�����������,����(j��ng)�^�҂����_ϵ�y(t��ng)���������d��I(y��),�����d������������ʹ��,����
���d��I(y��),��
���d����,��
�댧(d��o)�w��Ƭ����z���@�ɘӱ��Ҫ����ץ,��ԭ���ϲ��ܽ�Q,��оƬ���a(ch��n)��ȻҪ�������ӡ�
����I(y��)�����Ժ�,�����ֱ�ӓܴ�κ�ӵ��Ԓ,��ͬ�r(sh��)�Ɏ���ݹə�(qu��n)���օf(xi��)�h��
���������,��κ�ӽӹܘO��ϵ����Ʒ��,�������w�C(j��)�ϣ�������м�(x��)������,�����I(y��)�˻��S����Ҫ�tɫƷ�|(zh��)�˲ŵ�����,��
ֻ�бM���Q���I(y��)��,���c��о���H�γ����֮�ݣ������ܰ����u�Լ����֙C(j��),��
�����P(gu��n)�I����,��κ�Ӻ���Ǜ]���κ�Ѫ���P(gu��n)ϵ��߀���A������,�������(x��)��(sh��)��̫�y,�������B(y��ng)���ӵ�������x��
����������綼�ڵ����d�Ƽ����C,������κε��L(f��ng)���݄�,����������������עҕ�£����˴��ֹ�˾���б�Ҫ,��
κ���s�����̾�,���˽��������ԭίҲ��Ȼ���ܣ�ͬ������������ע�ԡ����d��I(y��)���͡����d������,���I(l��ng)ȡ����I(y��)���Q�A(y��)�Ⱥ˜�(zh��n)֪ͨ������ͬ�r(sh��),����Ҳ��ȫ��(qu��n)ؓ(f��)؟(z��)�ɼҹ�˾����Ոע�ԡ�
��?y��n)��漰���ə?qu��n)����,�����Ҳ�����а��c(di��n)�R��,��
��һ���Ɏ�������ķ݅f(xi��)�h�������օf(xi��)�h��,�������Y�{�C��,�����ɖ|���ԡ������o�l���֏�(f��)�ɖ|���ݳ��Z����,�������@�ķ��C���ļ�,�����d��I(y��)�����d�������������ƿ����С�
κ�Ӯ����������ķ�����,����Dz��ò������c(di��n),��
ֵ��һ����ǣ�����ĵ�̎���Ѕ^(q��)��(n��i),�����ܽ��O(sh��)��Ƭ�ͻ������ж����w�ŷŵĹ��S,��ֻ���x����ǽ��^(q��)���v�w���I(y��)�@�����������Ĉ�����Ո��˾,��
���ù��I(y��)�@����Ҳ�к�̎,���@�^(q��)�����������Y���������ṩһ�l����ע�Թ�˾�I(y��)��(w��),��
����
��κ��ؓ(f��)؟(z��)�ɼ�ԭ���Ϲ�˾ע�Ԍ��˕r(sh��),�����Ҳ�]���e�����ص���˾����l(f��)չ�����Y��,��
�����k����,��
�����_���Լ����]��,��
���輯�F(tu��n)�Ͽ����S�ҵĄ�����Ѹ�٣��O(sh��)���(b��o)�r(ji��)��Ҳ�S������,��һ��l(f��)�����^����
12���M(j��n)��ʯīϩ�V���ἃ�t��3,����(b��o)�r(ji��)2400�f,��
�M(j��n)��CZ���w���L�t��2����(b��o)�r(ji��)1700�f,��
������ǧ�f����
��Dz��ɵ��@�@,��
�M(j��n)�ڵ����⣬�������F,��
�����ἃ�t�����L�t,��߀�о�����Ƭ�C(j��)��CMP���W(xu��)�C(j��)е�����O(sh��)��,���x��ע���O(sh��)��,����W(xu��)�z�y�O(sh��)�䡢CVD���W(xu��)������e�O(sh��)��,��PVD���������e�O(sh��)�䡭��
�����б���������,�����輯�F(tu��n)����(b��o)�r(ji��)��2.7�|���@߀ֻ�džΗl�a(ch��n)�ܾ�����O(sh��),��
��Ƭ���ȯ���Ă�(g��)�֡�
��̤�R�F,��
���^�������F�����Ҳ���ò�������,��
�]�й��I(y��)���A(ch��),�����a(ch��n)ԭ���Ͼ���Ҫ�߶���ه�M(j��n)�ڡ�
�@���ஔ(d��ng)���w���Ӳ���ػ�,�������w�ķ����ٺ��A,������ʮ��Ҳ�������³���
���c��о���H�γ����֮��,���Ǿͱ�����հ댧(d��o)�w��Ƭ,������z�������c���a(ch��n)��
��̙C(j��)���r(sh��)��Q����,����Ƭ����z߀�ǿ��Խ�Q��,��
�鿴�˜��輯�F(tu��n)��(b��o)�r(ji��)�Σ�����ִ��_�ڶ����]��,������ϢͨӍ���g(sh��)��ɫƷ�|(zh��)�˲�,�������l(f��)������ϢͨӍ��(sh��)�(y��n)���O(sh��)���ُ��Ρ�
�W(w��ng)�j(lu��)�����x,���l�V�����x,��ʾ����,����̖�l(f��)�������쾀�����l�yԇ�O(sh��)��,���f(xi��)�h�����x,��EMC늴ż����Ԝyԇ�O(sh��)�䡭��
ͬ�ӈ�(b��o)�r(ji��)�������ף�����(b��o)�r(ji��)��8500�f,��
�����O(sh��)������,��߀���~���5G�W(w��ng)�j(lu��)�аl(f��)�����Y��5000�f����֧��Ҫ1.35�|,��
�ɷ��]���Ĉ�(b��o)�r(ji��)��ο��~,���ѽ�(j��ng)������4.05�|��
����֮��,��
�]��߀���ķ��(b��o)�r(ji��)���]��,��
��һ�⡢����ĵؽ��O(sh��),��ꐁ��i�H�ԱO(ji��n)��,����Ҳ������ǰ�ڻ��صĽ��O(sh��)�M(f��i)�È�(b��o)�r(ji��)�Ρ�
��䓽�ˮ��,���ڙC(j��)����,���Gֲُ�I�������O(sh��)Ӌ(j��)���M(f��i)��֧��,��ǰ�ڽ��O(sh��)��ҪͶ��2.2�|,��
�������Ҏ(gu��)���õĽ��O(sh��)�����m(x��)߀ҪͶ�딵(sh��)���Y��,��
���@2.2�|�Ľ��O(sh��)�M(f��i),��ռ������߀���аl(f��)��ǣ���Ǵ��㽨����20�ӵ��аl(f��)���,���γ�U�͌�(sh��)�(y��n)�аl(f��)�^(q��)��,��
�ڶ��⡢���dX1���������,�������������Ĉ�(b��o)�r(ji��),���c����ϴΌ��˵IJ��]��̫��ăr(ji��)�ӣ�Ͷ�Y���a(ch��n)��Ҫ4�|Ԫ,���A(y��)Ӌ(j��)�������a(ch��n)25�f�_�֙C(j��),��
�����⡢��ؓ(f��)؟(z��)����(g��)��(sh��)�(y��n)�ҽ�(j��ng)�M(f��i)����,����ɫ�����˲��K���l(f��)�����¼����аl(f��)��(j��ng)�M(f��i)��Ո��,��
оƬ��(sh��)�(y��n)�ҡ�늳ز��ό�(sh��)�(y��n)�ҡ���䌍(sh��)�(y��n)��,������ϵ�y(t��ng)��(sh��)�(y��n)��,�����l�P(y��ng)��(sh��)�(y��n)�ҡ��֙C(j��)��Ļ�����аl(f��)��(sh��)�(y��n)��,���Ĕz��W(xu��)��(sh��)�(y��n)�ҵ��аl(f��)��(j��ng)�M(f��i),������Ո�ܿ���3.2�|�������Ĕz��W(xu��)��(sh��)�(y��n)�Ҿ�ռ��7500�f,���Á������аl(f��)�O(sh��)��,��
���ķ⡢ݸ�ǹ��S�M(f��i)��֧��,���O(sh��)��S���M(f��i)�����˹��Y,��ˮ��M(f��i)�õ�,����֧��1200�f��
����������
�ڲ鿴���]��,����ǿ����k�����L�@һ�ښ�,��
��Ȼ��I(y��)�l(f��)չ���x���_�X�ģ�Ŀǰ���d�Ƽ��ߵ�ÿһ��,������Ҫ�����Y���Ͷ��,��
9�µ�12�£��u����������(g��)�����dX1�֙C(j��),���ּ���ʮ�f�_��X1�֙C(j��)�ۿ�,�������χ���оƬ���ֽ�2�|�����d�Ƽ��~���Y��ŵ��_(d��)10�|,�����Ԟ��ѽ�(j��ng)������,���]�뵽߀�н�3�|�Y���ȱ�ڡ�
�@߀�]�������d������,�����ƹ���zͬ����Ҫُ�I�O(sh��)��,���A(y��)Ӌ(j��)ҲҪ֧��1��2�|Ԫ��
��s5�|���Y��ȱ��,����DZ��Ҫ�M���a(b��)�R,��
�oՓ������ĵؽ��O(sh��)��߀���аl(f��)��(j��ng)�M(f��i)�ܿ�,����������d��I(y��)�����d�����İl(f��)չ,��ÿһ�����DZ��Ҫ��(j��ng)�v�ġ�
�]�й�I(y��)�ͻ���,���͟o������о���H�γ����֮��,�������a(ch��n)оƬ���b�b�o�ڡ�
�]���аl(f��)��(j��ng)�M(f��i)�ܿ�,����(sh��)�(y��n)���O(sh��)��͟o�����r(sh��)����,����(sh��)�(y��n)����Ҳ�������R,���ڶ��]�е���r�£������ˆT���������ִ��,��
����Ƽ��o�������I(l��ng)��,�����d�Ƽ���˾߀�ܽпƼ���˾��
߀������ĵصĽ��O(sh��),����������������ֹͣ,�������аl(f��)���Ҳ��횱M���깤�����Ľ��O(sh��),��Ŀ�ľ��Ǟ�����ɿ����ˆT�D(zhu��n)��,�����ҔU(ku��)��(sh��)�(y��n)��Ҏ(gu��)ģ��
����횱M����X��,�,���
��������Z��
�~����ʮ�|�ܶ���,��
���_ʼ�ĕr(sh��)��,��������X��ʮ�|�Y��_��(sh��)�ܶ࣬��ͨС��I(y��)һ݅��Ҳ�������@ô����X,��
���S���I(y��)��(w��)�_չ,��ʮ�|�Y����������á�
�Ƽ���I(y��),���e�ǰ댧(d��o)�wоƬ�I(l��ng)��ĿƼ���I(y��),����ʮ�|���X������Ǻ�ʮ�K�X���,��
�·���,���������������Ȱ댧(d��o)�w�I(l��ng)���Ͽ�,���������ڹ��_���ϱ�ʾ,��оƬ�ИI(y��)ˮ̫��ك|���M(j��n)ȥ,��ֻ�� ��(g��)�,���Л]��Ч��߀��IJ�֪����
��ǰ��dz֑��ɑB(t��i)��,���F(xi��n)��������������,��
�Ά������Ƭ���O(sh��)�䣬����Ҫ��2.7�|Ԫ,��߀������ԭ����,��ԭ����Ҳ��һ�P֧����
���˹�Ƭ��߀�й���z,���@ӰҺ,���g��Һ����ϴҺ�ȵ�,���@ֻ�ǻ��A(ch��)����,��
��̙C(j��)���죬���f��(g��)�������������Ҫ�����X,��
оƬ�댧(d��o)�w�ИI(y��)�治����,��ֻҪ������ij��(g��)�h(hu��n)��(ji��)���Ϳ���ٍ����M���M�Įa(ch��n)�I(y��),��
��Ӌ(j��)����Y��ȱ�ں�,������Ã�(n��i)���Ԓ�����ؕ���
��̤̤������
�����߸�Ь,�����f���̄�(w��)����ȹ������ޱ���M(j��n)�k����,��ԃ�����������������ң���
����,����
��Ǒ�(y��ng)��һ,���Ը���������ȥ���Ј���,�����VҦ���ȣ����dX1�֙C(j��)�r(ji��)���ᵽ1799Ԫ,����������������������(b��o)�͠I�N��ʽ,����
100�����ᵽ200Ԫ,���r(ji��)��q��ֻ��6%,���Ñ���(y��ng)ԓҲ�ܽ��ܣ����������W�����_�����оƬ,��1799Ԫ�����dX1߀�Ǻ����,��
��ޱ�������R��ȥ�k�,���
������,����
����ֽ�ס��,���a(b��)��һ����������U(xi��n)����,�����Ј���ȫ��Ͷ�ţ�Ҧ������֪����,�,���
���õĿ��á���
�����@ô����,��ȥ��,����
��ޱ�c(di��n)���c(di��n)�^,���D(zhu��n)�����Ј����nj���ȥ,��
�����u�֙C(j��)ٍ�X���u���U(xi��n)���XҲ���ܷ��^,��
�֙C(j��)���U(xi��n)һ����f,���@����80%���Ǽ�������
���r(ji��)300�K�X����Ļ,����120�K�X�ı��U(xi��n),������50%�ı��U(xi��n)�Ñ��֙C(j��)��Ļ��ˤ���ˣ��Ļ����Qԭ�S��,�����߀�е�ٍ,��
��50%����������
�@���܆�,��
���dX1ʹ�õ����n��Mϵ����Ļ,���������|(zh��)���ͺã�ˤһ�ɴθ����Ͳ�����,��
�F(xi��n)�ڹ�˾�l(f��)չȱ�X,�������U(xi��n)��늳��U(xi��n),��ȫ�C(j��)�U(xi��n)�ȱ��U(xi��n),����һ�����d����ϵ���֙C(j��)���ȫ�������ϣ�����߀�ܷ���(g��)100-200�K,�������dX1�֙C(j��)����߀����,��
�����u�֙C(j��)�ͱ��U(xi��n)ӯ������(li��n)�W(w��ng)ܛ����I(y��)��,���A(y��)���b���ϼ��M(f��i)ҲҪ����Մ?w��)��?br>
�F(xi��n)���Y��ȱ���@ô��,���@Щӯ���ֶζ���ָ�����ϣ�߀��Ҫ�����y�е�����,��
�oՓ��ʲô��I(y��)�l(f��)չ,��һ�����x���_�y�еġ�
����ó��֙C(j��),������ͨӍ��б�,���ҵ�����̘I(y��)�y�����L�����A��̖�a�ܴ����^ȥ��
����
��������,��
����̘I(y��)�y���T��,��
�^�l(f��)�����������,�����b���ģ���������z���R,��˹˹���ĵ��y�����L�����Aվ�ں��L(f��ng)��,����̎�����^����܇�v��
���L(f��ng)���^,�������˂�(g��)���,��
����ô߀�]���,���
�����A���˴���,�������䶼������ͨ�t��
��������,����λ���^���,�������W�q�������Ĵ��ý�(j��ng)���������������,��
�����LҪ�����ȥ��,���҂�����Ӵ�ꐿ��,���
���������L,�����쌍(sh��)��̫���ˣ���ꐿ�һ��,���҂����R֪ͨ��,���Ʉe���������ӡ,���
��λ��(j��ng)��¶���P(gu��n)����ɫ��
�����A�t�Ǔu�˓u�^,���^�m(x��)��������܇�v�������ゃ����,����վ���@���DZ���B(t��i)�ȣ��ゃ֪���Ƽ���˾һ�㶼���J���ن�,����
�������,����
��(j��ng)�킃��ô��
�����@ô���ゃ�f��,���㶨���d�Ƽ���˾�@һ��,��������J���΄�(w��)�^���ܳ���(bi��o)��ɣ��ゃ�͵������p����K����,����
�����A�����Ĵ��˿ښ��,��
Ԓ���䡣
��λ���ý�(j��ng)��Ҳ������,�������·�Ҋ��K��������,��
���y�й����^�Ķ�֪��,���y���治����I(y��)��߀�X�������]����I(y��)�������J��l(f��)չ,��
�J��ȥ,���Դ�gϲ��
����]����I(y��)�J��,�����y���韩�ʹ���,��
��ȿ�Ч�϶��^���ˣ���ȿ�Ч�^���˾͛]��K��,���]��K��߀������ٵ���,����Щ�y��߀Ҫ�T���J��ȥ�a(b��)��(sh��)��(j��)��
������I(y��)����,��
�Dz����y���LҪ���]����,��
�ڷ����A�̓�λ���ý�(j��ng)�����ε�Ŀ��עҕ�£�һ�v��ɫ���Y�����?c��)��y���T�ڵIJ�܇λ,���D�r(sh��)������ɫһ��,����λ���ý�(j��ng)���ܶ��������ʣ����Rָ�]ͣ܇,��
��λ�É�,����
�����������M(j��n),�������M(j��n),����
����������
����,����,��������
��ͣ�,��,�����
܇�v�xס܇,����ǽ��_��ȫ����܇,�������A�Bæ��ǰ��Ц�Ǻǚgӭ������ꐹ���,����,����(y��ng)ԓ��ꐿ��Ō��ˣ�܇��߀����ô�ð�,������,���҂��y������Ո�,���
��ǿ��������t�Ķ���,���W�^Ĩ��������������L,���㲻����������˺ܾðɣ���
���]�Л]��,����һ��,����
�����A���˂�(g��)Ո���ք�,�����Եă�λ���ý�(j��ng)��Ҳ�Bæ�A����
����,����վ��һ���,���
��ꐿ�����Ո��,���҂����L��̫�������ˡ,���
���f�y�и߸�����,����ֻ����?y��n)���ͨ�ϰ��՛]�лI�a�����������潉���P(gu��n)ϵ,��
��������@�N��͑�,�������ɰͲ������T���͡�
�����@��ӑ��Ę,��������Ҋ�ֲ�����,��Ц���������҂��M(j��n)ȥՄ�ɣ�����Ҳ�����,�,���
��Ո�,���
��ꐿ�Ո,����
�����M(j��n)���y��,��
�����Aֱ�ӎ���ǁ������L�k����,���S���P(gu��n)���T���o����˽��ՄԒ�Ŀ��g,��
��ꐿ��Ե�һ�������ҽo����غò�ůů����,�,���
���쾚��ȥ��ˮ���_ϴ��P�ϵIJ��,��
�������̘I(y��)��������,���p��������˿ڲ�ˮ�Ų��o�������_ʼՄ?w��)��¡?br>
��ꐿ�Ҫ�J��,����
�����AЦ�[�[,��ֱ�����},��
��DŽt���c(di��n)���c(di��n)�^���ó������ļ��������C����������ĵؽ��O(sh��),���Y�����Щ����,����
���е�Ѻ��,�����f,����
�����A�۾�һ�����������C���ļ������ص����ı��C��,���м�(x��)�鿴,��
�z�����䏈���f�����F(xi��n)�ڵ���DZ�AK߀�y��,��
���ҹ��ؽ��O(sh��),�����@�טӁ�����(d��n)����Ѻ���ஔ(d��ng)���@�ν��J,���y�������L(f��ng)�U(xi��n)��,��
����X���O(sh��)��
��߀�X,��
ֱ���յؾ�������,��
�е�Ѻ����J����������J�����~�Y��,��
��20�fƽ�������ؽ��O(sh��),�����ع�Ӌ(j��)ҪͶ��ʮ��(g��)�|�������L����ҿ������w���J����,�����m��Ԓ,�������ゃ�@���J�ˡ,���
��ǵ����f��,��
���@��ԒҲ�ڰ�ʾ������̘I(y��)�y���@߅�o���~�Ȳ���,������߀�Ђ��x���y���J��,��
20�fƽ�������ص�Ѻ���@��(g��)�I�a������,��
�����AҲ���Ϻ�,����ô���� ����Ԓ�еĝ��_�~���Bæ�ش������������,���ҬF(xi��n)�ھ�����ȥӋ(j��)���~��,��ꐿ����Եȡ,���
�¹�(ji��)�e(cu��)�`,���c(di��n)�ˈ�(b��o)��,����(b��o)�ͺ�S�o(h��)�ˆT���ڃɷ�犃�(n��i)У���¹�(ji��)��(n��i)�ݣ�Ո���ĵȴ�,��