������ϯ��һ̖(h��o)����Ĥ������ϴ���,����
����̖(h��o)����Ĥ��Ҳ��ϴ���,����
����(b��o)������ϯ,����(j��ng)�^(gu��)����(f��)�_�J(r��n),����һ�M����Ĥ�����δ�l(f��)�F(xi��n)�л҉m�ړ�,�������M(j��n)��ԇ���a(ch��n)�ˣ���
������ϯ,��20�{���Ƴ̹�̙C(j��)����(sh��)���{(di��o)ԇ���,��Ո(q��ng)ָʾ,����
����(gu��)ħ����
���(gu��)�H��(sh��)�(y��n)����,��
���������״��,�������������N�������ȣ�����ǰ��һȺ����æµ�Ĺ�̹��̎�,��
������߅,������I(l��ng)��Ժʿ�T��㑼���(d��ng)�ش��˴��֣����Լ��ˑB(t��i)�[�͵���������ϯ,������Ĥ���̙C(j��)����(zh��n)����ˣ������҂��Dz��Ǒ�(y��ng)ԓԇ�����a(ch��n)оƬ��,����
���Z(y��)�����,�����������L(zh��ng)݅��(du��)��݅���ǷN��ͣ����njW(xu��)����Ҋ(ji��n)�������Z(y��)��,��
�l(shu��)Ҳ��֪���@�Εr(sh��)�g,���T����cһ����о��(gu��)�H���̎�����(j��ng)�v��ʲô����Ȼ��(hu��)��(du��)һλ��ʮ���^�����p���@���ˑB(t��i),��
�����ͳ��֙C(j��)����������,�������Z(y��)������12��6̖(h��o)�������,�����û���50��r(sh��)�g,��������λ���m���̎��](m��i)�Ё�(l��i)�ɣ���
�����������ѽ�(j��ng)����֧�_(k��i)��,�,���
�T��㑿��ٻش�
���m���̎�,���I(m��i)20�{���Ƴ̹�̙C(j��)ٛ(z��ng)�͵�,��
�Ʉe�X(ju��)�ú��mASML��˾���ģ��u(m��i)��̙C(j��)߀��ٛ(z��ng)�ׂ�(g��)���̎�,����(sh��)�t�@Щ���ǁ�(l��i)�O(ji��n)���C(j��)���\(y��n)�е�,��
�����Ĺ�����(n��i)�ݾ���ʲôҲ���øɣ�����о��(gu��)�HҪ�o�����l(f��)���Y,����������߀���i�O(sh��)��ę�(qu��n)��,��
�f(shu��)ֱ���c(di��n)��
�㻨���X(qi��n),����߀�����S����,�������˼�����ͣ��ͣ��
�@�N����ģʽ��ֹ��̙C(j��)�I(l��ng)��,���߾��șC(j��)��,�����͙C(j��)е,����܇(ch��)���a(ch��n)�O(sh��)��ȣ�ԭ�S�Ҷ���(hu��)���ׂ�(g��)�׳ȵĹ��̎�,��
�����ͱO(ji��n)���O(sh��)���ʹ��,�������Ƅ�(d��ng)�˶��c(di��n)λ�ã�һЩ(li��n)�W(w��ng)�O(sh��)��߀�߂��Ԅ�(d��ng)���i�Ĺ���,��������i,��߀��Ҫ������ԭ�S���̎������ܽ��_(k��i)�O(sh��)���i��
�벻���O(ji��n)��,��
Ҫô�I(m��i)���汾���O(sh��)��,��Ҫôֱ�ӾͲ��I(m��i)��
������(gu��)��l(f��)չ,������(gu��)������I(y��)��l(f��)չ�Ͳ��ܲ��I(m��i),��ֻ�ܽ����@�ӱ����Ĺ���ģʽ��
��?y��n)��@Щ���m���̎��������,���@��ʮ����о��(gu��)�H���̎��F(tu��n)�(du��)�ړv��ʲô,��������ȫ���˽⣬Ҳ����ȥ�˽�,��
���mASML��˾�ɽo�������΄�(w��)�̓ɂ�(g��),���O(ji��n)����о��(gu��)�H��20�{���Ƴ̹�̙C(j��)�\(y��n)�У���(b��o)���̙C(j��)�����a(ch��n)�΄�(w��)��(n��i)��,��
�@Ҳ�����f(shu��),����о��(gu��)�H���a(ch��n)ʲô�(l��i)�͵�оƬ����ʲô�¼��g(sh��)���Ӳ��^(gu��)�����ıO(ji��n)��,��
���^(gu��),��ֵ��һ����ǣ�14�{��оƬ���a(ch��n)��һ����Ҫ��20�{���Ƴ̹�̙C(j��),��28�{���Ƴ̵Ĺ�̙C(j��)�ӿ������a(ch��n),��
�@��ʹ��20�{���Ƴ̹�̙C(j��)��������������c(di��n)���a(ch��n)��һ��14�{���p��̎�����o������^(gu��)ȥ,��������m(x��)������Ş�l(f��)����(hu��)���_(k��i),��
�F(xi��n)���ѽ�(j��ng)12��6̖(h��o)�ˣ����x12��12̖(h��o)�Hʣ6��r(sh��)�g,�������ץ�o�r(sh��)�g���a(ch��n),���s��9̖(h��o)ǰ���p��̎����оƬ���^(gu��)ȥ��
��(d��ng) (t��ng)Ҋ(ji��n)�ѽ�(j��ng)֧�_(k��i)����ĺ��m���̎�,������վ�����ҕ��о��(gu��)�H�Ĺ��̎�һȦ�f(shu��)����
��ע�⿴,����ֻ��һ�Σ��܌W(xu��)������,�������ն���ȫ���ゃ�Լ������x��,�,���
Փ���x���@������й��̎��������,��������(gu��)����(g��)ʡ���߳���(l��i)�Ġ�Ԫ��,��
���õ�����ϯ����
������ϯ��ӛ�Ա��^��,����������,����
��Ҫ���҂������ն����ع⼼�g(sh��)��Ҫ�c(di��n)���Ǿ��ஔ(d��ng)��ͻ������Փ7�{��(j��)оƬ��ˇ,����
���_(k��i)ʼ������ϯ,����
���̎���������������
��ʮ��ĕr(sh��)�g,����ĬĬ�o(w��)���SëС���p,���������о��(gu��)�H�Ĺ�����u(y��)��ϯ���mȻ�](m��i)����ʽͨ��,�����@�ѽ�(j��ng)��Ĭ�J(r��n)����(sh��)�ˡ�
���@ô�����,������Ժʿ���۷�������ֻ����һ����,���Ǿ�����Ƭ�r(sh��)�������H����������ˮ,����Փ֪�R(sh��)��������(sh��),����������ȫ�����������Ć�(w��n)�}������Ĥ��Ҳ�������I(l��ng)��������,������(g��)�^(gu��)�̛](m��i)�а��c(di��n)��ʧ�`,��
�T�����ǰһ��������һ����о��(gu��)�H���̎����������J(r��n)�濴,������ϯ������һֱ���@����҂�,�� (t��ng)���ˆ��
�������T��ϯ,�,���
�� (t��ng)�����ˡ,���
��֪�����T��ϯ,����
��о��(gu��)�H�Ĺ��̎�������(y��ng)��,�������F(xi��n)�ڶ��������Լ��۾��b�ϔz���^,��
���߰ɣ��s�r(sh��)�g,�,�����������������ȥ,��
�M(j��n)���̙C(j��)�^(q��)��횴������m��,���κ�һ�z�҉m,�����п���Ӱ���K���a(ch��n)��
��ʮλ��о��(gu��)�H�Ĺ��̎�,���o�S���,��
����
��һ߅��
��о��(gu��)�H������(hu��)Մ��,��
����ɂ�(g��)���۴�,���p�W�ѽ�(j��ng)�Ұ����̵�����ˮ��Ц�Ǻǵ���������Ɲ����,��ԇԇ�����ˎ���(l��i)�������ϰ���,����
���������(c��),�����������������������������Ǵ�Ⱑ,���@�K�ϰ����ղ���ʮ���˰ɣ���
����Ƴ����һ��,�������f(shu��)����������ʮ��,����
���ڌ�(du��)��,����l(f��)����,���������ݵ�����Ɲһ�@�������_�����ĸ��x�������mȻ�Ҳ������~,�����ղ���ʮ��,�����@��(g��)�϶��ǺÖ|���,���
��������Ȼ,����
������o(w��)����,�������؏�(f��),��
����Ɲ (t��ng)��Ҳ������豭��(x��)��(x��)Ʒ�b�������š��Ý�IJ���,�����Һ���ȥ�Ժ�߀�й���ζ,���@�����ゃ����(gu��)���f(shu��)�Ļظ��dž��
���](m��i)�e(cu��),���@���������ϰ��²��еĻظ�,����
���̴�Ԓ����
����һ��(c��)�ĸ������촽�p���(d��ng),�����X����ҧ����(n��i)��,����ʹ�X(ju��)��(l��i)���pЦ�⡣
ʮ���ϰ���,��
��ô���ܽo������,��
��(du��)���@λ�׳ȣ�ؓ(f��)؟(z��)�O(ji��n)������ʹ�ù�̙C(j��)�ġ����w�O(ji��n)��?c��i)z���^��,�����o��ȶ�ˎ�Ͳ��e(cu��)��,��߀�o���ʮ���ϰ��¡�
���^(gu��)�������](m��i)�뵽����,��������һ����o(j��)��,����Ȼ�@ô�p����߀�ݵ���ô��,��
��ʮ�K�I(m��i)�Ĺ��I(y��)��,��Ӳ���f(shu��)�������ϰ��¡�
���,�,����
�ں��˵ڶ���������ƝҲ�_(k��i)�T(m��n)Ҋ(ji��n)ɽ��������λ����,����(y��ng)ԓ��ֻ�ǺȲ��,����
����(du��)������ӆُ(g��u)��̙C(j��),�,������̲��o�����f(shu��)��,��
������Ҋ(ji��n)�M(j��n)�����},��Ҳ�f(shu��)��Ŀ�ĵ������҂�����ӆһ�_(t��i)20�{���Ƴ̵Ĺ�̙C(j��)�,���
����,����Ҫ�U(ku��)�����a(ch��n)����
����Ɲ���������ԃ(x��n)��(w��n)��,��
�������c(di��n)���c(di��n)�^,��������ô���ӕr(sh��)�g��������ԇԇ��20�{��ӆ�Σ�Ŷ��(du��)��,��14�{��EUV��̙C(j��)�㿴�ܡ�����
Ԓ��δ��,������Ɲ����������Ǹ�߿���EUV��̙C(j��)�ɲ������܉��f(shu��)�����,���ゃ�Լ�Ҳ�����,���������l(shu��)�������ゃ����
���f(shu��)��Ҳ��(du��),���҂�߀���^�m(x��)Մ20�{���Ƴ̵�DUV��̙C(j��)��,�������̴��˂�(g��)�A��(ch��ng)��,��
���˵��΄�(w��)�ܺ�(ji��n)��,��������������ĕr(sh��)�g��
����һλ���m���̎���(l��i)����,����Ӌ(j��)�Ͳ����,���F(xi��n)�ھ�ƴ�����Ӿ������ˡ�
����
оƬ���a(ch��n)܇(ch��)�g,��
20�{���Ƴ̹�̙C(j��)��(n��i)��,��
��һ�K����Ĥ���ѽ�(j��ng)���b����̙C(j��)�R�^�����193�{�ײ��L(zh��ng)����������Դ,��ÿ���ع�,������(hu��)�ڵײ��ľ��AƬ�Ͽ̳��O(sh��)Ӌ(j��)�õ�оƬ�·�D����
�S���Ƅ�(d��ng)ƽ�_(t��i)�IJ����Ƅ�(d��ng),���Լ���̙C(j��)�R�^�IJ����ع�,�����AƬ�����������������оƬ�·�D����������a(ch��n)20�{��оƬ,���F(xi��n)�ھ��ѽ�(j��ng)��ɹ��,������ֱ���ͽ��и���b�z�y(c��)�ˡ�
����DUV��̙C(j��)���a(ch��n)14�{��оƬ,��һ���ع�������ܝM(m��n)������,����Ҫ�����ع⡣
��ȡ����һ�K����Ĥ��,�����b�ڶ��K����Ĥ��,��������Ŀ�⿴���T����f(shu��)��,��
�T������R����,��
��(d��ng)?sh��)ڶ��K����Ĥ������̙C(j��)�R�^̎�������_(k��i)ʼ�H��У��(zh��n),�����v������� (t��ng)����,�������ع⼼�g(sh��)�y���c(di��n)���ھ��A��(du��)�R������ɴε��c(di��n)λ���F(xi��n)ƫ��,���ڶ����ع⌢��(hu��)�p�ĵ�һ���ع����µ��·�D��,�����Ҫ���С�ġ,���
�ڴ_�J(r��n)�](m��i)��(w��n)�}�Ժ�,���������T��㑵���������ͿĨ����z,���M(j��n)�ж����عⲽ�E�,���
��������,����
�T���������,��
������zҪ����ֲ�,���@�c(di��n)��(y��ng)ԓ�y�����ゃ�,������쵭����,��
�ڶ��β��E��(zh��n)��ú�̙C(j��)�ٴΆ���(d��ng),���_(k��i)ʼ�ڵײ����A���M(j��n)�ж����ع�,��
���Ʋ��E��(ji��n)�Σ����䌍(sh��)�κ�С���`��,�����п��܌�(d��o)���������A��(b��o)�U,��
һ�����A��(b��o)�U���Ǿ���ʮ���f(w��n)�ēpʧ,��
��?y��n)�һ�?2Ӣ��ľ��A,��Ҳ���dz��f(shu��)�Ĺ�Ƭ�������ܴ���г�500öоƬ,��
�������810̎�������Ј�(ch��ng)�r(ji��)300Ԫ��(l��i)��,���p��һ�����A�����ஔ(d��ng)�ړpʧ��15�f(w��n),��
��(d��ng)Ȼ��,��
14�{���p��̎������(hu��)���F��
�S����̙C(j��)����(d��ng),��193�{�ײ��L(zh��ng)��������ⲻ����ع�,���ײ����Ƅ�(d��ng)ƽ�_(t��i)Ҳ�����Ƅ�(d��ng)�����a(b��)��һ���ع��·�D���IJ���,��
��(sh��)����^(gu��)ȥ,��
���A�����ع�Y(ji��)��,��
�ȴ�Ƭ���Ժ�,��������������H��ȡ�����A���[���۾��м�(x��)�^���·�D��,�����¿������D�����دB,����߀��Ҫ�M(j��n)�Мy(c��)�(y��n)��
���Ӽ���ȥ�и�y(c��)�(y��n),�,���
�T���Ŀ�⿴�����ԵĹ��̎���ʹ�˂�(g��)��ɫ������С��������ȥ�и�y(c��)�(y��n),�,���
���ң���
�������̎�����,��
��߀�](m��i)��(sh��)��һ����,���W(xu��)����(hu��)�����ع�զ�k��
�T��㑵�����һ��,���������f(shu��)�㲻ȥ,���y��Ҫ��ȥ��,��
�](m��i)�k��,��
�������̎�ֻ��������
������,��Ҳ�o�ゃʾ����,�����Լ�ԇԇ���y��Ҳ�ͼ����ھ��A��(du��)��(zh��n)����,�,���
�����˺�һ���f(shu��)����
�T���������о��(gu��)�H��ϯ,����Ȼ��(d��ng)�ʲ����������ҁ�(l��i)ԇԇ,����
Ȼ�����ƺ�(ji��n)�εIJ��E,���s�@λԺʿ�����,����(du��)��(zh��n)���y���h(yu��n)���������y�����F(xi��n)Щ�Sƫ��,��ֱ�ӓpʧһ���оƬ,��
����(x��)���c(di��n)��������(l��i),�,���
����Ҳ���������������M(f��i)�IJ��������X(qi��n),��
���T���߀�������r(sh��),��һλ���̎���ǰ��������������ϯ����ʲô�㌦(du��)��(zh��n)�͛](m��i)ƫ��,���T��ϯ�͡�����
����,����
������Цһ�����^�������ҵ��۾����dz�,�����ǽ�(j��ng)�(y��n),���úÌW(xu��)���ゃ,����
�ְ�С�r(sh��)�^(gu��)ȥ,��
��ȥ�и�A�Ĺ��̎�,���˿����Ը�(j��ng)��ģʽ���첽������̙C(j��)���a(ch��n)�^(q��)��,��
��(d��ng)����(l��i)��������ǰ,����Ҳ�̲�ס����(d��ng)�f(shu��)�������ɹ��ˣ�����ϯ�҂��ɹ���,��14�{��̎����оƬ����ͨ�^(gu��)�����ع⼼�g(sh��)���a(ch��n)����(l��i),����
���찡,���@����Ć�,����
���_�������\(y��n)�І��
���Ҹ��X(ju��)��Ҋ(ji��n)�C�˚vʷ,���Л](m��i)���ˁ�(l��i)����һ��,����
����������������܇(ch��)��,����
���̎����l(f��)���@�@,�����B�T��㑶��̲�ס��(d��ng)�ݣ��Bæ��(w��n)�����������Л](m��i)�г���(bi��o),������^��28�{�����������˶���,����
���](m��i)�г���(bi��o)������\(y��n)�й�����18W,��оƬ����δ֪,�������Կ϶����ǣ�����50%����,����
���W�,���,����
�F(xi��n)��(ch��ng)һƬ�WȻ,��
���̎���?c��)�Ҳ����ס�ˣ����s��ͬ�ع����Ɓ�(l��i),�����ҵ���푏�оƬ���a(ch��n)܇(ch��)�g,��
�˕r(sh��)�˿���
�l(shu��)���f(shu��)����(gu��)�첻��14�{��оƬ,��
�������ƹ�̙C(j��),��
���Ƶ��^(gu��)��(l��i)��,��
Ȼ��,���������f�������,�������](m��i)�а��c(di��n)������
14�{��оƬ��
�@��(du��)����(l��i)�f(shu��)��(sh��)��̫��(ji��n)����,��
������3�{��оƬ,��ֻҪ���O(sh��)Ӌ(j��)�õĔ�(sh��)��(j��)�ļ���EUV��̙C(j��)�O(sh��)��,�������������a(ch��n)����(l��i),��
������ϯ�������@оƬ������
�T���Ԓ��δ��,�����쵭���ؑ�(y��ng)������ȫ�����b�y(c��)ԇ,������](m��i)��(w��n)�}��Ԓ���������ٶȽo���d�Ƽ����^(gu��)ȥ,��ӛס,���ٶ�Ҫ�죬�����а��c(di��n)���R,�,���
���㣬ȥ���bоƬ,�,���
�T����^�m(x��)���Ź��̎�ȥ�ɣ����Լ��t���^�m(x��)��Ϥ���A��(du��)��(zh��n),��������(j��ng)�(y��n),��
����
����(gu��)��ǡ�
ِ��Ƽ��@,��
�Q����T������,���(y��ng)�⎛���������z�(y��n)�ɹ���
�ԏ��O(sh��)����Ʒ���Ժ�,�����͌�(du��)�֙C(j��)�I(l��ng)��(x��)�ֻ�Խ�ӿ϶�,����������(y��u)��ɢ�ᆖ(w��n)�}��
��ɫɢ���˲������ó���(g��)�֙C(j��)�⚤,�����ؽ�B����������,���@�������f(shu��)��ɢ�����֙C(j��)������(zhu��n)�T(m��n)���Α�l(f��)���h�����,�,���
�������H���Ա��o(h��)�֙C(j��)����(n��i)�õČ�(d��o)��Ƭ,��Ҳ��(hu��)�S��С�L(f��ng)���D(zhu��n)��(d��ng)�����ߟ���,��ȱ�c(di��n)�������c(di��n)���^(gu��)��(d��ng)�x��a(ch��n)Ʒ�u(m��i)��(y��ng)ԓ����,�,���
�����e(cu��),��ֵ��ԇԇ�,���
����c(di��n)���c(di��n)�^,��
���������낀(g��)��ǰ��ļ����ɫƷ�|(zh��)��ɢ���˲ţ����ò��f(shu��),�����뷨�_��(sh��)�ܶ�,��
�ڽ�B���֙C(j��)��ɢ�����⣬��Ҳ�O(sh��)Ӌ(j��)�˂��y(t��ng)�ı��Aʽɢ����,������ľ����Ñ�(h��)�ж�N�x���(qu��n),��
ϲ�g���Α�
��ɢ������횰�����,��
߀�](m��i)��2015��,����Ǿͽo�Ñ�(h��)��������ɢ������Ҳ�����b�b�I(l��ng)��ͬ�еĴ�����,��
�����Α������֙C(j��)��,���߶��̄�(w��)�֙C(j��)Ҳ�ѽ�(j��ng)�O(sh��)Ӌ(j��)��ɣ�����Ͷ�������^�㲿�����a(ch��n),��
�F(xi��n)���f(w��n)�¾��,��ֻǷ̎����оƬ��λ�ˡ�
���12��10̖(h��o)ǰ,��14�{���p��̎����߀�](m��i)������a(ch��n),����ֻ��ʹ�ëC��(h��)��̎�����ˡ�
��(d��ng)Ȼ��,��
Ҫ��12��10̖(h��o)ǰ��,����ôһ�ж�߀��(l��i)�ü���
�������C(j��)��(b��o)��,�����Ҳ���������}�ӿ쌏��,���������F(xi��n)���J(r��n)�R(sh��)ͦ��Ժʿ�ġ�
�����ˡ�����
�ڴ��֙C(j��)�l(f��)����������(d��ng),��
����ͳ�һ��,��֪ͨ���@ʾ������l(f��)��(l��i)����Ϣ���@����Щ��ָ�,��
�y���ɡ�
Ҫ��(l��i)�ˆ�,��
��(d��ng)����(qi��ng)��ס���м���(d��ng)���c(di��n)�_(k��i)�������,��
�����졿����O��,����
��(ji��n)��(ji��n)�Άεăɂ�(g��)�֣����^(gu��)ǧ���f(w��n)�Z(y��),��
�p��,��
���K�ځ�(l��i)�ˣ�
����D�r(sh��)�зN���_(k��i)���FҊ(ji��n)�����ĕ����,���pʮһ�����(ji��)���](m��i)���s��,���pʮ�������ُ(g��u)�﹝(ji��),�������ǿ��Խo����(gu��)�֙C(j��)�Ј�(ch��ng)��(l��i)�c(di��n)СС�ĿƼ�����,��
�¹�(ji��)�e(cu��)�`���c(di��n)�ˈ�(b��o)��,����(b��o)�ͺ�S�o(h��)�ˆT��(hu��)�ڃɷ�犃�(n��i)У���¹�(ji��)��(n��i)��,��Ո(q��ng)���ĵȴ���