�ڱ�������_�ܽ^��,���·�(gu��)��Ҳ�](m��i)�����ᡰ(li��n)����,�����Ǻ�ˬ��Ľ�����(y��u)���õ�����1.0ϵ�y(t��ng)��
�õ��Լ������,�����������һ����������^(gu��)�Εr(sh��)�g,�����ˁ�(l��i)��ͨӍ���аl(f��)�O(sh��)��,���
���㵽�r(sh��)���(g��)�Ԓ����,�����·�(gu��)���h�ؑ�(y��ng),��
��(du��)������(l��i)�f(shu��),������ϵ�y(t��ng)������оƬ�h(yu��n)�ȵ������ϢͨӍ���g(sh��)��(l��i)�Ì�(sh��)��һЩ,��
��?y��n)�Ŀǰ���Ե�Ԓ,���H�i��˾ȡ�õ�ͨӍ�I(l��ng)��?q��)������٣���ȫ�����Ժ͇?gu��)��а�,��
����,��
���d�Ƽ���˾��ͬ��
��ʮ�ķ⌣���ļ�,���ǵ������ϢͨӍ�I(l��ng)��ĺ���,���ѽ�(j��ng)���������˽а��Y��
�������p,���·�(gu��)��߀�Ƿֵ����,��
Ҋ(ji��n)����Մ�ף����Ҳ�](m��i)���^(gu��)�ය��,�������o�e�������Ǿ̈́ڟ����Ͽ��������@��λ���̎���,����߀��Ҫ�ع�˾һ�ˡ,���
�����İ�,�����·�(gu��)�ǵ���һЦ,���^�m(x��)�f(shu��)�������҂��H�i�������e�IJ��f(shu��),���o�����ˆT���Ĺ�Ԣ߀�ǿճ��ܶ�ġ,���
ȫ����ĿƼ���˾һ���(l��i)�f(shu��),������(hu��)���@���н����������أ��@�����кܶ��̎,��
�����f(shu��)���p��ͨ�ڕr(sh��)�g,����߿���Ч��,������ͻ�l(f��)��r,�������ˆTҲ�ܼ��r(sh��)����(ch��ng)��
���P(gu��n)�I����,����?y��n)鿂�����ض��Ƿ��]ʽ��,���M(j��n)����Ҫ�S���C�͵�ӛ�������ˆT�İ�ȫҲ�������̶ȵĵõ�����,��
�����Ҿ�������,����
����������,�,���
�������҂��@�P(gu��n)ϵ�͛](m��i)��Ҫ���@���˰�,�����ϸ�������,���H�i�����Ҷ������ˡ,���
��혎��߃ɲ���,�����K�¡,���
���ǡ����а�,����
��Ǻ��·�(gu��)�������,�����˲��Ё�(l��i)���k�����Ǵ�d,�����Ҳͣ���_�����������͵��@��ɣ�����߀ͦ���,������˾���,����
��������,�,���
�·�(gu��)��Ҳ�](m��i)���و�(ji��n)�֡�
Ҫ���ͳ����T(m��n),�����ՑT����(l��i)�f(shu��),������a߀������һ�Σ��Ǿ�̫�](m��i)��Ҫ��,��
�������Ӱ�ص���ʧ��ҹĻ,���·�(gu��)�Dz��D(zhu��n)���ص�플ӣ�����(zh��n)�����k����,��
�@�r(sh��),�������ۏ�һ��(c��)�߳���¶��Ĩ��(d��n)�nԃ��(w��n)���������H�Һܲ���,���҂���Ҫ�o���d�Ƽ��ṩͨӍ�I(l��ng)����аl(f��)�O(sh��)���,����
�����������С,����Ҫ�Ǔ�(d��n)�n�B(y��ng)���黼��
������Ҳ (t��ng)Ҋ(ji��n)����H�ڳ��J(r��n),�����d�Ƽ���˾����Ҫ��ȫ��(gu��)�a(ch��n),�����n�Ǽ��F(tu��n)��ģʽ��
�ֻ����f(shu��),��
���볬Խ�n�Ǽ��F(tu��n),��
һ�����d�Ƽ���(sh��)�F(xi��n)�@��(g��)Ŀ��(bi��o)����(du��)�Ȱ�u���֙C(j��)�Ј�(ch��ng),�������n���֙C(j��)߀�Єe�Ć�,��
����(d��n)�İ�u��һ�Ҫ�(d��)��(hu��)�l(f��)��������(gu��)�Ј�(ch��ng),��������Ҳ�������d�Ƽ�����һ��(g��)�{ͨ��˾,��
Ҫ֪���{ͨ��˾������(l��i)���B�Լ҇�(gu��)��(n��i)��I(y��)��?j��)�ե��,��ȫ���̶�����Ū�ÿ���ԡ?br>
����]����,�����������죬�ȉ��������˂�(g��)��,�����H����Ҋ(ji��n)����ǵĚ����c�Q��,��Ҳ������Ǐ�(f��)����ʼ�ʵ�һ�����ϣ��صy(t��ng)һ����(gu��)�֙C(j��)�Ј�(ch��ng),��
�·�(gu��)��Ƴ����һ��,����ζ���L(zh��ng)������Ҫ�����ь��ҳ��ߣ��҂������������������ˆ�,����
Ԓ����,���������~�_(k��i)������ͬ�r(sh��)�����ڵ������F(xi��n)�ڇ�(gu��)��(n��i)�Ƽ���I(y��)��������ɫ,���c�����@Щ,������ú�������ô�ڊA�p�����棬�����҂���̎�A�p,���ɂ�(c��)���б��o(h��),�������ɛ](m��i)�б��o(h��)�,���
��������,����
�����ۇ@�˿ښ�,������һ����Ҋ(ji��n)�C���d�Ƽ��l(f��)չ����(l��i)��,��
�İ���ǰ�Ŀ����ϣ��������������(gu��)�Ƽ���I(y��)��ǰ�������,����ֻ���˰���,���@�N�l(f��)չ�ٶ�����(sh��)�˺���,��
�·�(gu��)�Ǜ](m��i)����ȥ���(hu��)�������ǻص��Լ��k����,������λоƬ���̎��H���úá�
����
���c��ͬ�r(sh��),��
����Ϣƽ�_(t��i),��
Ҧ�����ڵõ�������S�������͌�(du��)�W(w��ng)�j(lu��)�����ġ����dAϵ������Ş���M(j��n)�б��{,��
[ᘌ�(du��)�W(w��ng)�������ġ����dAϵ������Ş������Ϣ��(n��i)��,����˾�ѽ�(j��ng)�Ɏ��M(j��n)�����C��(j��)��ȫ��ӛ����ϰ�λ�Ñ�,�����@��,���҂��y(t��ng)һ���{�؏�(f��)�����dAϵ�������,��]
�Ԏ�����IJ���,���W(w��ng)�Ѽ���ֱ���üһ
���r(sh��)�g,��
�u(p��ng)Փ�^(q��)�����u(p��ng)Փˢ��,��
[�꺟����ɏ]�����üһ��ֱ���üһ�,�����d�Ƽ��Ĺٲ��Dz��DZ������I(y��)��90��ӹ���,���l(shu��)���ゃ�@�ӱ��{�ģ���
[�̄�������]��������f(shu��)�Л](m��i)�б��{��,����
[���ִ���L(zh��ng)]����߀�������d�Ƽ�,�����H�Ƽ�����ǰ�أ����{��ʽҲ�e��һ��,���Dz����͆�(w��n),�����dAϵ�М�(zh��n)�䶨�r(ji��)���٣���
[�A��(qi��ng)������]�����߶�����,���ж��ИO��,���³������d���F(xi��n)����������(g��)Aϵ��,���҂�(g��)���J(r��n)���nj�(du��)��(y��ng)����˾�ļt��ϵ��,��Ҳ���ǵ��֙C(j��)�Ј�(ch��ng)�,���
���f(w��n)��C(j��)�������u(p��ng)Փˢ��,��˲�g�õ��˴����Ñ�֧�֣������X(ju��)�����������е���,��
���dϵ�б���(l��i)�Ͷ�λ�³��Ј�(ch��ng),��������Aϵ��,�����������M(j��n)܊3000Ԫ���ж��Ј�(ch��ng)�ɣ�
�ж��Ј�(ch��ng)���d�Ƽ��Լ����ИO��,���αض��һ�e��,��
���ϲ��У��Ǿ�ֻ������,��
Ŀǰ��(gu��)��(n��i)�ij��̓r(ji��)�Ј�(ch��ng),��Ҳ����500-1000Ԫ���|���Ј�(ch��ng)��ֻ�д���˾����,��
����2014��3�·ݰl(f��)�۵ļt��note,���C(j��)�ۃr(ji��)��799Ԫ�������Ҳ��999Ԫ,��
Ȧ��(n��i)��ʲô�f(shu��),���Ǵ���˾��ͨ�����������ܙC(j��)��
�ڴ���˾�](m��i)�l(f��)���C(j��)ǰ,������(gu��)���ܙC(j��)�r(ji��)���ձ�4000Ԫ����,�������Ҳ�����4000Ԫ���µģ�����ƴ����߃r(ji��)��,��
���ԏĴ���1�֙C(j��)�l(f��)��,�����ܙC(j��)�r(ji��)����_(k��i)ʼ�����ˡ�
Ҳ������һ��,���ײ�˹���۰��f(w��n),���춨�˴����֙C(j��)���Ñ����A(ch��)��Ҳ���ɹ����딵(sh��)�aȦ,��
���^(gu��)��Ҳ���e(cu��)�ˎײ���,���Ǿ����B�m(x��)�ذѴ����֙C(j��)���r(ji��)1999Ԫ����(d��o)��Ʒ������̶���,���κ���ʽ�ĝq�r(ji��)����(hu��)������(j��ng)���Ϸ����R,��
�c����˾��ͬ���ǣ��m�f(shu��)���dϵ���c�³��Ј�(ch��ng)����,������ǿɏ�δ���^(gu��)�á����d���M(j��n)܊�и߶�,����?y��n)��@�ɂ�(g��)ِ��������Ʒ�ƣ�������dϵ�о͌��������2000Ԫ���µ��³��Ј�(ch��ng)Ʒ��,��
����(d��ng)�W(w��ng)�т�߀��˼��,�����dAϵ�Е�(hu��)����(hu��)��Խ�t��ϵ�У��ɞ��|���Ј�(ch��ng)�����r(sh��),�����d�Ƽ��ٲ��ٴθ�����,��
[2��14̖(h��o)�����˹�(ji��)��Ҳ���҂����d�Ƽ�ȫ�w�T�����������a(ch��n)���������_(k��i)���(hu��)������,����(j��ng)�^(gu��)�҂�ꐿ�,��@���d�Ƽ���ǵ��İ�Q�����������(hu��)��Ո(q��ng)��@������@������ǰ��(l��i)���S�I(xi��n)��,���Õr(sh��)��(hu��)ȫ�W(w��ng)ֱ��,����������һ�䣬�҂����S߀�ڴ����й�Ŷ,��]
�@�l���ĵij��F(xi��n),���ѽ�(j��ng)���DZ�����ô��(ji��n)���ˡ�
�ڰl(f��)�����ǿ�,�������������������������R�D(zhu��n)�l(f��)�����˔�(sh��)���f(w��n)�Ğg�[��,��
���r(sh��)�g,��
���ҵķ۽z�����ˡ�
[��ݮ���u]��������,���@����(hu��)�Ǯ�(hu��)İ�,��@���d�Ƽ���ǣ�ꐿ�����V���@�Dz������,����ˮ���Ĺ���Ҳ��ȥ�������(hu��),����
[�Z���국��]�����ҬF(xi��n)���x߀��(l��i)�ü����Ҫ�����w�(y��n)���ݽz�Ŀ����,���^��(du��)���Ǔ��������������ݳ���(hu��)�T(m��n)Ʊ�ų����²�,����
[��������]�����҂����ϰ壺�úø�,���Ҡ�(zh��ng)ȡ����Q�_(t��i)܇(ch��),���e�˼��ϰ壺�e�k�ݳ���(hu��)���oȫ�w�T���l(f��)�[�ظ���,������,�����c�˲����ô�@ô��,����
�ڏص���������,����������(hu��)��ϯ���d�Ƽ����(hu��)�����߀��̫С��������Ч��(y��ng),��
�˕r(sh��)�ğ��Ѱ�,�����e�˼ҵĹ�˾���e�˼ҵ��ϰ塷�~�l������������һ��,��
���H�������(hu��)Ҫ��,���B�ʘ�(l��)����ռ��(j��)�ˣ�������ȻҲ�����f(shu��)�������I(l��ng)�ȵĵ�һ��,��
�l(shu��)Ҳ����(hu��)�뵽,�����d�Ƽ�������Ȼ�@ô�á�
������˾߀�ڮ�(hu��)�,�������T���ĕr(sh��)��,���˼��ѽ�(j��ng)�Ѯ�(d��ng)�t����Ո(q��ng)��(l��i)�ݳ��ˣ��ஔ(d��ng)��ÿ��(g��)��ʡ�ɏ��ݳ���(hu��)�T(m��n)Ʊ���X(qi��n),��
�������d�Ƽ�ȫ���̡����~�lҲ���?sh��)����ڶ���,�����?ji��n)�ԹϾW(w��ng)�ь�(du��)�����d�Ƽ����@�������е��ж�ô��
�h(yu��n)��ݸ�ǵ��{(l��n)�G�S����,������ƽ������ڿ�Ҋ(ji��n)���Ѻ�,��Ҳ���ò�������Q��Ĵָ���@�С��й����¡���(sh��)��̫������,��
�@������ʲô,��
����(zh��n)��λ���p�Ñ�Ⱥ�w��
���ѽ�(j��ng)������,���^(gu��)������@��(g��)����(ji��),�������_(k��i)�������d�Ƽ����SҪ�����ߔD����
�����@Щ���ߵ����g,���^�ֶ���������ʮ�q����,����ҹ�������Ǹܸܵġ�
����
�����dAϵ�к����d�Ƽ����(hu��)���^�_�ϟ��ѕr(sh��),����Džs�](m��i)�Еr(sh��)�gȥ�鿴��,��
��?y��n)�˕r(sh��)��������̎���v�w���I(y��)�@�����d��I(y��)���S��(n��i),�� (t��ng)�����ҽ�B16���Ƭ,��
����ʮ����ǰ��������(l��i)�����������d�Ƽ���˾,�������ɔ�(sh��)��(j��)U�P(p��n)�i�M(j��n)���U(xi��n)��,�������H�Խo���S�����^(gu��)ȥ��
�ɛ](m��i)�뵽,��
���d���I(y��)�˽��B��(b��o)ϲ,��
���ǽ�ɫƷ�|(zh��)��������˲ŗ��Ұl(f��)�ţ����V��16��댧(d��o)�w��Ƭ�ѽ�(j��ng)����a(ch��n)��,��
�o�����ǽ�ɫƷ�|(zh��)ArF����z�˲�����������,���ɹ�����N40nm-7nm PTD C/H7���g(sh��)��(ji��)�c(di��n)��ArF����z��
�@ʲô����,��
�@��ζ��,���댧(d��o)�w��Ƭ����zͬ�r(sh��)�~������ǰ�ء�
һ�װˣ��ӽ�һ�ŵĉѝh���Ҵ˕r(sh��)����16��댧(d��o)�w��Ƭ,���d�²����ؽ�B����
��16��İ댧(d��o)�w��Ƭ����^��12�����4��,��ֱ���_(d��)����40CM�����O(sh��)�и��оƬ��Ƭ�ߴ���1.6��1.6CM,����ô��һ�������г�475öоƬ��Ƭ,����12��댧(d��o)�w��Ƭ����243ö�,���
���243öʲô����,��
�������(j��ng)�����˽��^(gu��)�ģ��o(w��)Փ��6��,��8��߀��12��댧(d��o)�w��Ƭ,�����������a(ch��n)���E��ȫ��ͬ��
ͬ�ӵ��ἃ,��ͬ�ӵē��s,��ͬ�ӵ�������ͬ�ӵĴ�ĥ����
�@Ҳ�����f(shu��),���ڳɱ�����ͬ����r�£����d��I(y��)���a(ch��n)��16��댧(d��o)�w��Ƭ�ܱ������ϵ�12��댧(d��o)�w��Ƭ��a(ch��n)��243ö,��
��߀��һ�c(di��n),����
����ǃ�(n��i)��������˕r(sh��)�������^�m(x��)�f(shu��)�������n�߀�������ἃ��ˇ,���@���εİ댧(d��o)�w��Ƭ�������_(d��)����15N,����
��˻����
15N,��,����
��Dz��ɵõ���һ�ڛ���,���@�ѽ�(j��ng)��ȫ�������A(y��)����,��
15N�ļ��ȣ�������g�ɰٷֱȾ���99.9999999999999%,������15��(g��)9,��Ҫ֪����ÿ��(g��)9�ij��F(xi��n)������������s�|(zh��)�M(j��n)һ���p��,����Ŀǰ�����������Ĺ�Ƭ,����������ֻ���_(d��)��11N��Ҳ����11��(g��)9,��
�ڳ�˼�^(gu��)��,����ǿ�����ҵ�����16��댧(d��o)�w��Ƭ��ݸ����߅����(y��ng)�ˆ��
��߀�](m��i)�С,���
���҄��f(shu��)��,�����a(b��)��������������þͽo�����ˣ��҂�ֻ�ṩ��15N��12��댧(d��o)�w��Ƭ,�,���
�ԣ�����c(di��n)���c(di��n)�^,���S�����ڵ�����16���Ƭ�����鲻��й¶��ȥ,��Ŀǰ߀����12���Ƭ���a(ch��n)�������F(xi��n)��߀���ǔ��Ƶĕr(sh��)��,��֪������Խ��,��Խ������©�L(f��ng)�,���
����������,����
�����c(di��n)���c(di��n)�^,��
�ڶ���������n�,���Լ����d��I(y��)�������˲ź���DZ��(l��i)���˸��ڲ��h(yu��n)̎�����d�����S,��
�����S��ͬ�ڹ�I(y��)���S,���@������̱ǵ�ζ����
�ƽ����z,���Լ�����ԇ����(y��ng)�еijɷ�,���@��(du��)�ڿ��й��̎���(l��i)�f(shu��)ֻ�ܲ����Lԇ��
�������T(m��n)�ڵȴ���������Ҋ(ji��n)��ǵ���(l��i),�����R�f���^(gu��)�V���ֵ��������ÿ�Ո(q��ng)�M(j��n),����
��ǽ��^(gu��)���ִ���,������S�����M(j��n)�����S,��
�����S�治�ȹ�I(y��)���S���̱ǵ�ζ�����˶����X(ju��)��(hu��)�ۉ�,��ȫ�ǻ��W(xu��)ԇ���Ĵ̱�ζ,��
�ڴ��^(gu��)�{(di��o)��^(q��)����������ǁ�(l��i)���������k����,���P(gu��n)�Ϸ��T(m��n)�����_(k��i)�^(gu��)�V���L(f��ng)�C(j��),��
��һ��(hu��)��
���˶�ժ���˿���,��
�������k���ұ��U(xi��n)��,���ó���(sh��)ƿ�s��550�������b�ɘ�(l��)��С���ܷ���ӵ���
��1̖(h��o)ArF����z,���عⲨ�L(zh��ng)��193nm IMM�����g(sh��)��(ji��)�c(di��n)����(y��ng)�ã�N40nm-7nm PTD L/S,����ˇ����CD��0.063um,����ˇ����THK��0.16-0.24um�,���
�����gһ��,����
�mȻ�����������,���֎��Ї�(gu��)�a(ch��n)֮��ϵ�y(t��ng),�����@�������������f(w��n)�ܵģ�����z���ɛ](m��i)�W(xu��)�^(gu��),��
��������,������һЦ��ጵ������عⲨ�L(zh��ng)193�{�ף��f(shu��)����֧��193�������,��Ҳ����DUV��̙C(j��)���ع�,�����g(sh��)��(ji��)�c(di��n)����(y��ng)��N40�{��-7�{�� PTD L/S��������40�{��7�{��оƬ�����a(ch��n),�,���
����ˇ����CD��0.063um�Ƿֱ��ʣ�����ˇ����THK��0.16-0.24um�t��ͿĨ���,�,���
�������������(qi��ng)���� (t��ng)���v���Ժ�,�����Rץס���c(di��n)������Ҳ�����f(shu��)���@��һ������֧��7�{��оƬ���a(ch��n)ʹ�õĹ���z,����
���ǵ�,����
�������c(di��n)���c(di��n)�^,���^�m(x��)�����@�����z�ĵ�(x��)��������?y��n)鿼�]���҂��](m��i)��EUV��Դ,�������@�����z�عⲨ�L(zh��ng)�O(sh��)Ӌ(j��)��193�,���
�����Ҫ��һ��Ԓ����,���Ǿ����@�����z���Ҍ��T(m��n)������ع⼼�g(sh��)���O(sh��)Ӌ(j��)�Įa(ch��n)Ʒ�,���
�¹�(ji��)�e(cu��)�`,���c(di��n)�ˈ�(b��o)������(b��o)�ͺ�S�o(h��)�ˆT��(hu��)�ڃɷ�犃�(n��i)У���¹�(ji��)��(n��i)��,��Ո(q��ng)���ĵȴ�,��