
�������810̎�������Ј�(ch��ng)�r(ji��)300Ԫ��(l��i)�㣬�p��һ�����A�����ஔ(d��ng)�ړpʧ��15�f(w��n)��
��(d��ng)Ȼ�ˡ�
14�{���p��̎������(hu��)���F��
�S����̙C(j��)����(d��ng)��193�{�ײ��L(zh��ng)��������ⲻ����ع⣬�ײ����Ƅ�(d��ng)ƽ�_(t��i)Ҳ�����Ƅ�(d��ng)�����a(b��)��һ���ع��·�D���IJ��㡣
��(sh��)����^(gu��)ȥ��
���A�����ع�Y(ji��)����
�ȴ�Ƭ���Ժ�������������H��ȡ�����A���[���۾��м�(x��)�^���·�D�������¿������D�����دB����߀��Ҫ�M(j��n)�Мy(c��)�(y��n)��
���Ӽ���ȥ�и�y(c��)�(y��n)����
�T���Ŀ�⿴�����ԵĹ��̎���ʹ�˂�(g��)��ɫ������С��������ȥ�и�y(c��)�(y��n)����
���ң���
�������̎����㶡�
��߀�](m��i)��(sh��)��һ���أ��W(xu��)����(hu��)�����ع�զ�k��
�T��㑵�����һ�ۣ��������f(shu��)�㲻ȥ���y��Ҫ��ȥ����
�](m��i)�k����
�������̎�ֻ��������
�����ˣ�Ҳ�o�ゃʾ���ˣ����Լ�ԇԇ���y��Ҳ�ͼ����ھ��A��(du��)��(zh��n)���档��
�����˺�һ���f(shu��)����
�T���������о��(gu��)�H��ϯ����Ȼ��(d��ng)�ʲ����������ҁ�(l��i)ԇԇ����
Ȼ�����ƺ�(ji��n)�εIJ��E���s�@λԺʿ����ꪣ���(du��)��(zh��n)���y���h(yu��n)���������y�����F(xi��n)Щ�Sƫ�ֱ�ӓpʧһ���оƬ��
����(x��)���c(di��n)��������(l��i)����
����Ҳ���������������M(f��i)�IJ��������X��
���T���߀�������r(sh��)��һλ���̎���ǰ��������������ϯ����ʲô�㌦(du��)��(zh��n)�͛](m��i)ƫ��T��ϯ�͡�����
���ǣ���
������Цһ�����^�������ҵ��۾����dzߣ����ǽ�(j��ng)�(y��n)���úÌW(xu��)���ゃ����
�ְ�С�r(sh��)�^(gu��)ȥ��
��ȥ�и�A�Ĺ��̎����˿����Ը�(j��ng)��ģʽ���첽������̙C(j��)���a(ch��n)�^(q��)��
��(d��ng)����(l��i)��������ǰ����Ҳ�̲�ס����(d��ng)�f(shu��)�������ɹ��ˣ�����ϯ�҂��ɹ��ˣ�14�{��̎����оƬ����ͨ�^(gu��)�����ع⼼�g(sh��)���a(ch��n)����(l��i)����
���찡���@����Ć��
���_�������\(y��n)�І��
���Ҹ��X(ju��)��Ҋ(ji��n)�C�˚vʷ���Л](m��i)���ˁ�(l��i)����һ�£���
����������������܇�ˣ���
���̎����l(f��)���@�@�����B�T��㑶��̲�ס��(d��ng)�ݣ��Bæ��(w��n)�����������Л](m��i)�г���(bi��o)������^��28�{�����������˶��٣���
���](m��i)�г���(bi��o)������\(y��n)�й�����18W��оƬ����δ֪�������Կ϶����ǣ�����50%���ϣ���
���W��������
�F(xi��n)��(ch��ng)һƬ�WȻ��
���̎���?c��)�Ҳ����ס�ˣ����s��ͬ�ع����Ɓ�(l��i)�����ҵ���푏�оƬ���a(ch��n)܇�g��
�˕r(sh��)�˿���
�l(shu��)���f(shu��)����(gu��)�첻��14�{��оƬ��
�������ƹ�̙C(j��)��
���Ƶ��^(gu��)��(l��i)�
Ȼ�����������f��������������](m��i)�а��c(di��n)������
14�{��оƬ��
�@��(du��)����(l��i)�f(shu��)��(sh��)��̫��(ji��n)���ˡ�
������3�{��оƬ��ֻҪ���O(sh��)Ӌ(j��)�õĔ�(sh��)��(j��)�ļ���EUV��̙C(j��)�O(sh��)�䣬�����������a(ch��n)����(l��i)��
������ϯ�������@оƬ������
�T���Ԓ��δ�䣬���쵭���ؑ�(y��ng)������ȫ�����b�y(c��)ԇ������](m��i)��(w��n)�}��Ԓ���������ٶȽo���d�Ƽ����^(gu��)ȥ��ӛס���ٶ�Ҫ�죬�����а��c(di��n)���R����
���㣬ȥ���bоƬ����
�T����^�m(x��)���Ź��̎�ȥ�ɣ����Լ��t���^�m(x��)��Ϥ���A��(du��)��(zh��n)��������(j��ng)�(y��n)��
����
����(gu��)��ǡ�
ِ��Ƽ��@��
�Q����T���������(y��ng)�⎛���������z�(y��n)�ɹ���
�ԏ��O(sh��)����Ʒ���Ժ����͌�(du��)�֙C(j��)�I(l��ng)��(x��)�ֻ�Խ�ӿ϶�����������(y��u)��ɢ�ᆖ(w��n)�}��
��ɫɢ���˲������ó���(g��)�֙C(j��)�⚤�����ؽ�B���������ã��@�������f(shu��)��ɢ�����֙C(j��)�������T���Α�l(f��)���h����ġ���
�������H���Ա��o(h��)�֙C(j��)����(n��i)�õČ�(d��o)��Ƭ��Ҳ��(hu��)�S��С�L(f��ng)���D(zhu��n)��(d��ng)�����ߟ�����ȱ�c(di��n)�������c(di��n)���^(gu��)��(d��ng)�x��a(ch��n)Ʒ�u��(y��ng)ԓ���ԡ���
�����e(cu��)��ֵ��ԇԇ����
����c(di��n)���c(di��n)�^��
���������낀(g��)��ǰ��ļ����ɫƷ�|(zh��)��ɢ���˲ţ����ò��f(shu��)�����뷨�_��(sh��)�ܶࡣ
�ڽ�B���֙C(j��)��ɢ�����⣬��Ҳ�O(sh��)Ӌ(j��)�˂��y(t��ng)�ı��Aʽɢ����������ľ����Ñ��ж�N�x���(qu��n)��
ϲ�g���Α�
��ɢ������횰����ϡ�
߀�](m��i)��2015�꣬��Ǿͽo�Ñ���������ɢ������Ҳ�����b�b�I(l��ng)��ͬ�еĴ����ˡ�
�����Α������֙C(j��)�⣬�߶��̄�(w��)�֙C(j��)Ҳ�ѽ�(j��ng)�O(sh��)Ӌ(j��)��ɣ�����Ͷ�������^�㲿�����a(ch��n)��
�F(xi��n)���f(w��n)�¾�䣬ֻǷ̎����оƬ��λ�ˡ�
���12��10̖(h��o)ǰ��14�{���p��̎����߀�](m��i)������a(ch��n)����ֻ��ʹ�ëC����̎�����ˡ�
��(d��ng)Ȼ�ˡ�
Ҫ��12��10̖(h��o)ǰ������ôһ�ж�߀��(l��i)�ü���
�������C(j��)��(b��o)�䣬���Ҳ���������}�ӿ쌏�ˣ��������F(xi��n)���J(r��n)�R(sh��)ͦ��Ժʿ�ġ�
�����ˡ�����
�ڴ��֙C(j��)�l(f��)����������(d��ng)��
����ͳ�һ����֪ͨ���@ʾ������l(f��)��(l��i)����Ϣ���@����Щ��ָ���
�y���ɡ�
Ҫ��(l��i)�ˆ
��(d��ng)����(qi��ng)��ס���м���(d��ng)���c(di��n)�_(k��i)�������
�����졿����O�ˡ���
��(ji��n)��(ji��n)�Άεăɂ�(g��)�֣����^(gu��)ǧ���f(w��n)�Z(y��)��
�p�ۣ�
���K�ځ�(l��i)�ˣ�
����D�r(sh��)�зN���_(k��i)���FҊ(ji��n)�����ĕ���У��pʮһ�����(ji��)���](m��i)���s�ϣ��pʮ�������ُ(g��u)�﹝(ji��)�������ǿ��Խo����(gu��)�֙C(j��)�Ј�(ch��ng)��(l��i)�c(di��n)СС�ĿƼ����ˣ�
�¹�(ji��)�e(cu��)�`���c(di��n)�ˈ�(b��o)������(b��o)�ͺ�S�o(h��)�ˆT��(hu��)�ڃɷ�犃�(n��i)У���¹�(ji��)��(n��i)�ݣ�Ո(q��ng)���ĵȴ���