�ڱ�������_�ܽ^��,���·���Ҳ�]�����ᡰ(li��n)���������Ǻ�ˬ��Ľ�����(y��u)���õ�����1.0ϵ�y(t��ng),��
�õ��Լ������,�����������һ����������^�Εr�g�����ˁ���ͨӍ���аl(f��)�O(sh��)��,�,���
���㵽�r����Ԓ���С,����·����h�ؑ�(y��ng),��
���������f������ϵ�y(t��ng),������оƬ�h(yu��n)�ȵ������ϢͨӍ���g(sh��)���Ì���һЩ,��
���Ŀǰ���Ե�Ԓ���H�i��˾ȡ�õ�ͨӍ�I(l��ng)��?q��)������٣���ȫ�����Ժ͇���а�?br>
����,��
���d�Ƽ���˾��ͬ,��
��ʮ�ķ⌣���ļ����ǵ������ϢͨӍ�I(l��ng)��ĺ���,���ѽ�(j��ng)���������˽а��Y��,��
�������p���·���߀�Ƿֵ����,��
Ҋ����Մ��,�����Ҳ�]���^�ය���������o�e�������Ǿ̈́ڟ����Ͽ��������@��λ���̎���,����߀��Ҫ�ع�˾һ��,����
�����İ�,�����·��ǵ���һЦ,���^�m(x��)�f�������҂��H�i�������e�IJ��f,���o�����ˆT���Ĺ�Ԣ߀�ǿճ��ܶ�ġ,���
ȫ����ĿƼ���˾һ����f,���������@���н����������أ��@�����кܶ��̎,��
�����f,���p��ͨ�ڕr�g����߿���Ч��,������ͻ�l(f��)��r,�������ˆTҲ�ܼ��r������
���P(gu��n)�I����,����鿂�����ض��Ƿ��]ʽ��,���M(j��n)����Ҫ�S���C�͵�ӛ�������ˆT�İ�ȫҲ�������̶ȵĵõ�����,��
�����Ҿ�������,����
����������,�,���
�������҂��@�P(gu��n)ϵ�͛]��Ҫ���@���˰�,�����ϸ�������,���H�i�����Ҷ������ˡ,���
��혎��߃ɲ���,�����K��,����
���ǡ����а�,�,���
��Ǻ��·�������ף����˲��Ё����k�����Ǵ�d,�����Ҳͣ���_�����������͵��@���,������߀ͦ��ģ�����˾���,�,���
�������ߡ,���
�·���Ҳ�]���وԳ�,��
Ҫ���ͳ����T,�����ՑT�����f,������a߀������һ��,���Ǿ�̫�]��Ҫ��,��
�������Ӱ�ص���ʧ��ҹĻ,���·��Dz��D(zhu��n)���ص�플�,������(zh��n)�����k����,��
�@�r,�������ۏ�һ��(c��)�߳�,��¶��Ĩ��(d��n)�nԃ�����������H�Һܲ���,���҂���Ҫ�o���d�Ƽ��ṩͨӍ�I(l��ng)����аl(f��)�O(sh��)����
�����������С,����Ҫ�Ǔ�(d��n)�n�B(y��ng)���黼,��
������Ҳ Ҋ����H�ڳ��J(r��n)�����d�Ƽ���˾����Ҫ��ȫ���a(ch��n),�����n�Ǽ��F(tu��n)��ģʽ,��
�ֻ����f��
���볬Խ�n�Ǽ��F(tu��n),��
һ�����d�Ƽ����F(xi��n)�@��Ŀ��(bi��o),�����Ȱ�u���֙C�Ј��������n���֙C߀�Єe�Ć�,��
����(d��n)�İ�u��һ�Ҫ���,�����l(f��)���������Ј���������Ҳ�������d�Ƽ�����һ���{ͨ��˾,��
Ҫ֪���{ͨ��˾������,���B�Լ҇���(n��i)��I(y��)����ե�ģ�ȫ���̶�����Ū�ÿ���ԡ�
����]����,������������,���ȉ��������˂��֣����H����Ҋ����ǵĚ����c�Q��,��Ҳ������Ǐ�(f��)����ʼ�ʵ�һ������,���صy(t��ng)һ�����֙C�Ј���
�·���Ƴ����һ��,����ζ���L������Ҫ�����ь��ҳ���,���҂������������������ˆ��
Ԓ����,���������~�_������ͬ�r,�����ڵ������F(xi��n)�ڇ���(n��i)�Ƽ���I(y��)��������ɫ���c�����@Щ,������ú�������ô�ڊA�p������,�������҂���̎�A�p���ɂ�(c��)���б��o(h��),�������ɛ]�б��o(h��),����
��������,����
�����ۇ@�˿ښ�,������һ����Ҋ�C���d�Ƽ��l(f��)չ������,��
�İ���ǰ�Ŀ����ϣ���������������Ƽ���I(y��)��ǰ�������,����ֻ���˰���,���@�N�l(f��)չ�ٶ������˺��¡�
�·��Ǜ]����ȥ�����,�����ǻص��Լ��k����,������λоƬ���̎��H���úá�
����
���c��ͬ�r,��
����Ϣƽ�_,��
Ҧ�����ڵõ�������S�������͌��W(w��ng)�j(lu��)�����ġ����dAϵ������Ş���M(j��n)�б��{,��
[ᘌ��W(w��ng)�������ġ����dAϵ������Ş������Ϣ��(n��i)��,����˾�ѽ�(j��ng)�Ɏ��M(j��n)�����C��(j��)��ȫ��ӛ����ϰ�λ�Ñ�,�����@��,���҂��y(t��ng)һ���{�؏�(f��)�����dAϵ������ġ�]
�Ԏ�����IJ���,���W(w��ng)�Ѽ���ֱ���üһ�,��
���r�g��
�uՓ�^(q��)�����uՓˢ��,��
[�꺟����ɏ]�����üһ�,����ֱ���üһ���d�Ƽ��Ĺٲ��Dz��DZ������I(y��)��90��ӹ���,���l���ゃ�@�ӱ��{��,����
[�̄�������]��������f�Л]�б��{�ɣ���
[���ִ���L]����߀�������d�Ƽ�,�����H�Ƽ�����ǰ��,�����{��ʽҲ�e��һ���Dz����͆�,�����dAϵ�М�(zh��n)�䶨�r����,����
[�A��������]�����߶����貣��ж��ИO��,���³������d,���F(xi��n)����������Aϵ�У��҂����J(r��n)���nj���(y��ng)����˾�ļt��ϵ��,��Ҳ���ǵ��֙C�Ј�,����
���f��C�������uՓˢ��,��˲�g�õ��˴����Ñ�֧��,�������X�����������е�����
���dϵ�б����Ͷ�λ�³��Ј�,��������Aϵ��,�����������M(j��n)܊3000Ԫ���ж��Ј��ɣ�
�ж��Ј����d�Ƽ��Լ����ИO��,���αض��һ�e��,��
���ϲ��У��Ǿ�ֻ������,��
Ŀǰ����(n��i)�ij��̓r�Ј�,��Ҳ����500-1000Ԫ���|���Ј���ֻ�д���˾����,��
����2014��3�·ݰl(f��)�۵ļt��note,���C�ۃr��799Ԫ�������Ҳ��999Ԫ,��
Ȧ��(n��i)��ʲô�f,���Ǵ���˾��ͨ�����������ܙC,��
�ڴ���˾�]�l(f��)���Cǰ���������ܙC�r���ձ�4000Ԫ����,�������Ҳ�����4000Ԫ���µ�,������ƴ����߃r��
���ԏĴ���1�֙C�l(f��)��,�����ܙC�r����_ʼ������,��
Ҳ������һ�����ײ�˹���۰��f,���춨�˴����֙C���Ñ����A(ch��),��Ҳ���ɹ����딵(sh��)�aȦ��
���^��Ҳ���e�ˎײ���,���Ǿ����B�m(x��)�ذѴ����֙C���r1999Ԫ,����(d��o)��Ʒ������̶������κ���ʽ�ĝq�r����������(j��ng)���Ϸ����R,��
�c����˾��ͬ����,���m�f���dϵ���c�³��Ј�����������ǿɏ�δ���^�á����d���M(j��n)܊�и߶�,������@�ɂ�ِ��������Ʒ��,��������dϵ�о͌��������2000Ԫ���µ��³��Ј�Ʒ�ơ�
����(d��ng)�W(w��ng)�т�߀��˼��,�����dAϵ�Е�������Խ�t��ϵ��,���ɞ��|���Ј������r�����d�Ƽ��ٲ��ٴθ�����,��
[2��14̖�����˹�(ji��),��Ҳ���҂����d�Ƽ�ȫ�w�T�����������a(ch��n)���������_���������,����(j��ng)�^�҂�ꐿ���@���d�Ƽ���ǵ��İ�Q��,�����������Ո��@������@������ǰ�퉺�S�I(xi��n)��,���Õr��ȫ�W(w��ng)ֱ������������һ��,���҂����S߀�ڴ����й�Ŷ,��]
�@�l���ĵij��F(xi��n)���ѽ�(j��ng)���DZ�����ô������,��
�ڰl(f��)�����ǿ�,�������������������������R�D(zhu��n)�l(f��)�����˔�(sh��)���f�Ğg�[��,��
���r�g,��
���ҵķ۽z������,��
[��ݮ���u]�������ǣ��@�����Ǯ�İ�,��@���d�Ƽ����,��ꐿ�����V���@�Dz�����ģ���ˮ���Ĺ���Ҳ��ȥ�������,����
[�Z���국��]�����ҬF(xi��n)���x߀���ü���,����Ҫ�����w���ݽz�Ŀ���ˣ��^�����Ǔ��������������ݳ����TƱ�ų����²�,�,���
[��������]�����҂����ϰ壺�úøɣ��Ҡ�ȡ����Q�_܇,���e�˼��ϰ壺�e�k�ݳ���,���oȫ�w�T���l(f��)�[�ظ���������,�����c�˲����ô�@ô��,�����
�ڏص���������,������������ϯ���d�Ƽ������,�����߀��̫С��������Ч��(y��ng)��
�˕r�ğ��Ѱ�,�����e�˼ҵĹ�˾,���e�˼ҵ��ϰ塷�~�l������������һ����
���H�������Ҫ��,���B�ʘ�����ռ��(j��)��,��������ȻҲ�����f�������I(l��ng)�ȵĵ�һ��,��
�lҲ�����뵽,�����d�Ƽ�������Ȼ�@ô�á�
������˾߀�ڮ��,�������T���ĕr��,���˼��ѽ�(j��ng)�Ѯ�(d��ng)�t����Ո���ݳ��ˣ��ஔ(d��ng)��ÿ����ʡ�ɏ��ݳ����TƱ���X,��
�������d�Ƽ�ȫ���̡����~�lҲ���?sh��)����ڶ���,����Ҋ�ԹϾW(w��ng)�ь������d�Ƽ����@�������е��ж�ô��
�h(yu��n)��ݸ�ǵ��{(l��n)�G�S����,������ƽ������ڿ�Ҋ���Ѻ�,��Ҳ���ò�������Q��Ĵָ���@�С��й����¡�����̫������,��
�@������ʲô,��
����(zh��n)��λ���p�Ñ�Ⱥ�w,��
���ѽ�(j��ng)�������^������@������(ji��),�������_�������d�Ƽ����SҪ�����ߔD��,��
�����@Щ���ߵ����g���^�ֶ���������ʮ�q����,����ҹ�������Ǹܸܵ�,��
����
�����dAϵ�к����d�Ƽ�������^�_�ϟ��ѕr����Džs�]�Еr�gȥ�鿴��,��
���˕r����,����̎���v�w���I(y��)�@�����d��I(y��)���S��(n��i)�� �����ҽ�B16���Ƭ,��
����ʮ����ǰ,�������������������d�Ƽ���˾�������ɔ�(sh��)��(j��)U�P�i�M(j��n)���U��,�������H�Խo���S�����^ȥ,��
�ɛ]�뵽��
���d���I(y��)�˽��B��ϲ,��
���ǽ�ɫƷ�|(zh��)��������˲ŗ��Ұl(f��)��,�����V��16��댧(d��o)�w��Ƭ�ѽ�(j��ng)����a(ch��n)����
�o�����ǽ�ɫƷ�|(zh��)ArF����z�˲�����������,���ɹ�����N40nm-7nm PTD C/H7���g(sh��)��(ji��)�c��ArF����z,��
�@ʲô���
�@��ζ��,���댧(d��o)�w��Ƭ����zͬ�r�~������ǰ��,��
һ�װˣ��ӽ�һ�ŵĉѝh���Ҵ˕r����16��댧(d��o)�w��Ƭ,���d�²����ؽ�B����
��16��İ댧(d��o)�w��Ƭ����^��12�����4��,��ֱ���_(d��)����40CM�����O(sh��)�и��оƬ��Ƭ�ߴ���1.6��1.6CM,����ô��һ�������г�475öоƬ��Ƭ,����12��댧(d��o)�w��Ƭ����243ö�,���
���243öʲô���
�������(j��ng)�����˽��^��,���oՓ��6��,��8��߀��12��댧(d��o)�w��Ƭ�����������a(ch��n)���E��ȫ��ͬ,��
ͬ�ӵ��ἃ,��ͬ�ӵē��s,��ͬ�ӵ�������ͬ�ӵĴ�ĥ����
�@Ҳ�����f,���ڳɱ�����ͬ����r��,�����d��I(y��)���a(ch��n)��16��댧(d��o)�w��Ƭ�ܱ������ϵ�12��댧(d��o)�w��Ƭ��a(ch��n)��243ö��
��߀��һ�c,����
����ǃ�(n��i)��������˕r,�������^�m(x��)�f�������n�߀�������ἃ��ˇ���@���εİ댧(d��o)�w��Ƭ�������_(d��)����15N,����
��˻,����
15N��,��,��
��Dz��ɵõ���һ�ڛ��⣬�@�ѽ�(j��ng)��ȫ�������A(y��)����,��
15N�ļ���,��������g�ɰٷֱȾ���99.9999999999999%������15��9,��Ҫ֪��,��ÿ��9�ij��F(xi��n)������������s�|(zh��)�M(j��n)һ���p�٣���Ŀǰ�����������Ĺ�Ƭ,����������ֻ���_(d��)��11N,��Ҳ����11��9��
�ڳ�˼�^��,����ǿ�����ҵ�����16��댧(d��o)�w��Ƭ��ݸ����߅����(y��ng)�ˆ�,����
��߀�]�С,���
���҄��f��,�����a��������������þͽo�����ˣ��҂�ֻ�ṩ��15N��12��댧(d��o)�w��Ƭ,�,���
�ԣ�����c���c�^,���S�����ڵ�����16���Ƭ�����鲻��й¶��ȥ,��Ŀǰ߀����12���Ƭ���a(ch��n)�������F(xi��n)��߀���ǔ��Ƶĕr��,��֪������Խ��,��Խ������©�L(f��ng)�,���
����������,�,���
�����c���c�^��
�ڶ���������n�,���Լ����d��I(y��)�������˲ź�,����DZ�����˸��ڲ��h(yu��n)̎�����d�����S��
�����S��ͬ�ڹ�I(y��)���S,���@������̱ǵ�ζ��,��
�ƽ����z���Լ�����ԇ����(y��ng)�еijɷ�,���@���ڿ��й��̎����fֻ�ܲ����Lԇ,��
�������T�ڵȴ���������Ҋ��ǵ��������R�f���^�V���ֵ��������ÿ�Ո�M(j��n),�,���
��ǽ��^���ִ��ϣ�����S�����M(j��n)�����S,��
�����S�治�ȹ�I(y��)���S,���̱ǵ�ζ�����˶����X���ۉۣ�ȫ�ǻ��W(xu��)ԇ���Ĵ̱�ζ,��
�ڴ��^�{(di��o)��^(q��),����������ǁ����������k���ң��P(gu��n)�Ϸ��T�����_�^�V���L(f��ng)�C,��
��һ��,��
���˶�ժ���˿��֡�
�������k���ұ��U��,���ó���(sh��)ƿ�s��550�������b�ɘ���С���ܷ���ӵ���
��1̖ArF����z,���عⲨ�L��193nm IMM�����g(sh��)��(ji��)�c����(y��ng)�ã�N40nm-7nm PTD L/S,����ˇ����CD��0.063um,����ˇ����THK��0.16-0.24um�,���
�����gһ��,����
�mȻ�����������,���֎��Ї��a(ch��n)֮��ϵ�y(t��ng),�����@�������������f�ܵģ�����z���ɛ]�W(xu��)�^,��
��������,������һЦ��ጵ������عⲨ�L193�{�ף��f����֧��193������⣬Ҳ����DUV��̙C���ع�,�����g(sh��)��(ji��)�c����(y��ng)��N40�{��-7�{�� PTD L/S��������40�{��7�{��оƬ�����a(ch��n),�,���
����ˇ����CD��0.063um�Ƿֱ��ʣ�����ˇ����THK��0.16-0.24um�t��ͿĨ���,�,���
����������������� ���v���Ժ�,�����Rץס���c������Ҳ�����f,���@��һ������֧��7�{��оƬ���a(ch��n)ʹ�õĹ���z����
���ǵ�,�,���
�������c���c�^���^�m(x��)�����@�����z�ĵ�(x��)��������鿼�]���҂��]��EUV��Դ,�������@�����z�عⲨ�L�O(sh��)Ӌ��193,����
�����Ҫ��һ��Ԓ����,���Ǿ����@�����z���Ҍ��T������ع⼼�g(sh��)���O(sh��)Ӌ�Įa(ch��n)Ʒ,����
�¹�(ji��)�e�`,���c�ˈ���,�����ͺ�S�o(h��)�ˆT���ڃɷ�犃�(n��i)У���¹�(ji��)��(n��i)�ݣ�Ո���ĵȴ�,��