�����������,����(j��ng)�^�҂����_(t��i)ϵ�y(t��ng)����,�����d��I(y��),�����d������������ʹ��,�,���
���d��I(y��),��
���d������
�댧(d��o)�w��Ƭ����z,���@�ɘӱ��Ҫ����ץ,��ԭ���ϲ��ܽ�Q��оƬ���a(ch��n)��ȻҪ��������,��
����I(y��)�����Ժ����ֱ�ӓܴ�κ�ӵ��Ԓ,��ͬ�r(sh��)�Ɏ���ݹə�(qu��n)���օf(xi��)�h,��
��������ǣ�κ�ӽӹܘO��ϵ����Ʒ��,�������w�C(j��)��,��������м�(x��)�����룬���I(y��)�˻��S����Ҫ�tɫƷ�|(zh��)�˲ŵ�������
ֻ�бM���Q���I(y��)��,���c��о���H�γ����֮��,�������ܰ����u�Լ����֙C(j��)��
�����P(gu��n)�I����,��κ�Ӻ���Ǜ]���κ�Ѫ���P(gu��n)ϵ,��߀���A�����ݣ������(x��)��(sh��)��̫�y,�������B(y��ng)���ӵ�������x,��
����������綼�ڵ����d�Ƽ����C������κε��L(f��ng)���݄�(d��ng),����������������עҕ��,�����˴��ֹ�˾���б�Ҫ��
κ���s�����̾�,���˽��������ԭίҲ��Ȼ����,��ͬ������������ע��(c��)�����d��I(y��)���͡����d���������I(l��ng)ȡ����I(y��)���Q�A(y��)�Ⱥ˜�(zh��n)֪ͨ������ͬ�r(sh��),����Ҳ��ȫ��(qu��n)ؓ(f��)؟(z��)�ɼҹ�˾����Ո(q��ng)ע��(c��),��
��?y��n)��漰���ə?qu��n)���֣����Ҳ�����а��c(di��n)�R��,��
��һ���Ɏ�������ķ݅f(xi��)�h,�������օf(xi��)�h���������Y�{�C��,�����ɖ|����(c��)��,�����o�l���֏�(f��)�ɖ|���ݳ��Z�����������@�ķ��C���ļ�,�����d��I(y��)�����d�������������ƿ�����,��
κ�Ӯ����������ķ����У���Dz��ò������c(di��n),��
ֵ��һ�����,������ĵ�̎���Ѕ^(q��)��(n��i)�����ܽ��O(sh��)��Ƭ�ͻ������ж����w�ŷŵĹ��S,��ֻ���x����ǽ��^(q��)���v�w���I(y��)�@,�����������Ĉ�����Ո(q��ng)��˾��
���ù��I(y��)�@����Ҳ�к�̎,���@�^(q��)�����������Y,��������(hu��)�ṩһ�l����ע��(c��)��˾�I(y��)��(w��)��
����
��κ��ؓ(f��)؟(z��)�ɼ�ԭ���Ϲ�˾ע��(c��)���˕r(sh��),�����Ҳ�]���e��,���ص���˾����l(f��)չ�����Y��,��
�����k���ҡ�
�����_���Լ����]��,��
���輯�F(tu��n)�Ͽ����S�ҵĄ�(d��ng)����Ѹ��,���O(sh��)���(b��o)�r(ji��)��Ҳ�S��������һ��l(f��)�����^��,��
12���M(j��n)��ʯīϩ�V���ἃ�t��3,����(b��o)�r(ji��)2400�f��
�M(j��n)��CZ���w���L�t��2,����(b��o)�r(ji��)1700�f,��
������ǧ�f����
��Dz��ɵ��@�@��
�M(j��n)�ڵ�����,���������F,��
�����ἃ�t�����L�t��߀�о�����Ƭ�C(j��),��CMP���W(xu��)�C(j��)е�����O(sh��)��,���x��ע���O(sh��)�䡢��W(xu��)�z�y�O(sh��)��,��CVD���W(xu��)������e�O(sh��)��,��PVD���������e�O(sh��)�䡭��
�����б��������ף����輯�F(tu��n)����(b��o)�r(ji��)��2.7�|,���@߀ֻ�džΗl�a(ch��n)�ܾ�����O(sh��),��
��Ƭ���ȯ���Ă�(g��)�֡�
��̤�R�F��
���^�������F,�����Ҳ���ò�������,��
�]�й��I(y��)���A(ch��)�����a(ch��n)ԭ���Ͼ���Ҫ�߶���ه�M(j��n)��,��
�@���ஔ(d��ng)���w���Ӳ���ػ�,�������w�ķ����ٺ��A������ʮ��Ҳ��(hu��)�����³�,��
���c��о���H�γ����֮��,���Ǿͱ�����հ댧(d��o)�w��Ƭ������z�������c���a(ch��n),��
��̙C(j��)���r(sh��)��Q����,����Ƭ����z߀�ǿ��Խ�Q�ġ�
�鿴�˜��輯�F(tu��n)��(b��o)�r(ji��)��,������ִ��_�ڶ����]��,������ϢͨӍ���g(sh��)��ɫƷ�|(zh��)�˲ţ������l(f��)������ϢͨӍ��(sh��)�(y��n)���O(sh��)���ُ���,��
�W(w��ng)�j(lu��)�����x,���l�V�����x��ʾ����,����̖(h��o)�l(f��)����,���쾀�����l�yԇ�O(sh��)�䡢�f(xi��)�h�����x,��EMC늴ż����Ԝyԇ�O(sh��)�䡭��
ͬ�ӈ�(b��o)�r(ji��)��������,������(b��o)�r(ji��)��8500�f��
�����O(sh��)������,��߀���~���5G�W(w��ng)�j(lu��)�аl(f��)����(d��ng)�Y��5000�f,����֧��Ҫ1.35�|��
�ɷ��]���Ĉ�(b��o)�r(ji��)��ο��~,���ѽ�(j��ng)������4.05�|,��
����֮�⡣
�]��߀���ķ��(b��o)�r(ji��)���]��,��
��һ��,������ĵؽ��O(sh��)��ꐁ��i�H�ԱO(ji��n)��,����Ҳ������ǰ�ڻ��صĽ��O(sh��)�M(f��i)�È�(b��o)�r(ji��)��,��
��䓽�ˮ�ࡢ�ڙC(j��)����,���Gֲُ�I,�������O(sh��)Ӌ(j��)���M(f��i)��֧����ǰ�ڽ��O(sh��)��ҪͶ��2.2�|,��
�������Ҏ(gu��)���õĽ��O(sh��),�����m(x��)߀ҪͶ�딵(sh��)���Y��
���@2.2�|�Ľ��O(sh��)�M(f��i),��ռ������߀���аl(f��)���,����Ǵ��㽨����20�ӵ��аl(f��)��ǣ��γ�U�͌�(sh��)�(y��n)�аl(f��)�^(q��)��,��
�ڶ���,�����dX1��������ɣ������������Ĉ�(b��o)�r(ji��),���c����ϴΌ��˵IJ��]��̫��ăr(ji��)��(d��ng),��Ͷ�Y���a(ch��n)��Ҫ4�|Ԫ���A(y��)Ӌ(j��)�������a(ch��n)25�f�_(t��i)�֙C(j��),��
������,����ؓ(f��)؟(z��)����(g��)��(sh��)�(y��n)�ҽ�(j��ng)�M(f��i)��������ɫ�����˲��K���l(f��)�����¼����аl(f��)��(j��ng)�M(f��i)��Ո(q��ng)��,��
оƬ��(sh��)�(y��n)��,��늳ز��ό�(sh��)�(y��n)��,����䌍(sh��)�(y��n)�ҡ�����ϵ�y(t��ng)��(sh��)�(y��n)��,�����l�P(y��ng)��(sh��)�(y��n)��,���֙C(j��)��Ļ�����аl(f��)��(sh��)�(y��n)�ҡ��Ĕz��W(xu��)��(sh��)�(y��n)�ҵ��аl(f��)��(j��ng)�M(f��i),������Ո(q��ng)�ܿ���3.2�|,�������Ĕz��W(xu��)��(sh��)�(y��n)�Ҿ�ռ��7500�f���Á������аl(f��)�O(sh��)��,��
���ķ�,��ݸ�ǹ��S�M(f��i)��֧�����O(sh��)��S���M(f��i),�����˹��Y,��ˮ��M(f��i)�õȣ���֧��1200�f,��
����������
�ڲ鿴���]��,����ǿ����k�����L�@һ�ښ⡣
��Ȼ��I(y��)�l(f��)չ���x���_�X��,��Ŀǰ���d�Ƽ��ߵ�ÿһ��,������Ҫ�����Y���Ͷ�롣
9�µ�12��,���u����������(g��)�����dX1�֙C(j��),���ּ���ʮ�f�_(t��i)��X1�֙C(j��)�ۿգ������χ���оƬ���ֽ�2�|,�����d�Ƽ��~���Y��ŵ��_(d��)10�|,�����Ԟ��ѽ�(j��ng)�����ˣ��]�뵽߀�н�3�|�Y���ȱ��,��
�@߀�]�������d������,�����ƹ���zͬ����Ҫُ�I�O(sh��)�䣬�A(y��)Ӌ(j��)ҲҪ֧��1��2�|Ԫ,��
��s5�|���Y��ȱ��,����DZ��Ҫ�M���a(b��)�R��
�oՓ������ĵؽ��O(sh��),��߀���аl(f��)��(j��ng)�M(f��i)�ܿ�,����������d��I(y��)�����d�����İl(f��)չ��ÿһ�����DZ��Ҫ��(j��ng)�v��,��
�]�й�I(y��)�ͻ���,���͟o������о���H�γ����֮�ݣ������a(ch��n)оƬ���b�b�o��,��
�]���аl(f��)��(j��ng)�M(f��i)�ܿ�,����(sh��)�(y��n)���O(sh��)��͟o�����r(sh��)����,����(sh��)�(y��n)����Ҳ��(hu��)�����R���ڶ��]�е���r��,�������ˆT���������ִ��,��
����Ƽ��o�������I(l��ng)�ȣ����d�Ƽ���˾߀�ܽпƼ���˾,��
߀������ĵصĽ��O(sh��)����������������ֹͣ,�������аl(f��)���Ҳ��횱M���깤,�����Ľ��O(sh��)��Ŀ�ľ��Ǟ�����ɿ����ˆT�D(zhu��n)��,�����ҔU(ku��)��(sh��)�(y��n)��Ҏ(gu��)ģ,��
����횱M����X�ˡ,���
��������Z,��
�~����ʮ�|�ܶ��
���_ʼ�ĕr(sh��)��,��������X��ʮ�|�Y��_��(sh��)�ܶ�,����ͨС��I(y��)һ݅��Ҳ����(hu��)���@ô����X��
���S���I(y��)��(w��)�_չ,��ʮ�|�Y�����������,��
�Ƽ���I(y��)���e�ǰ댧(d��o)�wоƬ�I(l��ng)��ĿƼ���I(y��),����ʮ�|���X,������Ǻ�ʮ�K�X��ࡣ
�·���,��������,�������Ȱ댧(d��o)�w�I(l��ng)���Ͽ����������ڹ��_���ϱ�ʾ,��оƬ�ИI(y��)ˮ̫��,���ك|���M(j��n)ȥ��ֻ�� ��(g��)�,���Л]��Ч��߀��IJ�֪��,��
��ǰ��dz֑��ɑB(t��i)�ȣ��F(xi��n)��������������,��
�Ά������Ƭ���O(sh��)��,������Ҫ��2.7�|Ԫ��߀������ԭ����,��ԭ����Ҳ��һ�P֧��,��
���˹�Ƭ,��߀�й���z���@ӰҺ,���g��Һ,����ϴҺ�ȵȣ��@ֻ�ǻ��A(ch��)����,��
��̙C(j��)����,�����f��(g��)�������������Ҫ�����X��
оƬ�댧(d��o)�w�ИI(y��)�治����,��ֻҪ������ij��(g��)�h(hu��n)��(ji��),���Ϳ���ٍ����M���M�Įa(ch��n)�I(y��)��
��Ӌ(j��)����Y��ȱ�ں�,������Ã�(n��i)���Ԓ�����ؕ�,��
��̤̤������
�����߸�Ь�����f���̄�(w��)����ȹ������ޱ���M(j��n)�k����,��ԃ������������������,����
���š,���
��Ǒ�(y��ng)��һ,���Ը���������ȥ���Ј��������VҦ����,�����dX1�֙C(j��)�r(ji��)���ᵽ1799Ԫ,����������������������(b��o)�͠I�N��ʽ�,���
100�����ᵽ200Ԫ,���r(ji��)��q��ֻ��6%���Ñ���(y��ng)ԓҲ�ܽ���,�����������W�����_�����оƬ,��1799Ԫ�����dX1߀�Ǻ���ġ�
��ޱ�������R��ȥ�k,�,���
����(du��)�ˡ,���
����ֽ�ס��,���a(b��)��һ����������U(xi��n)���棬���Ј���ȫ��Ͷ��,��Ҧ������֪����,����
���õĿ��á,���
�����@ô����,��ȥ�ɡ,���
��ޱ�c(di��n)���c(di��n)�^,���D(zhu��n)�����Ј����nj���ȥ��
�����u�֙C(j��)ٍ�X,���u���U(xi��n)���XҲ���ܷ��^,��
�֙C(j��)���U(xi��n)һ����f���@����80%���Ǽ�����,��
���r(ji��)300�K�X����Ļ,����120�K�X�ı��U(xi��n)������50%�ı��U(xi��n)�Ñ��֙C(j��)��Ļ��ˤ����,���Ļ����Qԭ�S�������߀�е�ٍ,��
��50%��������,��
�@���܆
���dX1ʹ�õ����n��Mϵ����Ļ,���������|(zh��)���ͺ�,��ˤһ�ɴθ����Ͳ���(hu��)�ġ�
�F(xi��n)�ڹ�˾�l(f��)չȱ�X,�������U(xi��n),��늳��U(xi��n)��ȫ�C(j��)�U(xi��n)�ȱ��U(xi��n),����һ�����d����ϵ���֙C(j��)���ȫ��������,������߀�ܷ���(g��)100-200�K�������dX1�֙C(j��)����߀����,��
�����u�֙C(j��)�ͱ��U(xi��n)ӯ��,����(li��n)�W(w��ng)ܛ����I(y��)�ˣ��A(y��)���b���ϼ��M(f��i)ҲҪ����Մ?w��)��?br>
�F(xi��n)���Y��ȱ���@ô��,���@Щӯ���ֶζ���ָ������,��߀��Ҫ�����y�е�������
�oՓ��ʲô��I(y��)�l(f��)չ,��һ�����x���_�y�е�,��
����ó��֙C(j��)������ͨӍ��б�,���ҵ�����̘I(y��)�y�����L�����A��̖(h��o)�a�ܴ����^ȥ,��
����
�������硣
����̘I(y��)�y���T��,��
�^�l(f��)�����������,�����b����,����������z���R��˹˹���ĵ��y�����L�����Aվ�ں��L(f��ng)��,����̎�����^����܇�v,��
���L(f��ng)���^�������˂�(g��)���,��
����ô߀�]��,����
�����A���˴���,�������䶼������ͨ�t,��
�������ԣ���λ���^���,�������W�q�������Ĵ��ý�(j��ng)��,������������ҡ�
�����LҪ�����ȥ��,���҂�����Ӵ�ꐿ�,����
����(du��)�����L,�����쌍(sh��)��̫����,����ꐿ�һ�����҂����R֪ͨ��,���Ʉe����������,����
��λ��(j��ng)��¶���P(gu��n)����ɫ,��
�����A�t�Ǔu�˓u�^,���^�m(x��)��������܇�v�������ゃ��������վ���@���DZ���B(t��i)��,���ゃ֪���Ƽ���˾һ�㶼���J���ن�,����
������٣���
��(j��ng)�킃��ô��,��
�����@ô���ゃ�f��,���㶨���d�Ƽ���˾�@һ�Σ�������J���΄�(w��)�^��(du��)�ܳ���(bi��o)���,���ゃ�͵������p����K��(ji��ng)��,����
�����A�����Ĵ��˿ښ����
Ԓ����,��
��λ���ý�(j��ng)��Ҳ������,�������·�Ҋ��K��(ji��ng)�����֡�
���y�й����^�Ķ�֪�����y���治����I(y��)��߀�X,�������]����I(y��)�������J��l(f��)չ,��
�J��ȥ���Դ�gϲ,��
����]����I(y��)�J��,�����y���韩�ʹ��ˣ�
��ȿ�Ч�϶��^����,����ȿ�Ч�^���˾͛]��K��(ji��ng),���]��K��(ji��ng)߀������ٵ��ģ���Щ�y��߀Ҫ�T���J��ȥ�a(b��)��(sh��)��(j��),��
������I(y��)����,��
�Dz����y���LҪ���]���£�
�ڷ����A�̓�λ���ý�(j��ng)�����ε�Ŀ��עҕ��,��һ�v��ɫ���Y�����?c��)��y���T�ڵIJ�܇λ,���D�r(sh��)������ɫһ������λ���ý�(j��ng)���ܶ���������,�����Rָ�]ͣ܇,��
��λ�É�
����,�������M(j��n),�������M(j��n),����
������,����
��������,����,����
��ͣ���,�,����
܇�v�xס܇����ǽ��_��ȫ����܇,�������A�Bæ��ǰ,��Ц�Ǻǚgӭ������ꐹ��ӣ���,����(y��ng)ԓ��ꐿ��Ō�(du��)��,��܇��߀����ô�ð�������,���҂��y������Ո(q��ng),����
��ǿ��������t�Ķ��䣬�W�^Ĩ��������������L,���㲻��(hu��)��������˺ܾð�,����
���]�Л]�У���һ��(hu��),�,���
�����A���˂�(g��)Ո(q��ng)���քݣ����Եă�λ���ý�(j��ng)��Ҳ�Bæ�A����
����(du��),����վ��һ��(hu��),����
��ꐿ�����Ո(q��ng)��,���҂����L��̫��������,����
���f�y�и߸�����,����ֻ����?y��n)���ͨ�ϰ��՛]�лI�a,�����������潉���P(gu��n)ϵ��
��(du��)������@�N��͑�,�������ɰͲ������T����,��
�����@��ӑ��Ę��������Ҋ�ֲ�����,��Ц���������҂��M(j��n)ȥՄ��,������Ҳ����ġ,���
��Ո(q��ng),����
��ꐿ�Ո(q��ng),�,���
�����M(j��n)���y��
�����Aֱ�ӎ���ǁ������L�k����,���S���P(gu��n)���T,���o����˽��ՄԒ�Ŀ��g��
��ꐿ��Ե�һ��(hu��)��,���ҽo����غò�ůů����,����
���쾚��ȥ��ˮ,���_ϴ��P�ϵIJ��,��
�������̘I(y��)�������꣬�p��������˿ڲ�ˮ��,���Ų��o�������_ʼՄ?w��)��¡?br>
��ꐿ�Ҫ�J��,����
�����AЦ�[�[,��ֱ�����}��
��DŽt���c(di��n)���c(di��n)�^,���ó������ļ��������C����������ĵؽ��O(sh��),���Y�����Щ����,���
���е�Ѻ��,�����f����
�����A�۾�һ��,���������C���ļ������ص����ı��C��,���м�(x��)�鿴��
�z�����䏈���f,�����F(xi��n)�ڵ���DZ�AK߀�y��,��
���ҹ��ؽ��O(sh��)�����@�טӁ�����(d��n)����Ѻ,���ஔ(d��ng)���@�ν��J,���y�������L(f��ng)�U(xi��n)�ġ�
����X���O(sh��),��
��߀�X,��
ֱ���յؾ������ˣ�
�е�Ѻ����J��,�����������J�����~�Y��,��
��20�fƽ�������ؽ��O(sh��)�����ع�Ӌ(j��)ҪͶ��ʮ��(g��)�|,�������L����ҿ������w���J����,�����m��Ԓ�������ゃ�@���J��,�,���
��ǵ����f��,��
���@��ԒҲ�ڰ�ʾ,������̘I(y��)�y���@߅�o���~�Ȳ�������߀�Ђ��x���y���J��,��
20�fƽ�������ص�Ѻ,���@��(g��)�I�a�����ˣ�
�����AҲ���Ϻ�,����ô���� ����Ԓ�еĝ��_(t��i)�~,���Bæ�ش�����������ף��ҬF(xi��n)�ھ�����ȥӋ(j��)���~��,��ꐿ����Ե�,�,���
�¹�(ji��)�e(cu��)�`���c(di��n)�ˈ�(b��o)��,����(b��o)�ͺ�S�o(h��)�ˆT��(hu��)�ڃɷ�犃�(n��i)У���¹�(ji��)��(n��i)��,��Ո(q��ng)���ĵȴ���