��������ÿ죬�ߵ�Ҳ�죬����ԒҲ�������푾�犣��@�����Ǵ���˰������ͨ��ˡ�
���d�Ƽ����վ������
��о���H��횲�������
���d��I(y��)�����d��������Ҫ�M����ɲ����ԑ�(y��ng)�����ܵ�����ȫ���Ʋþքݡ�
��������˼�w���^ȥ�˰�С�r(sh��)���������������֙C(j��)���o�����a(ch��n)(li��n)�ˡ������т��l(f��)ȥ��Ϣ��������һ���đ�(y��ng)�����ߡ�
����
��һ߅��
���d�Ƽ���˾ͣ܇����
�@����ڌ��֘���Ȧ���������]�н�ֹ���܇�v�����ƣ������˔�(sh��)�죬����ʮ��Ĭ�?sh��)��ȽK���õ������ĵ�һ�����(b��o)��
�������߳����d�Ƽ���˾������ͣ܇���_܇�r(sh��)���H���˸���̖(h��o)ī�R���]���^��Ă��b��
�������ͨ�ˣ���ī�R���ړ��£������J(r��n)���������l��ֻ��(hu��)�X���@��(g��)椺��К��|(zh��)��������㡣
�Ɍ��ڬ�?sh��)��ȁ��f���������ģ�����ѽ�(j��ng)�̮��M(j��n)�����ˣ������ǽ�(j��ng)�^���I(y��)Ӗ(x��n)���ģ�һ�۾͌��@λ�n�Ǽ��F(tu��n)�L�����J(r��n)������
���]�а���t�ɣ�͵͵���Ĕz�ˎ���Ƭ��
��������܇�v�x�_�����������C(j��)�������Ƭ���������촽������Ī���˷�]�f�e������������߀�����P(gu��n)ϵ����
�ڡ����C���u�����@��(g��)��r(sh��)�ڣ�������߀�����ӣ����L���d�Ƽ������˿϶��в��ɸ��˵����ܡ�
���p��оƬ�������棬��ǣ��n�Ǽ��F(tu��n)�����d�Ƽ�����
��?sh��)��������¾Ƽtɫ�İl(f��)�z��¶��Ĩ׃�B(t��i)���Ц�ݡ�
��о���H�]EUV��̙C(j��)���n�Ǽ��F(tu��n)��EUV��̙C(j��)����о���H�]���ˁ��c��ǽ��|���������H�ԁ����d�Ƽ���˾����
�p��оƬ֮�i���ѽ�(j��ng)Ҫˮ��ʯ���ˡ�
�F(xi��n)������(g��)���H���(hu��)���䌍(sh��)���A�����n�Ǽ��F(tu��n)������
�e����о���H������ǰ���оƬ�����S�������õ���оƬӆ�η��~�Hռ����оƬ�Ј���3%��߀�ǵͶ�оƬ�����졣
������14�{�ף�
�Ă�(g��)�֣��V���f����
��?sh��)���ĬĬ�������Ƭ�����]��һֱ����܇�ϣ����ǁ�����������Ȧ���M(f��i)ُ�
����������ǣ��ׇ�������̽�H�����ӣ��ɷ����O����˾�ļ��g(sh��)�߹ܣ����C�����ǃɂ�(g��)�£����ھͱ��Ҫ�x�_��
�@����Ƭ���ͳ�ȥ��Ҳ��Ҫ�ȃɂ�(g��)���Ժ�
���^��
��Ҳ�����x����ǰ�؇���
���ǘӵ�Ԓ���������(n��i)�����]�������M(j��n)�������ˣ�������Ҳ�]�������ύ��
�r�����d�Ƽ�߀�]�����C���Y(ji��)���أ��@����Ƭ���ܴ���ʲô��ֻ���f��������ð�����`��(hu��)���L(f��ng)�U(xi��n)�����|��һ����ǡ�
���(b��o)��߀Ҫ�^�m(x��)�ռ���
����
��(sh��)���
��ҹ�����L(f��ng)�̹ǡ�
��ڵ�īɫ�\������(g��)��ǣ��ߒ���������½�����֪��ۙ�����Ʊ��ړ���һ�㡣
��������^(q��)��
�H�i��˾�������ء�
һ�v���{(di��o)�ĺ�ɫɣ���{���p܇��·���?c��)�ͣ܇���^(q��)���{�܇�v�IJ��DŽe�ˣ�����������q�����@�ýӵؚ����ǡ�
��܇��졣
ͣ��(w��n)܇�v��
܇�vϨ����ǿ̣��ȴ��S�õ����������R��ǰ��ӭ�ӵ������gӭꐿ�ǰ���H�i���ͣ��Ͽ����ѽ�(j��ng)�ڕ�(hu��)�h�ҵȺ��ˡ���
���]�І�ָ�·��ǣ������õ��˸����Ͽ���
�����@��
������ֹ��ǁ��L��
���^���Ҳ�]�����⣬��?y��n)����ǰ���ͺ��·��������^��ԃ������z�C(j��)�����\(y��n)ݔ�M(j��n)�ȡ�
�·��Ǻ����f����r��ͬ�r(sh��)��߀�����ѡ��댧(d��o)�w���a(ch��n)(li��n)�ˡ�����I(y��)�Ͽ���һ�����ġ�
�F(xi��n)����I(y��)�Ͽ��������ó������O����˾���@����Ʒ�l(f��)����(hu��)�����ѽ�(j��ng)���Ά��ǰl(f��)����(hu��)�����������d�Ƽ���˾ʩ�����ֶΡ�
���߶��Ј������횽ӣ�
���Ӿ����f�������d�Ƽ���˾���ǂ�(g��)���ϻ���
��ǿ�������߅ͣ����܇�v���S��Ŀ�⿴�������������{(di��o)٩�������ǿ��������t���ˡ���
���������t�����@����(hu��)�h���͛]�ж��´_�Еr(sh��)�g���������ۻش��ͬ�r(sh��)�����˂�(g��)Ո���ք��^�m(x��)�f������ꐿ��@߅Ո�ɡ���
���ţ��韩�ˡ���
��ǿ������H�i�������ܣ����ɵ��wĽ�ˎ֡�
������ʮһ��(g��)�@�^(q��)�M�ɣ���ռ����e����ǧ�����Ǘ���(bi��o)־�ԣ�����ͨ���Ķ�ʮ�����аl(f��)��nj�(sh��)���^���������Еr(sh��)�������H���룬�ԼҵĻ�����Ҋ�ñ��H�i�Æ
��ꐿ��@߅Ո����
�����۴ߴ���һ�䡣
����S���ջ�Ŀ�⣬Ҳ���ٶ��룬�e���еģ���Ҫ�У��e�˛]�еģ�����Ҫ�С�
���^Ŀǰ��Ԓ��߀���Ƚ�����(li��n)�ˡ������������^�@��Σ�C(j��)���ټ�(x��)�������İɡ�
����
�H�i�k����ǡ�
플ӕ�(hu��)�h�ҡ�
�^�l(f��)ϡ�裬�����㲣�����߀�����֑n������Ͽ�������λ���� �����Ͽ��Ľ�Մ��
��Ŀǰ�@��(g��)��r���oՓ��6��댧(d��o)�w��ƬҲ�ã�߀��8��댧(d��o)�w��ƬҲ�T�������h�ǣ�ȫ�����o��о���H���a(ch��n)оƬ����
���]�e(cu��)�������X�N�a(b��)�����d�Ƽ���оƬ����(y��ng)Ҳ���ܔ࣬һ�����˾��韩�ˡ���
���O��6���O��6puls���F(xi��n)����Ҫ�l(f��)���O��7�֙C(j��)���O����˾�[���˾��ǎ�����ԇ̽�����d�Ƽ���˾�����Л]���@��(g��)��(sh��)������
������֮�ⲻ�ھư�����
������������ȫҪ���Ϳ������ܲ��ܴ��ˣ���
���� �f��ֻ�� �f���_(t��i)�e���߅�ѽ�(j��ng)��æ����оƬ��Ĥ���ˣ��O�������14�{��оƬ�����^�@��(g��)��Ϣ�����档��
��14�{��оƬ����
��������ׇ�������߀���п��ܸ��������
�Ͽ����������ӑՓ�������������@���Ԓ���϶���(hu��)�@�@��ô�@ô������ס�
�������(c��)�Ͽ��քe�ǣ�
����˾�Ͽ����ײ�˹��
�F�N��˾�Ͽ����_�ơ�
�{(l��n)�G�S�Ͽ�������ƽ�������
߀���B�빫˾�Ͽ���־����ҕ��˾�Ͽ��Z���ڡ����{(l��n)��˾�Ͽ��S���������֙C(j��)��I(y��)Ȧ�ӣ��ܺ�������̖(h��o)�Ķ����ˡ�
�҂�(c��)����I(y��)�Ͽ�����һλ�ľ�����о���H�Ͽ�������������ǜ��輯�F(tu��n)�Ͽ����S�ң��A��EDAܛ���Ͽ���������
�ŵ��^��������I(y��)�Ͽ�������Ϥ��(sh��)������
����֮�⡣
���o(j��)��Ҳ�H�R��(hu��)�h�F(xi��n)����
�����˴��킀(g��)�����⣬߀�������������Ժ���@�ѽ�(j��ng)����ij��(g��)��I(y��)�������ˡ�
�mȻ��������ǰ������Ժʿ�^������ꇈ��ӡ�
ʮ��(g��)��ǰ��
��I(y��)�Ͽ������R���^һ�Ρ�
��(d��ng)�r(sh��)�·��Ǿ���̖(h��o)�ټ����YԴ������һ�İl(f��)չ�댧(d��o)�w�����ⱻ�����������ӡ�
���^����������䲻�����]��Մ�n�����@���·��njW(xu��)���ˣ������o(j��)�ֺ������(zh��n)���@����(hu��)�h�ĸ߶�����һ��(g��)���ȣ�������ֻ������档
��(d��ng)Ȼ�ˡ�
�܈F(tu��n)�Y(ji��)��ǰ���Ǽ��g(sh��)ͻ�ơ�
���һ�c(di��n)ϣ��������Ҋ���l߀��(hu��)������ð�U(xi��n)��
ʮ��(g��)��ǰ������ˣ��{ͨ��˾���������֙C(j��)��I(y��)����Ҋϣ�����lҲ��Ը����X������
���F(xi��n)�ڲ�ͬ�ˣ���ǵ����d�Ƽ���˾�ѽ�(j��ng)ͻ�ƣ����Ҍ�(sh��)�F(xi��n)���b�b�I(l��ng)�ȣ���ס������I(y��)�IJ�����оƬ�O(sh��)Ӌ(j��)�cEDAܛ��������оƬ���a(ch��n)ԭ�����c��̙C(j��)��
��ϣ���͛]ϣ�����@Ҳ�Ǖ�(hu��)�hՄ�n���P(gu��n)�I��
���Ͽ����hՓ���������h�Q�ߕr(sh��)�����¶��ĨǸ����ɫ���B�B��Ǹ���M(j��n)��(hu��)�h�ҡ�
��������˼������˼����̎���깫˾�����飬·��߀���c(di��n)��܇����λ�Ͽ��õ��ˡ���
������ǵ��t�����Ͽ����]�а��c(di��n)���⣬����߀�������غ������к���
��ꐿ����ˡ���
�����������҂�Ҳ�DŽ�������
����������ꐿ���̈́eҊ���ˣ��҂��@����(hu��)�h��]����Ԓ��߀������ʽ�_ʼ���]�_ʼ��ȻҲ����(hu��)���t�����f������
���]�e(cu��)�]�e(cu��)����
ʮ��(g��)��ǰ��
���߀�]�Y�ӕ�(hu��)�h��
ʮ��(g��)�º�
����Ȼ�ɞ������e��
�����(hu��)�Ĵ�Ⱦ�ף��e߀�����̘I(y��)�I(l��ng)��Ԓ�Z��(qu��n)���������ڹ�˾ȡ�õijɾ͡�
���ʮ�|��ֵС��I(y��)���ǹ�Ӌ(j��)�B�TƱ���ò�����
�����Ͽ����Ԏ�ӑ�õ��Z�⣬���Ҳ���t̓�ؑ�(y��ng)���������������w���Y(ji��)��߀����λ�õ��ˡ���
���f�꣬��ע����o(j��)��Ҳ�ڈ����Bæ���õ��������ϣ��]�뵽��Ҳ���ˡ���
�����Ͽ����s������������
���o(j��)�ֵ���Ц����
���������һ�Εr(sh��)�g�ˣ��ϵ�оƬ�O(sh��)Ӌ(j��)������������c���̎�λԺʿ���s����ǡ�
�����������Ҳ�Â�(g��)����Ƹ��ϯ���ģ��������м�(x��)���룬߀��Ҫ�����ɿ��ź��ᡣ
���ֱ���ᣬ���Ҳ����(hu��)��ƸՈ�����@�ӵ�Ԓ�����@�����������u���ˡ�
���o(j��)��Ҳ�͛]�ص۶����n��������������ǡ�
�������̄t�Ƿ����˵۶�����Ժ���^�m(x��)�о�����оƬ����ȡ���հl(f��)�����ա�
��ꐿ�?c��)����ɣ��@�ﶼ�������ˣ��Ͳ�ҪҊ���ˡ����·���¶��ĨЦ���f����
��ǭh(hu��n)�һȦ�����˃ɂ�(g��)��������⣬�_��(sh��)���������ˣ�߀��λ�������ӡ���
�tɫƷ�|(zh��)�˲����죬�˕r(sh��)Ҳ�����˕�(hu��)�h�ң������ڸ�������߅��Ҳ��֪�����l�����ġ�
��ꐿ����@߅�ɡ���
�_��ߺ�ȵ���
��(hu��)�h�����(c��)�ĵ�һ��(g��)λ�ã���������A(y��)�����ˡ�
�����������Ŀǰ���d�Ƽ���ڡ��Ʋá���ǰ�����@��(g��)λ����Ȼ��(d��ng)�ʲ���
�����Ҳ��͚��ˡ�������h�ף������(c��)����λ���¡�
һ�Ե��ײ�˹Ҋ������£�Ҳ���R����������ꐿ����]�뵽�@ô����Ҋ�棬�Ƚo���f��(g��)����Ϣ������z�O(sh��)���I�����_(t��i)�ˡ���
����ʲô����
������(y��ng)�����܄�ȥ���C(j��)������z�濾�t����
��߀������������
�����ͻ��������С�¡���
�ײ�˹�c��ǵ���Մ�r(sh��)��������λ���·��Ǹɿȃ���ʾ���(hu��)�h�Ұ��o��
���r(sh��)�g��
ȫ���Ͽ�Ŀ��۽���
�������ͨ�ˡ�
����
�����ǃ|�f���̣����挦�@ô����ك|�Ͽ���Ŀ��עҕ����Ӌ(j��)��(hu��)ֱ�Ӈ����p�����
���·��Ǜ]�а��c(di��n)�ӈ�������ô�fҲ��ǧ�|�Ͽ��������R�Ͼ��ǃ�ǧ�|��ֵ�Ͽ��ˣ�������������I(y��)�μ�Ĵ��ڡ�
���ܸ��x��λ�������H�i��˾������Ԓ�ҾͲ��f�ˣ������(hu��)�h���}߀��оƬ���a(ch��n)������
��ͣ�DƬ�̣��^�m(x��)�f������ʮ��(g��)ǰ����(zh��n)�_���f��Ԓ����ʮ����(g��)��ǰ��Ҳ����2013��8�·ݵĕr(sh��)���{ͨ��˾�͌�оƬ�l���q�r(ji��)�������_ʼ��70Ԫ��14���200Ԫ����λ��(y��ng)ԓ����֪���ġ���
���F(xi��n)�چ�ö���810̎�����ѽ�(j��ng)�q��270Ԫ��߀����ȡ�����M(f��i)�����оƬ���܇��a(ch��n)�����������ܝq��300Ԫ�������ܝq��350Ԫ��������ܝq��500Ԫ����������I(y��)���@ô�ã���ظ�λ��������Ǿ���һȺ؝�ßo���ļһ��
�·����vԒ�r(sh��)����(hu��)�h���Ͽ��o�����c(di��n)�^�϶���
�֙C(j��)��I(y��)�Ȳ�Մ�����f��о���H��оƬ�����S��ԭ�����˼�ֱ���������ˣ������һ��һ��(g��)�r(ji��)����߀���ò�ȥ�I��
߀�а댧(d��o)�w��Ƭ�ИI(y��)�����輯�F(tu��n)��������������8��댧(d��o)�w��Ƭӯ���ˣ��˼�12���Ƭֱ�ӽ��r(ji��)�����lj�������I(y��)�l(f��)չ��
������I(y��)�̚�����̎̎������һֱ���m(x��)�ġ�
��ž������
�·���ͻȻһ�����ӣ����ʮ���������Ȼ����؝�ßo�����ô��M(j��n)�ߣ����҂��ͱ�횈F(tu��n)�Y(ji��)�������������İ댧(d��o)�w����
�ڈ��Ͽ��]�б������������X���·��������飬��(n��i)���[�s���@Ĩ���ȼ����
�����Y��
�@���LJ���K�OĿ��(bi��o)��
�����
�ײ�˹���ȹ��ƣ������Ͽ��������ϡ�
��žžž������
���F(xi��n)��Ҫ��ô������
���������İ댧(d��o)�w����
�����Ͽ����f�f�뷨��Ҫ�҂����X߀�dz��ˣ���
�Ͽ�������¶���ɻ��·����ԣ�Ŀ�⿴���Լ����(c��)����ǽ�B����
�����d�Ƽ���˾����ǣ���λҲ��İ���ˣ�14�{���p��оƬ���_�����оƬ�����W��䶼������˾����?y��n)��b�b�I(l��ng)�ȣ������ѽ�(j��ng)��������ҕ������ᔣ����д̡���
���Һ�ꐿ��Լ���λ�Ͽ�˽��Ҳ�����^���F(xi��n)���҂��뷨�ܺ��Σ����������d�Ƽ���ȥ�������Ʋã��҂��t��˽���½o����Ѫ����
�������f���ǣ���������λ��ȫ���YԴ�������d�Ƽ�����ɓ��������Ԯa(ch��n)����������(bi��o)�n�Ǽ��F(tu��n)��оƬ�Ƽ���I(y��)����
�¹�(ji��)�e(cu��)�`���c(di��n)�ˈ�(b��o)������(b��o)�ͺ�S�o(h��)�ˆT��(hu��)�ڃɷ�犃�(n��i)У���¹�(ji��)��(n��i)�ݣ�Ո���ĵȴ���