���ײ�˹�±Ɔ�̖�������£������d�Ƽ���Ʒ�l(f��)���������~�l�Hգ�۵Ĺ���,���͛_���˟��Ѱ�ǰʮλ��,����һ���u��С�r��,�������ճ�����ğ��єD����ȥ��
���������Ѱ�,������ζ�����ߵ��ع��,��
�����ع�ȣ����ஔ(d��ng)���@���W(w��ng)�j(lu��)�I�N�ܳɹ�,��
Ŀǰ���d�Ƽ��ٲ��İl(f��)��������,���g�[���ѽ�(j��ng)���_(d��)�ɰپ�ʮ�f���uՓ�^(q��)�uՓ��ʮ���f�l,���cٝ�˸��_(d��)һ����ʮ���f,��
�g�[�������������ع��Ҳ�ڼӴ�,��
ӑՓ���ӟ��,����ȵ��ϰ�Σ���Ύ����ع�,���ع⎧���˔�(sh��),�����˔�(sh��)�֕�ȥӑՓ���@�ǂ�����ѭ�h(hu��n),��
����A���������Cʥ��,�����ҵ��������ڰ낀Ȧ��(n��i)�ˣ�����������Ȧ��Ȼ��Ȼ�ر��@���W(w��ng)�j(lu��)�I�N�oˢ��,��
������ǰ,��ȫ�W(w��ng)������ʮ�f�۽z���A������Cһ����С�����F(xi��n)��ȫ�W(w��ng)�ѽ�(j��ng)ͻ��һ���f�۽z,�����յ���Ϣ���ǿ�,������Ҳ������,�������֙C���_ʼ���ҕ�l��
���ֵ܂�,����
���������˻���,����
��߀����Ϥ���䷽��߀����Ϥ��ζ��,���҂������ꐿ�����һ����,��ֱ�ӾͰl(f��)���Լ���ϵ����Ʒ�߶��֙C��
������(j��)���d�Ƽ��ٲ�������������Ϣ,���Լ�ꐿ����ھ��_�J(r��n),�����d�Ƽ�����ϵ������Ş�����d14�{���p��̎����оƬ������˾���ײ�˹ֱ�ӿ۳��ˆ�̖,���ֵ܂�֪���@��ʲô�����,����
��С����ͣ������ƣ��������Y���^�m(x��)��Ƶ���
��оƬ�{��ԽС,������ζ��оƬ����Խ��,��20�{��оƬ��28�{��оƬ���ܴ�s������40%����(d��ng)ȻҲ�п�����50%����,����14�{�ו���20�{��оƬ������������,����
���҂�����оƬ�I(l��ng)��Č��I(y��)��ʿ���������w����������,�������Կ϶�����,��14�{���p��̎����оƬһ�����C�����nj������Z����,���뉺���e������,����
���{ͨ����ϲ�g��ُ���
�������d�Ƽ�14�{���p��̎��������20�{�����810̎����,���F(xi��n)�ډ����o�����{ͨ��˾��߅,���@������������ɴ���ˣ���
������,�����ԼӼ�,��ֱ�Ӱl(f��)�����Լ��İ��f�۽z�~̖������۽z�ğ��h,��
[�ƺ��Ȭ�]�����Ҿ�֪����ו�������,����ȴ��Ҫ�����ˣ��F(xi��n)�ډ��������{ͨ��˾�@߅,����
[�|��Ľ��]����12��10̖�ǰ�,���@���l(f��)�������Ƿ�ȥ�����ˣ�һ���C����14�{��̎����оƬ,�����{ͨ��˾��Ӌ˯������,����
[�������]�����F(xi��n)�ڶ����픟��Ѱ���,���{ͨ��˾�������T����(y��ng)ԓ���ψ���r�˰ɣ���Ӌ���ں����ѱ���,��14�{���p��̎����оƬ,����20�{�����810̎������ʲô��
[���Ͱ���]�����ҽ��hꐿ���̎�����Ă���,���e���p����,���к�ĸ��,��Ҫ����14�{��10��̎����,���l�ܴ���^�㰡,��,������
���f������Ӱ���,�������˔�(sh��)���f���ع�,��
�uՓ���cٝ,���D(zhu��n)�l(f��),���S��W(w��ng)�Ѷ������X���B�����Ұl(f��)�����Լ�������Ȧ,��
�������r,��
��픟��Ѱ���ף�
���d�Ƽ��l(f��)�����A(y��)�沩��,���g�[���ѽ�(j��ng)���_(d��)ǧ�f,��
�F(xi��n)�������A������CȦ�����P(gu��n)���CȦ,�������֙C�I(l��ng)���Ȧ�Ӷ����p��оƬ��һɫˢ��,��
�z�����䏈���f���@Щ�ط���؈����� �ö���Ԓ,���B������֪����,��12��10̖�������Ҫ���_��Ʒ�l(f��)������
���ڸ�CȦ�I(y��)��(n��i)��ʿ���ڟ��h���p�ۡ��r,����ͨ�Ј��İ��f��ؔ��(j��ng)����Ҳ������,��ϣ���ܺ�һ�ڟ��ю������ع�ȡ�
���С�ţ��A�㡱,��һλ��ʮ�q,�������tɫ���R��������������Ů��Ϭ���c�u����
������ؔ��(j��ng)����,�������ğ��ѱ����҂��Dz䲻�����c��,��������֙CȦ�ӵ�����,����
������,��ꐿ�������Ʒ�Ƶ��̘I(y��)�О�,���@�Ҿ͵Þ��ҵķ۽z���ú÷���һ�£���ʲôꐿ�Ҫ�l(f��)����ϵ��,�����������dX2�֙C,����
���M(j��n)�����},�����^������ҕ�l�Ķ�֪��,����һֱ�����ײ�˹�����Ĵ���˾�e��,�������h����һֱ�l(f��)��1999Ԫ�Ĵ����֙C,���mȻ�������մ����Ñ�����Ʒ������Ҳ��˹̶���,�,���
�����u2999����
����������������,����
���@�c���ꐿ��ͺ���,���Ȱl(f��)�����dX1�֙C�������W�����_�����оƬ������ȥ,����Ʒ������߀�]�й̶��ĕr��,�����Rȥ�����߶���Ʒ�ƣ���
������@���l(f��)�����ɹ����_,����ȡ�ÈA�M�ɹ�,����ô���d���貾��ஔ(d��ng)�ڃɂ�������Ʒ�ƣ������ԃr��,�����Ǹ߶��̄�(w��),���҂������ɔ_������ͬ��һ�},��һ������d�Ƽ���˾��Ѫ,�����ò��f��ꐿ��_����λ�ܳ���������I(y��)��,����
ؔ��(j��ng)�İ��f������,���ص���dz���Ȧ��
������Ʒ��,���M(j��n)���֙CƷ�������и���̘I(y��)����,���õ��˾W(w��ng)�т���һ���J(r��n)�ɡ�
�ײ�˹�����,��Ҳ��ؔ��(j��ng)����ķ۽z�ó���������,��
[�ۺȾջ���]�������һ����֪����ȡ���ײ�˹�Ľ�Ӗ(x��n),���ԛQ���ߴ���˾����·�� �˄�,��߀���ܳ���,����
[�ɿɿɘ�]�����Ҵ�W(xu��)���I(y��)���njW(xu��)���Ј��������Ĵ���1������5,���ײ�˹���уr����1999Ԫ,��һ�ɴ�߀�ã������㶨�r�����,���@�ͽoδ���������[��,���������@��Ʒ�Əص�1999Ԫ�����ˣ��ײ�˹����r���y��,��ֻ���f��Ҳʒ��,����Ҳʒ��,����
[һЦ�L(f��ng)�m]��������,���ҹ�Ӌꐿ��Ƿ��������̂���������r���ŕ��Bæ�Ƴ���ϵ��,������Լ�Ʒ������Ҳ���̶���,����
�@����Ȧ���hՓ���ѽ�(j��ng)���������֙CȦ��ؔ��(j��ng)Ȧ,���ֵȦҲ�_ʼ�˯���,��
һЩСŮ����ֱ�ӄ�(chu��ng)����DZ��˵�Ԓ�},���l(f��)�Եش��,���c����ȥ�����������
����C���Ǿ�Ԓ,���ɵ���Ŀ��ܲ���ͬ��,�������п��ܿ�硭��
�ɂ�С�r�ĕr�g��
�����Ѱ�ȫ��ռ�I(l��ng),��
��һ�������d�Ƽ���Ʒ�l(f��)����
�ڶ�����14�{���p��̎����
������������dz���
�����������֙C
���������ײ�˹�Ć�̖
����
�ھ�����������Ʒ�Ƶ����x
���Ѱ���ʮ��,���ŽK��Ҋ�������đ������ǣ��@���W(w��ng)�j(lu��)�I�N�ѽ�(j��ng)����ɹ�,��
������������Ϣƽ�_,���ɲ�ҪС������Ӱ�����
�oՓ������߀��Ʒ��,����������õ���������,���@��R�����σ|�ľW(w��ng)�������ȿ϶���V,��
�ھW(w��ng)�j(lu��)�I�N�ļӳ���,���@��ҹ��ע����ƽ�o,��
����
��Ǹ��
�n�Ǽ��F(tu��n)�ֹ�˾,��
��֪����ɫ�ŏ�,��ͫ���տs����ָ��������֙C��Ļ,���鿴��ƽ�_,��
�������ˣ���
��14�{���p��̎����,������,����
�����������ɻ�ʲô���ֻҪMϵ����Ļ,������ӆُ���������¿�C����̎����,��
�����f�������d�Ƽ���˾Ŀǰ��̎������,��������(y��ng)ԓ��������ӆُ�Ō��,���
�{ͨ��˾����ُ�I,��(li��n)�l(f��)��̎�����|(zh��)������,���O��Aϵ��̎�����ֲ�������ۣ�������Dz���ֻ���x�C����̎����,��
��ƫƫ��
��ǑB(t��i)�Ⱥܕ���,��
���]���f��ӆ�����֛]�fҪӆ,���@��֪��,�����������涼��֪���������ʲô��
Ȼ������,����������,��
�˼Ҳ���ӆ�C����̎������������ѽ�(j��ng)�����14�{���e�p��̎����оƬ,��
14�{��оƬ�����,��
�и��õIJ��ã��ò��,��
��֪����ڡ������ˡ�,����й���Լ���w��
�����^ȥ��С�r,���������o��,���S���ɻ��@14�{���p��̎����оƬ�l�������a(ch��n)�ģ�
�_�e�,��
��ʲô��һ�c�L(f��ng)Ҳ�]�յ�,��
Ҫ֪���n�Ǽ��F(tu��n)���B(y��ng)���۾��鲼ȫ�����_�e�Ҳ��ʮ��λ���Լ��ˡ��O(ji��n)ҕ�����a(ch��n)��r,����������_�e����a(ch��n)��̎����оƬ,�����������ղ������c�L(f��ng)��
�F(xi��n)�ھ̓ɷN��r,��
һ,������ڴ�ţ��
���d�Ƽ������]��14�{���p��̎����оƬ,���@��������������ĠI�N����,��
�������]�е�Ԓ����
�l(f��)������(d��ng)�첻�ʹ����ˆ
��,�������������S����,��
�@���漰��һ�����}���F(xi��n)��ȫ�����EUV��̙C�Ĵ����S,��Ҳ��ֻ���_�e�,��
�]��EUV��̙C������ô���14�{��оƬ,��
�ִ�,��
��ÓƤ���겻�����ɣ�
�c��֪��ͬ�Ӳ���,���O����˾�����^(q��)��������F(xi��n)���ѽ�(j��ng)�����ѱ����������˶���Щ��ľ,��˼�w�O�Ȼ�y,��
14�{��оƬ��,��
�@14�{��оƬ������ô����,��
������������_�e늣���߅��ؓ(f��)؟(z��)�����_�f��,���F(xi��n)��߀�]��һ��оƬ�O(sh��)Ӌ��I(y��)�����������^14�{���Ƴ̵�оƬ,��
��Ȼ�_�e늛]���a(ch��n)����������Q��14�{���p��̎����оƬ���ĺζ���,��
�n�Ǽ��F(tu��n),��
����H��
(li��n)�A���,��
�������,��������ܰ��,��,�����
���寂��ץ���Լ����^Ƥ,�������벻��,�������_�e늣�߀���ļҴ����S���Դ���14�{��оƬ,��
�]��EUV��̙C,����ô��14�{��оƬ��,��
Ҫô��Ǵ�ţ��,��Ҫô���������ѽ�(j��ng)���F(xi��n)�ˏ�����܇����ij����������˼��g(sh��)ͻ��,��
����]���t��,�����ò�������ĕr�ͱ�����R֪ͨ�O����˾��CEOѝ�ˁ�Q��,��
������ž��������
��һ��Ó��I�P�^��,���]���l(f��)���˳�ȥ��
����
�h(yu��n)�ڴ���˰�,��߀̎���峿�r�ֵ��ׇ���ɫ���V,������߀�ډ��l(xi��ng)��
�O����˾CEOѝ���г��ܵ���(x��)�T,����߀�]��,���ʹ������\��Ь������ѝ���c����,�����_�˷��T,�������һ�ښ����
�����D�����õ�һ��,����
�L��һ�ښ��,�����_ʼ������·���ܡ�
���ס�ڸ��˅^(q��),�����ij���·��Ҳ���@��С�^(q��),��
һЩͬ���г�����(x��)�T�����ӣ�Ҳ�����������к�,�����������c��Ո��ͬ�����,��
ѝ�˶�һһ�ܽ^�ˣ����L�_(d��)��С�r���ܺ�,�����ص���ϴ��,�����o�Լ���(zh��n)�������ţ��,��
�ڳ��^��������o�����ش��_�S���Pӛ��,���l(f��)�F(xi��n)���ǗlһС�rǰ���]��,��
�c�_�]�������ס��,��
ԭ���䐂����,����u�������ض���ȥ�l(f��)չ���S�����ɻ�,���ٵ���������,��
������^ȥ��
ѝ�˽K���̲�ס,����������14�{��оƬ,���_�e늞�ʲô���Ѵ�������Ϣ���V�ң���
���ص�����ס��,��
�����c�Ły���ͳ��֙C,��ֱ�ӽo�_�e늵��Ͽ�������ȥ�Ԓ����Ҫ�C���@����Ϣ,��
߀�ڱ�������˯�X,������ʮ��ď������@���Ԓ���ѣ��̲�סŭ�R����
���Ă�������ҹ�����Ƶā��Ԓ,�����ǟ���,����
�������ɣ��f��������,�,���
�����˷��˂����������c�����s�o˯�X,��
��ž������
�������_��,���������R��������ڴ��^����֙C,����Ŀ�⿴���֙C��Ļ��
����,��ѝ��,����
�����㶣��D�����鲻��,���Bæ�� ������ι,��ѝ���������@ô��������ʲô��,����
���ゃ�_�e�,���o���d�Ƽ�����14�{��оƬ�ˣ���
�����ټ{�ף���
��14�{��оƬ,�,���
���҂�����оƬӆ�����ֻ���^20�{�ף�14�{��оƬ,���Ǹ����ǟo��֮Մ,����
���ゃ�]��������
���]��,���^���]���,����
�����Ŀ϶��Ӵ_����ѝ�ˑ���������,���F(xi��n)�ڵ����l���f�e,��
������f�e��
���d�Ƽ���˾�����]��14�{��оƬ,��
�������f�e,��
�_�e���͵͵�o����������
������˶��]�f�e,����14�{��̎����оƬ�����ā���,��
���ϵ����ģ�
�����ڳ�����,��
߀����~��ρ���,��
ѝ�������˶���Ĭ�ˣ��F(xi��n)�ڵ�������������һ�����˚�,�������ֲ����l������,���l��ƽ���l�Ǻ���,���l�lj���,��
�F(xi��n)����Ҳ���룬�����Ǻ͏������]���f�e,�����������mASML��˾�f�e��,��
���������ׇ�͵͵�u��һ�_��13.5�{�ײ��L�ĘO�����EUV��̙C�o���������S��I(y��),��
����ڹ����J(r��n)֪����,���]��EUV��̙C�����첻��20�{�����µ�оƬ,�������14�{��оƬ,���ͱ�횓���EUV��̙C��
���d�Ƽ�,���_�e�,�����mASML�@���ҹ�˾,���϶������f�e�ˣ�
�������l,��
12��10̖�l(f��)��������,��ѝ�˾͕��д𰸣�
����ѝ������,���{ͨ��˾CEOĪ���˷�,���n�Ǽ��F(tu��n)�֙C�I(y��)��(w��)���������涼�յ�����Ϣ������������һ����,��
14�{��оƬ�����Ǽ�,��
�������ģ������_�e�,���l߀�ܴ������a(ch��n),��
�¹�(ji��)�e�`���c�ˈ���,�����ͺ�S�o(h��)�ˆT���ڃɷ�犃�(n��i)У���¹�(ji��)��(n��i)��,��Ո���ĵȴ���