��������ÿ�,���ߵ�Ҳ�죬����ԒҲ�������푾��,���@�����Ǵ���˰������ͨ���,��
���d�Ƽ����վ������
��о���H��횲�����,��
���d��I(y��),�����d��������Ҫ�M����ɲ����ԑ������ܵ�����ȫ���Ʋþք�,��
��������˼�w,���^ȥ�˰�С�r���������������֙C,���o�����a(li��n)�ˡ������т��l(f��)ȥ��Ϣ,��������һ���đ������ߡ�
����
��һ߅,��
���d�Ƽ���˾ͣ܇��,��
�@����ڌ��֘���Ȧ���������]�н�ֹ���܇�v������,�������˔�(sh��)��,������ʮ��Ĭ�?sh��)��ȽK���õ������ĵ�һ�����
�������߳����d�Ƽ���˾,������ͣ܇���_܇�r,���H���˸���̖ī�R���]���^��Ă��b,��
�������ͨ��,����ī�R���ړ��£������J���������l,��ֻ���X���@��椺��К��|,���������,��
�Ɍ��ڬ�?sh��)��ȁ��f���������ģ�����ѽ��̮��M������,�������ǽ��^���I(y��)Ӗ����,��һ�۾͌��@λ�n�Ǽ��F�L�����J������
���]�а���t��,��͵͵���Ĕz�ˎ���Ƭ,��
��������܇�v�x�_�����������C�������Ƭ,���������촽������Ī���˷�]�f�e,������������߀�����Pϵ�,���
�ڡ����C���u�����@����r�ڣ�������߀������,�����L���d�Ƽ�,�����˿϶��в��ɸ��˵����ܡ�
���p��оƬ,��������,����ǣ��n�Ǽ��F,�����d�Ƽ�����
��?sh��)��������¾Ƽtɫ�İl(f��)�z,��¶��Ĩ׃�B(t��i)���Ц�ݡ�
��о���H�]EUV��̙C,���n�Ǽ��F��EUV��̙C,����о���H�]���ˁ��c��ǽ��|���������H�ԁ����d�Ƽ���˾����
�p��оƬ֮�i,���ѽ�Ҫˮ��ʯ����,��
�F(xi��n)���������H������䌍���A�����n�Ǽ��F����,��
�e����о���H������ǰ���оƬ�����S,�������õ���оƬӆ�η��~�Hռ����оƬ�Ј���3%��߀�ǵͶ�оƬ������,��
������14�{��,��
�Ă��֣��V���f��,��
��?sh��)���ĬĬ�������Ƭ,�����]��һֱ����܇�ϣ����ǁ�����������Ȧ���Mُ��,��
�����������,���ׇ�������̽�H������,���ɷ����O����˾�ļ��g�߹ܣ����C�����ǃɂ���,�����ھͱ��Ҫ�x�_,��
�@����Ƭ���ͳ�ȥ��Ҳ��Ҫ�ȃɂ����Ժ�,��
���^,��
��Ҳ�����x����ǰ�؇���
���ǘӵ�Ԓ,��������������]�������M��������,��������Ҳ�]�������ύ��
�r�����d�Ƽ�߀�]�����C���Y����,���@����Ƭ���ܴ���ʲô,��ֻ���f��������ð�����`�����L�U�����|��һ�����,��
���,��߀Ҫ�^�m(x��)�ռ���
����
��(sh��)���,��
��ҹ,�����L�̹ǡ�
��ڵ�īɫ�\���������,���ߒ���������½�����֪��ۙ,�����Ʊ��ړ���һ�㡣
��������^(q��),��
�H�i��˾��������,��
һ�v���{�ĺ�ɫɣ���{���p܇��·�����ͣ܇���^(q��)��,���{�܇�v�IJ��DŽe��,������������q�����@�ýӵؚ�����,��
��܇���,��
ͣ��(w��n)܇�v��
܇�vϨ����ǿ�,���ȴ��S�õ����������R��ǰ,��ӭ�ӵ������gӭꐿ�ǰ���H�i���ͣ��Ͽ����ѽ��ڕ��h�ҵȺ���,�,���
���]�І�ָ�·��ǣ������õ��˸����Ͽ���
�����@,��
������ֹ��ǁ��L,��
���^���Ҳ�]�����⣬������ǰ���ͺ��·��������^,��ԃ������z�C�����\ݔ�M��,��
�·��Ǻ����f����r��ͬ�r��߀�����ѡ��댧�w���a(li��n)�ˡ�����I(y��)�Ͽ���һ������,��
�F(xi��n)����I(y��)�Ͽ��������ó���,���O����˾���@����Ʒ�l(f��)���������ѽ����Ά��ǰl(f��)����,�����������d�Ƽ���˾ʩ�����ֶ�,��
���߶��Ј������횽�,��
���Ӿ����f��,�����d�Ƽ���˾���ǂ����ϻ���
��ǿ�������߅ͣ����܇�v,���S��Ŀ�⿴�������������{٩�������ǿ��������t����,����
���������t��,���@�����h���͛]�ж��´_�Еr�g�,��������ۻش��ͬ�r,�����˂�Ո���ք��^�m(x��)�f������ꐿ��@߅Ո�ɡ,���
����,���韩�ˡ,���
��ǿ������H�i��������,�����ɵ��wĽ�ˎ֡�
������ʮһ���@�^(q��)�M��,����ռ����e����ǧ��,���Ǘ���־�ԣ�����ͨ���Ķ�ʮ�����аl(f��)��nj����^������,���Еr�������H����,���ԼҵĻ�����Ҋ�ñ��H�i�Æ
��ꐿ��@߅Ո,�,���
�����۴ߴ���һ�䡣
����S���ջ�Ŀ��,��Ҳ���ٶ���,���e���е�,����Ҫ�У��e�˛]�е�,������Ҫ��,��
���^Ŀǰ��Ԓ��߀���Ƚ�����(li��n)�ˡ�������,�����^�@��Σ�C,���ټ��������İɡ�
����
�H�i�k�����,��
플ӕ��h��,��
�^�l(f��)ϡ�裬������,������߀�����֑n������Ͽ�������λ,���� �����Ͽ��Ľ�Մ��
��Ŀǰ�@����r,���oՓ��6��댧�w��ƬҲ��,��߀��8��댧�w��ƬҲ�T�������h��,��ȫ�����o��о���H���aоƬ,����
���]�e,�������X�N�a,�����d�Ƽ���оƬ����Ҳ���ܔ࣬һ�����˾��韩��,�,���
���O��6���O��6puls,���F(xi��n)����Ҫ�l(f��)���O��7�֙C,���O����˾�[���˾��ǎ�����ԇ̽�����d�Ƽ���˾�����Л]���@������,�,���
������֮�ⲻ�ھư��,���
����,��������ȫҪ���Ϳ������ܲ��ܴ���,����
���� �f,��ֻ�� �f���_�e���߅�ѽ���æ����оƬ��Ĥ���ˣ��O�������14�{��оƬ,�����^�@����Ϣ������,����
��14�{��оƬ,����
��������ׇ�����,��߀���п��ܸ�����,���
�Ͽ����������ӑՓ��,�����������@���Ԓ���϶����@�@��ô�@ô�������,��
��������Ͽ��քe�ǣ�
����˾�Ͽ�,���ײ�˹��
�F�N��˾�Ͽ�,���_��,��
�{�G�S�Ͽ�������ƽ�����,��
߀���B�빫˾�Ͽ���־,����ҕ��˾�Ͽ��Z���ڡ����{��˾�Ͽ��S��,�������֙C��I(y��)Ȧ��,���ܺ�������̖�Ķ����ˡ�
�҂ȵ���I(y��)�Ͽ�,����һλ�ľ�����о���H�Ͽ�������,������ǜ��輯�F�Ͽ����S�ң��A��EDAܛ���Ͽ���������
�ŵ��^��������I(y��)�Ͽ�,������Ϥ��(sh��)����,��
����֮��,��
���o��Ҳ�H�R���h�F(xi��n)��,��
�����˴��킀�����⣬߀�������������Ժ,���@�ѽ�����ij����I(y��)��������,��
�mȻ��������ǰ������Ժʿ�^������ꇈ���,��
ʮ����ǰ,��
��I(y��)�Ͽ������R���^һ�Ρ�
���r�·��Ǿ���̖�ټ����YԴ,������һ�İl(f��)չ�댧�w,�����ⱻ�����������ӡ�
���^����������䲻�����]��Մ�n,�����@���·��njW����,�������o�ֺ������(zh��n)���@�����h�ĸ߶�����һ������,��������ֻ�������,��
��Ȼ�ˡ�
�܈F�Y��ǰ���Ǽ��gͻ��,��
���һ�cϣ��������Ҋ,���l߀��������ð�U��
ʮ����ǰ�������,���{ͨ��˾���������֙C��I(y��)����Ҋϣ��,���lҲ��Ը����X������
���F(xi��n)�ڲ�ͬ��,����ǵ����d�Ƽ���˾�ѽ�ͻ��,�����Ҍ��F(xi��n)���b�b�I�ȣ���ס������I(y��)�IJ�����оƬ�OӋ�cEDAܛ��,������оƬ���aԭ�����c��̙C,��
��ϣ���͛]ϣ�����@Ҳ�Ǖ��hՄ�n���P�I,��
���Ͽ����hՓ����,�����h�Q�ߕr�����¶��ĨǸ����ɫ,���B�B��Ǹ���M���h��,��
��������˼������˼����̎���깫˾������,��·��߀���c��܇,����λ�Ͽ��õ��ˡ,���
������ǵ��t��,���Ͽ����]�а��c���⣬����߀�������غ������к�,��
��ꐿ�����,����
��������,���҂�Ҳ�DŽ���,����
��������,��ꐿ���̈́eҊ����,���҂��@�����h��]����Ԓ,��߀������ʽ�_ʼ���]�_ʼ��ȻҲ�������t�����f��,�,���
���]�e�]�e�,���
ʮ����ǰ,��
���߀�]�Y�ӕ��h��
ʮ���º�,��
����Ȼ�ɞ������e,��
������Ĵ�Ⱦ�ף��e߀�����̘I(y��)�I��,��Ԓ�Z�����������ڹ�˾ȡ�õijɾ�,��
���ʮ�|��ֵС��I(y��)���ǹ�Ӌ�B�TƱ���ò���,��
�����Ͽ����Ԏ�ӑ�õ��Z��,�����Ҳ���t̓�ؑ����������������w���Y��߀����λ�õ���,�,���
���f�꣬��ע����o��Ҳ�ڈ�,���Bæ���õ���������,���]�뵽��Ҳ���ˡ,���
�����Ͽ����s,���������,���
���o�ֵ���Ц��,��
���������һ�Εr�g�ˣ��ϵ�оƬ�OӋ�������,�����c���̎�λԺʿ���s�����,��
�����������Ҳ�Â�����Ƹ��ϯ���ģ��������м�����,��߀��Ҫ�����ɿ��ź���,��
���ֱ����,�����Ҳ������ƸՈ,�����@�ӵ�Ԓ�����@�����������u����,��
���o��Ҳ�͛]�ص۶����n,���������������,��
�������̄t�Ƿ����˵۶�����Ժ���^�m(x��)�о�����оƬ,����ȡ���հl(f��)������,��
��ꐿ������ɣ��@�ﶼ��������,���Ͳ�ҪҊ����,�����·���¶��ĨЦ���f��,��
��ǭh(hu��n)�һȦ,�����˃ɂ���������⣬�_������������,��߀��λ�������ӡ�,��
�tɫƷ�|�˲����죬�˕rҲ�����˕��h��,�������ڸ�������߅,��Ҳ��֪�����l�����ġ�
��ꐿ����@߅��,�,���
�_��ߺ�ȵ���
���h����ȵĵ�һ��λ��,����������A������,��
�����������Ŀǰ���d�Ƽ���ڡ��Ʋá���ǰ��,���@��λ����Ȼ���ʲ�,��
�����Ҳ��͚��ˡ,�������h��,������ȵ���λ���¡�
һ�Ե��ײ�˹Ҋ�������,��Ҳ���R����������ꐿ�,���]�뵽�@ô����Ҋ�棬�Ƚo���f������Ϣ,������z�O���I�����_��,����
����ʲô,����
��������,���܄�ȥ���C������z�濾�t����
��߀�������,�,����
�����ͻ�����,������С�¡,���
�ײ�˹�c��ǵ���Մ�r,��������λ���·��Ǹɿȃ���ʾ����h�Ұ��o,��
���r�g,��
ȫ���Ͽ�Ŀ��۽���
�������ͨ�ˡ�
��,��
�����ǃ|�f����,�����挦�@ô����ك|�Ͽ���Ŀ��עҕ����Ӌ��ֱ�Ӈ����p���,��
���·��Ǜ]�а��c�ӈ�,������ô�fҲ��ǧ�|�Ͽ��������R�Ͼ��ǃ�ǧ�|��ֵ�Ͽ���,��������������I(y��)�μ�Ĵ���,��
���ܸ��x��λ�������H�i��˾������Ԓ�ҾͲ��f��,��������h���}߀��оƬ���a��,����
��ͣ�DƬ��,���^�m(x��)�f������ʮ��ǰ,���ʴ_���f��Ԓ����ʮ������ǰ,��Ҳ����2013��8�·ݵĕr��,���{ͨ��˾�͌�оƬ�l���q�r�������_ʼ��70Ԫ��14���200Ԫ,����λ��ԓ����֪����,����
���F(xi��n)�چ�ö���810̎�����ѽ��q��270Ԫ,��߀����ȡ�����M,�����оƬ���܇��a�����������ܝq��300Ԫ,�������ܝq��350Ԫ,��������ܝq��500Ԫ����������I(y��)���@ô��,����ظ�λ�����,���Ǿ���һȺ؝�ßo���ļһ�,���
�·����vԒ�r,�����h���Ͽ��o�����c�^�϶���
�֙C��I(y��)�Ȳ�Մ,�����f��о���H��оƬ�����S,��ԭ�����˼�ֱ���������ˣ������һ��һ���r,����߀���ò�ȥ�I,��
߀�а댧�w��Ƭ�ИI(y��)�����輯�F��������������8��댧�w��Ƭӯ����,���˼�12���Ƭֱ�ӽ��r,�����lj�������I(y��)�l(f��)չ��
������I(y��)�̚���,��̎̎������һֱ���m(x��)��,��
��ž������
�·���ͻȻһ�����ӣ����ʮ���������Ȼ����؝�ßo��,���ô��M��,�����҂��ͱ�횈F�Y�������������İ댧�w����,����
�ڈ��Ͽ��]�б�����,�������X���·��������飬�����[�s���@Ĩ���ȼ��,��
�����Y,��
�@���LJ���K�OĿ�ˣ�
����,����
�ײ�˹���ȹ���,�������Ͽ��������ϡ�
��žžž������
���F(xi��n)��Ҫ��ô��,����
���������İ댧�w����,����
�����Ͽ����f�f�뷨��Ҫ�҂����X߀�dz���,����
�Ͽ�������¶���ɻ�,���·����ԣ�Ŀ�⿴���Լ���ȵ���ǽ�B����
�����d�Ƽ���˾,�����,����λҲ��İ���ˣ�14�{���p��оƬ,���_�����оƬ,�����W��䶼������˾������b�b�I��,�������ѽ���������ҕ�������,�����д�,����
���Һ�ꐿ��Լ���λ�Ͽ�˽��Ҳ�����^,���F(xi��n)���҂��뷨�ܺ���,�����������d�Ƽ���ȥ�������Ʋ�,���҂��t��˽���½o����Ѫ,����
�������f����,����������λ��ȫ���YԴ,�������d�Ƽ�����ɓ��������Ԯa�����������n�Ǽ��F��оƬ�Ƽ���I(y��),����
�¹�(ji��)�e�`,���c�ˈ��������ͺ�S�o�ˆT���ڃɷ�犃�У���¹�(ji��)����,��Ո���ĵȴ�,��