���ײ�˹�±Ɔ�̖�������£������d�Ƽ���Ʒ�l(f��)���������~�l�Hգ�۵Ĺ��͛_���˟��Ѱ�ǰʮλ�ã���һ���u��С�r�⡢�����ճ�����ğ��єD����ȥ��
���������Ѱ���ζ�����ߵ��ع�ȡ�
�����ع�ȣ����ஔ(d��ng)���@���W(w��ng)�j(lu��)�I�N�ܳɹ���
Ŀǰ���d�Ƽ��ٲ��İl(f��)�������ģ��g�[���ѽ�(j��ng)���_(d��)�ɰپ�ʮ�f���uՓ�^(q��)�uՓ��ʮ���f�l���cٝ�˸��_(d��)һ����ʮ���f��
�g�[�������������ع��Ҳ�ڼӴ�
ӑՓ���ӟ�ȣ���ȵ��ϰ�Σ���Ύ����ع⣬�ع⎧���˔�(sh��)�����˔�(sh��)�֕�ȥӑՓ���@�ǂ�����ѭ�h(hu��n)��
����A��(qi��ng)�������C(j��)ʥ�أ����ҵ��������ڰ낀Ȧ��(n��i)�ˣ�����������Ȧ��Ȼ��Ȼ�ر��@���W(w��ng)�j(lu��)�I�N�oˢ����
������ǰ��ȫ�W(w��ng)������ʮ�f�۽z���A��(qi��ng)����C(j��)һ����С�����F(xi��n)��ȫ�W(w��ng)�ѽ�(j��ng)ͻ��һ���f�۽z�����յ���Ϣ���ǿ̣�����Ҳ�����ˣ������֙C(j��)���_ʼ���ҕ�l��
���ֵ܂�����
���������˻��ˣ���
��߀����Ϥ���䷽��߀����Ϥ��ζ�����҂������ꐿ�����һ���ԣ�ֱ�ӾͰl(f��)���Լ���ϵ����Ʒ�߶��֙C(j��)��
������(j��)���d�Ƽ��ٲ�������������Ϣ���Լ�ꐿ����ھ��_�J(r��n)�����d�Ƽ�����ϵ������Ş�����d14�{���p��̎����оƬ������˾���ײ�˹ֱ�ӿ۳��ˆ�̖���ֵ܂�֪���@��ʲô������
��С����ͣ������ƣ��������Y���^�m(x��)��Ƶ���
��оƬ�{��ԽС������ζ��оƬ����Խ�ߣ�20�{��оƬ��28�{��оƬ���ܴ�s������40%����(d��ng)ȻҲ�п�����50%���ϣ���14�{�ו���20�{��оƬ�����������ܣ���
���҂�����оƬ�I(l��ng)��Č��I(y��)��ʿ���������w�����������������Կ϶����ǣ�14�{���p��̎����оƬһ�����C�����nj������Z���ԣ��뉺���e�����㣡��
���{ͨ����ϲ�g��ُ���
�������d�Ƽ�14�{���p��̎��������20�{�����810̎�������F(xi��n)�ډ����o�����{ͨ��˾��߅���@������������ɴ���ˣ���
�����ɣ����ԼӼ���ֱ�Ӱl(f��)�����Լ��İ��f�۽z�~̖������۽z�ğ��h��
[�ƺ��Ȭ�]�����Ҿ�֪����ו�����������ȴ��Ҫ�����ˣ��F(xi��n)�ډ��������{ͨ��˾�@߅����
[�|��Ľ��]����12��10̖�ǰɣ��@���l(f��)�������Ƿ�ȥ�����ˣ�һ���C����14�{��̎����оƬ�����{ͨ��˾��Ӌ˯����������
[�������]�����F(xi��n)�ڶ����픟��Ѱ��ˣ��{ͨ��˾�������T����(y��ng)ԓ���ψ���r�˰ɣ���Ӌ���ں����ѱ�����14�{���p��̎����оƬ����20�{�����810̎������ʲô��
[���Ͱ���]�����ҽ��hꐿ���̎�����Ă������e���p���ˣ��к�ĸ�ɣ�Ҫ����14�{��10��̎�������l�ܴ���^�㰡��������
���f������Ӱ����������˔�(sh��)���f���ع⡣
�uՓ���cٝ���D(zhu��n)�l(f��)���S��W(w��ng)�Ѷ������X���B�����Ұl(f��)�����Լ�������Ȧ��
�������r��
��픟��Ѱ���ף�
���d�Ƽ��l(f��)�����A(y��)�沩�ģ��g�[���ѽ�(j��ng)���_(d��)ǧ�f��
�F(xi��n)�������A��(qi��ng)����C(j��)Ȧ�����P(gu��n)���C(j��)Ȧ�������֙C(j��)�I(l��ng)���Ȧ�Ӷ����p��оƬ��һɫˢ����
�z�����䏈���f���@Щ�ط���؈����� �ö���Ԓ���B������֪���ˣ�12��10̖�������Ҫ���_��Ʒ�l(f��)������
���ڸ�C(j��)Ȧ�I(y��)��(n��i)��ʿ���ڟ��h���p�ۡ��r����ͨ�Ј��İ��f��ؔ��(j��ng)����Ҳ��������ϣ���ܺ�һ�ڟ��ю������ع�ȡ�
���С�ţ��A�㡱��һλ��ʮ�q�������tɫ���R��������������Ů��Ϭ���c�u����
������ؔ��(j��ng)�����������ğ��ѱ����҂��Dz䲻�����c�ģ�������֙C(j��)Ȧ�ӵ����顣��
�����ǣ�ꐿ�������Ʒ�Ƶ��̘I(y��)�О飬�@�Ҿ͵Þ��ҵķ۽z���ú÷���һ�£���ʲôꐿ�Ҫ�l(f��)����ϵ�У����������dX2�֙C(j��)����
���M(j��n)�����}�����^������ҕ�l�Ķ�֪������һֱ�����ײ�˹�����Ĵ���˾�e���������h����һֱ�l(f��)��1999Ԫ�Ĵ����֙C(j��)���mȻ�������մ����Ñ�����Ʒ������Ҳ��˹̶��ˡ���
�����u2999����
�������Ñ��������㣡��
���@�c���ꐿ��ͺ������Ȱl(f��)�����dX1�֙C(j��)�������W�����_�����оƬ������ȥ����Ʒ������߀�]�й̶��ĕr�����Rȥ�����߶���Ʒ�ƣ���
������@���l(f��)�����ɹ����_����ȡ�ÈA�M�ɹ�����ô���d���貾��ஔ(d��ng)�ڃɂ�������Ʒ�ƣ������ԃr�ȣ����Ǹ߶��̄�(w��)���҂������ɔ_������ͬ��һ�}��һ������d�Ƽ���˾��Ѫ�����ò��f��ꐿ��_����λ�ܳ���������I(y��)�ң���
ؔ��(j��ng)�İ��f���������ص���dz���Ȧ��
������Ʒ�ƣ��M(j��n)���֙C(j��)Ʒ�������и���̘I(y��)�������õ��˾W(w��ng)�т���һ���J(r��n)�ɡ�
�ײ�˹����ǣ�Ҳ��ؔ��(j��ng)����ķ۽z�ó��������ȡ�
[�ۺȾջ���]�������һ����֪����ȡ���ײ�˹�Ľ�Ӗ(x��n)���ԛQ���ߴ���˾����·�� �˄�߀���ܳ�����
[�ɿɿɘ�]�����Ҵ�W(xu��)���I(y��)���njW(xu��)���Ј��������Ĵ���1������5���ײ�˹���уr����1999Ԫ��һ�ɴ�߀�ã������㶨�r����Σ��@�ͽoδ���������[�����������@��Ʒ�Əص�1999Ԫ�����ˣ��ײ�˹����r���y�ˣ�ֻ���f��Ҳʒ�Σ���Ҳʒ�Σ���
[һЦ�L(f��ng)�m]�������ģ��ҹ�Ӌꐿ��Ƿ��������̂���������r���ŕ��Bæ�Ƴ���ϵ�У�����Լ�Ʒ������Ҳ���̶�������
�@����Ȧ���hՓ���ѽ�(j��ng)���������֙C(j��)Ȧ��ؔ��(j��ng)Ȧ���ֵȦҲ�_ʼ�˯���
һЩСŮ����ֱ�ӄ�(chu��ng)����DZ��˵�Ԓ�}���l(f��)�Եش���c����ȥ�����������
����C���Ǿ�Ԓ���ɵ���Ŀ��ܲ���ͬ�У������п��ܿ�硭��
�ɂ�С�r�ĕr�g��
�����Ѱ�ȫ��ռ�I(l��ng)��
��һ�������d�Ƽ���Ʒ�l(f��)����
�ڶ�����14�{���p��̎����
������������dz���
�����������֙C(j��)
���������ײ�˹�Ć�̖
����
�ھ�����������Ʒ�Ƶ����x
���Ѱ���ʮ�����ŽK��Ҋ�������đ������ǣ��@���W(w��ng)�j(lu��)�I�N�ѽ�(j��ng)����ɹ���
������������Ϣƽ�_���ɲ�ҪС������Ӱ�����
�oՓ������߀��Ʒ�ƣ���������õ������������@��R�����σ|�ľW(w��ng)�������ȿ϶���V��
�ھW(w��ng)�j(lu��)�I�N�ļӳ��£��@��ҹ��ע����ƽ�o��
����
��Ǹ��
�n�Ǽ��F(tu��n)�ֹ�˾��
��֪����ɫ�ŏ���ͫ���տs����ָ��������֙C(j��)��Ļ���鿴��ƽ�_��
�������ˣ���
��14�{���p��̎���������ˣ���
�����������ɻ�ʲô���ֻҪMϵ����Ļ������ӆُ���������¿�C����̎������
�����f�������d�Ƽ���˾Ŀǰ��̎��������������(y��ng)ԓ��������ӆُ�Ō�����
�{ͨ��˾����ُ�I��(li��n)�l(f��)��̎�����|(zh��)�����У��O��Aϵ��̎�����ֲ�������ۣ�������Dz���ֻ���x�C����̎������
��ƫƫ��
��ǑB(t��i)�Ⱥܕ�����
���]���f��ӆ�����֛]�fҪӆ���@��֪����������涼��֪���������ʲô��
Ȼ���������������ˣ�
�˼Ҳ���ӆ�C����̎������������ѽ�(j��ng)�����14�{���e�p��̎����оƬ��
14�{��оƬ����
�и��õIJ��ã��ò�ģ�
��֪����ڡ������ˡ�����й���Լ���w��
�����^ȥ��С�r���������o�����S���ɻ��@14�{���p��̎����оƬ�l�������a(ch��n)�ģ�
�_�e늣�
��ʲô��һ�c�L(f��ng)Ҳ�]�յ���
Ҫ֪���n�Ǽ��F(tu��n)���B(y��ng)���۾��鲼ȫ�����_�e�Ҳ��ʮ��λ���Լ��ˡ��O(ji��n)ҕ�����a(ch��n)��r����������_�e����a(ch��n)��̎����оƬ�����������ղ������c�L(f��ng)��
�F(xi��n)�ھ̓ɷN��r��
һ������ڴ�ţ��
���d�Ƽ������]��14�{���p��̎����оƬ���@��������������ĠI�N���ԡ�
�������]�е�Ԓ����
�l(f��)������(d��ng)�첻�ʹ����ˆ
���������������S������
�@���漰��һ�����}���F(xi��n)��ȫ�����EUV��̙C(j��)�Ĵ����S��Ҳ��ֻ���_�e늡�
�]��EUV��̙C(j��)������ô���14�{��оƬ��
�ִꣿ
��ÓƤ���겻�����ɣ�
�c��֪��ͬ�Ӳ��⣬�O����˾�����^(q��)��������F(xi��n)���ѽ�(j��ng)�����ѱ����������˶���Щ��ľ��˼�w�O�Ȼ�y��
14�{��оƬ����
�@14�{��оƬ������ô���ģ�
������������_�e늣���߅��ؓ(f��)؟(z��)�����_�f�����F(xi��n)��߀�]��һ��оƬ�O(sh��)Ӌ��I(y��)�����������^14�{���Ƴ̵�оƬ��
��Ȼ�_�e늛]���a(ch��n)����������Q��14�{���p��̎����оƬ���ĺζ�����
�n�Ǽ��F(tu��n)��
����H��
(li��n)�A��ӣ�
���������������ܰ���������
���寂��ץ���Լ����^Ƥ�������벻���������_�e늣�߀���ļҴ����S���Դ���14�{��оƬ��
�]��EUV��̙C(j��)����ô��14�{��оƬ����
Ҫô��Ǵ�ţ�ȣ�Ҫô���������ѽ�(j��ng)���F(xi��n)�ˏ�����܇����ij����������˼��g(sh��)ͻ�ơ�
����]���t�ɣ����ò�������ĕr�ͱ�����R֪ͨ�O����˾��CEOѝ�ˁ�Q�ࡣ
������ž��������
��һ��Ó��I�P�^���]���l(f��)���˳�ȥ��
����
�h(yu��n)�ڴ���˰���߀̎���峿�r�ֵ��ׇ���ɫ���V������߀�ډ��l(xi��ng)��
�O����˾CEOѝ���г��ܵ���(x��)�T����߀�]�����ʹ������\��Ь������ѝ���c���ģ����_�˷��T�������һ�ښ����
�����D�����õ�һ�죡��
�L��һ�ښ�����_ʼ������·���ܡ�
���ס�ڸ��˅^(q��)�����ij���·��Ҳ���@��С�^(q��)��
һЩͬ���г�����(x��)�T�����ӣ�Ҳ�����������к������������c��Ո��ͬ����͡�
ѝ�˶�һһ�ܽ^�ˣ����L�_(d��)��С�r���ܺ����ص���ϴ�裬���o�Լ���(zh��n)�������ţ�̡�
�ڳ��^��������o�����ش��_�S���Pӛ�����l(f��)�F(xi��n)���ǗlһС�rǰ���]����
�c�_�]�������ס�ˡ�
ԭ���䐂���飬��u�������ض���ȥ�l(f��)չ���S�����ɻ��ٵ��������š�
������^ȥ��
ѝ�˽K���̲�ס����������14�{��оƬ���_�e늞�ʲô���Ѵ�������Ϣ���V�ң���
���ص�����ס�ˣ�
�����c�Ły���ͳ��֙C(j��)��ֱ�ӽo�_�e늵��Ͽ�������ȥ�Ԓ����Ҫ�C���@����Ϣ��
߀�ڱ�������˯�X������ʮ��ď������@���Ԓ���ѣ��̲�סŭ�R����
���Ă�������ҹ�����Ƶā��Ԓ�����ǟ��ˣ���
�������ɣ��f�������¡���
�����˷��˂����������c�����s�o˯�X��
��ž������
�������_�����������R��������ڴ��^����֙C(j��)����Ŀ�⿴���֙C(j��)��Ļ��
���ţ�ѝ�ˣ���
�����㶣��D�����鲻��Bæ�� ������ι��ѝ���������@ô��������ʲô�£���
���ゃ�_�e늣��o���d�Ƽ�����14�{��оƬ�ˣ���
�����ټ{�ף���
��14�{��оƬ����
���҂�����оƬӆ�����ֻ���^20�{�ף�14�{��оƬ���Ǹ����ǟo��֮Մ����
���ゃ�]��������
���]���^���]�������
�����Ŀ϶��Ӵ_����ѝ�ˑ��������ˣ��F(xi��n)�ڵ����l���f�e��
������f�e��
���d�Ƽ���˾�����]��14�{��оƬ��
�������f�e��
�_�e���͵͵�o����������
������˶��]�f�e����14�{��̎����оƬ�����ā��ģ�
���ϵ����ģ�
�����ڳ����ģ�
߀����~��ρ��ģ�
ѝ�������˶���Ĭ�ˣ��F(xi��n)�ڵ�������������һ�����˚��������ֲ����l�����ˣ��l��ƽ���l�Ǻ��ˣ��l�lj��ˡ�
�F(xi��n)����Ҳ���룬�����Ǻ͏������]���f�e�����������mASML��˾�f�e�ˣ�
���������ׇ�͵͵�u��һ�_��13.5�{�ײ��L�ĘO�����EUV��̙C(j��)�o���������S��I(y��)��
����ڹ����J(r��n)֪���棬�]��EUV��̙C(j��)�����첻��20�{�����µ�оƬ�������14�{��оƬ���ͱ�횓���EUV��̙C(j��)��
���d�Ƽ����_�e늣����mASML�@���ҹ�˾���϶������f�e�ˣ�
�������l��
12��10̖�l(f��)�������죬ѝ�˾͕��д𰸣�
����ѝ�����⣬�{ͨ��˾CEOĪ���˷��n�Ǽ��F(tu��n)�֙C(j��)�I(y��)��(w��)���������涼�յ�����Ϣ������������һ���¡�
14�{��оƬ�����Ǽ٣�
�������ģ������_�e늣��l߀�ܴ������a(ch��n)��
�¹�(ji��)�e�`���c�ˈ��������ͺ�S�o(h��)�ˆT���ڃɷ�犃�(n��i)У���¹�(ji��)��(n��i)�ݣ�Ո���ĵȴ���