3�{�טO����⣿
�z�y�����O(sh��)��o���Ĕ�(sh��)��(j��)���������˴��һ�@��3�{�ĘO����������@�M�����f���������߂�����3�{��оƬ�ėl����
������֪���ڲ����]�������ع⼼�g(sh��)������r�£���Ҫ�̳��{����оƬ����Ҫ����������ټ{��������Դ��
193�{���������߀���f������Ȼ����Ҳ���ҵõ�����13.5�{�����µĘO����⣬�Ǿͱ�����˞鄓(chu��ng)�졣
�������͘O����⣬�ͷքe����(y��ng)��DUV��̙C��EUV��̙C�����߬F(xi��n)��߀̎�ڽ�ֹ�����������O(sh��)��������档
һ���@����Դ���C�����_���ǿ����\���ڹ�̵ĘO����⣬��ô����оƬ�ИI(y��)���������
������3�{�׆��
�ēP��ɫ���ӣ���ǰһ����
����W(xu��)�mȻ�W(xu��)�IJ��ǰ댧(d��o)�w�����@��������������оƬ���졣
��Ҫ���14�{��оƬ����Ҫ����13.5�{�ײ��L�ĘO����⣬�@�ڸ��N�댧(d��o)�w��ԃý�w����w�������£����ѽ�(j��ng)�˱M��֪��
3�{�ײ��L��
�M�����ܿ�3�{��оƬ��
�ױ�Ҳ�̲�ס��ǰһ����ԃ���������@�������Æ��������Dz�����ζ���҂�����3�{��оƬ�ˣ���
�F(xi��n)������оƬ��14�{�ף��oՓ�����d�Ƽ���SOC�ϵ�оƬ��߀���O����˾��A9s����оƬ��������f���{ͨ��˾�����Ƴ������821оƬ����������14�{���Ƴ̣���������3�{��߅߅��
Ҫ��������3�{��оƬ���ǿɲ���СС�ĿƼ��������������댧(d��o)�wоƬ�ИI(y��)���˂�Ģ������Ҫ������ИI(y��)�������ˡ�
�������@���f����
��Ǐ����л��^�o�ױ��c�ēP�v��������߂��Դ߀���������Ҫ��3�{��оƬ���҂�߀Ҫ��(j��ng)�vоƬ�O(sh��)Ӌ�c���ƹ���z����
�ڰ댧(d��o)�w�I(l��ng)�ɲ��H�H��̙C��������м{�ȼ�������zͬ���м{�ȼ��^(q��)�֡�
��Ŀǰ���d�������Ƶ�1̖����z�������عⲨ�L����193�{�ף����֧��7�{��оƬ���죬�@߀���ж����ع⼼�g(sh��)�ӳֵ���r�¡�
��Ҫ�����3�{��оƬ��3�{�טO����⡢3�{��оƬ�·�O(sh��)Ӌ��3�{���عⲨ�L����zȱһ���ɣ��@Ҳ�Ǟ�ʲô��оƬ�{�ȼ����M������ԭ��
ÿ���Mһ��������Ҫ���ИI(y��)���M��һ���f����z���У����ИO�������·�O(sh��)Ӌ�DҲ�]�á�
����鼼�g(sh��)�T���ߣ�����˰�������оƬ�����¡�
�������f�Û]�e��������Ҳ�o���˿϶��������^�����λ���L�������F(xi��n)���f3�{��оƬ߀��r�^�磬���^�҂�������ԇԇ�@13.5�{�ײ��L�ĘO����⣬�������ܲ��ܝM��оƬ���a(ch��n)����
���@��Ԓ��������
���_�����҂���֮�^���ˡ���
�ױ����ēP�c���c�^��
���������Ƕ�һ�c��������֪���댧(d��o)�wоƬ�I(l��ng)��ɲ��H�Hֻ�ИO����⣬߀��N��ļ�֦ĩ��(ji��)��ֻ��ȫ�����˲������оƬ��
��������]�����҂��M��yԇ�����Ŀ����ɡ����������һ�䡣
�����F(xi��n)�ڿ����P(gu��n)��ȫ��ǵ��������(y��ng)���������賿4�c犣�����Ȼ�����������Ӱ푡�
�����R�ϲ�������
�����c���c�^�ؑ�(y��ng)����
���f�꣬�����R�����O(sh��)��ٿ��_���_ʼݔ��ָ��r���r߀�ܵ�һ��(c��)ȥ������
��̹��S��ͬ�ڹ�̙C����������һ�l�������Ԅӻ���ˮ����ֻ��Ҫ�b��댧(d��o)�w��Ƭ�Լ�����z�c����ԇ����ݔ��ָ���Ϳ����M���Ԅӻ����a(ch��n)��
�����ڙz���ʮ����13.5�{�ײ��L�ĘO������Ҳ�l(f��)�F(xi��n)�ˆ�ɫ����õ�һ�l�����������O(sh��)����1̖��̅^(q��)��
�ֽ�(j��ng)�^��ʮ��犵ą���(sh��)�{(di��o)ԇ���ų��������r������ݔ���˴_��������ָ�
��һ�롣
�\ݔ�b���Ԅ�ȡƬ��
������ض��^(q��)��İ댧(d��o)�w��Ƭ���o����P�����\�͵���ϴ�^(q��)��ϴ�������ڰ댧(d��o)�w��Ƭ����Ļ҉m���s�|(zh��)��
����ϴ����Ժ댧(d��o)�w��Ƭ��ͨ�^�����\ݔͨ�����\����һ�����E�M�к濾�����댧(d��o)�w��Ƭ�ص���^�m(x��)�\����һ�����E��ͿĨ����z��
�Ԅ�ȡƬ��
�Ԅ���ϴ��
�Ԅ�Ϳ�z��
�Ԅӹ�̡�
�@���ǹ�̹��S��������f���ȫ�Ԅӹ��S��
�ɉK����Ĥ���ѽ�(j��ng)�دB���������ض�
�@Ҳ�Ǟ�ʲô��һ�ڵĹ�̹��Sֻ��5000ƽ��ԭ����齨��̫��Ҳ�]�ã����o����P����Ԅӻ��\ݔ?sh��)��O(sh��)�䣬������Ҫ���ƻ�ُ�I�ģ��P(gu��n)�I��Щ�O(sh��)�����(n��i)߀�]�У������o����P�O(sh��)�䡣
��һ���ஔ�ڜyԇ���Ȝyԇͨ�^�Ϳ��ԔU�����ڡ����������ǵ����ڵĹ�̹��S��
��Ȼ�ˡ�
ǰ���ǿ����ܹ�̳ɹ���
���҂��]�ІΪ�������SOC�ϵ�оƬ����Ĥ�棬ֻ���ÃɉK����Ĥ��ѯB��һ�K�γ������D�����@�֕����F(xi��n)�����}����
���������Z��
���ƽo��ǎ��˽�ጣ��������f�o�Լ� ��
���Ǿ��ǃɉK����Ĥ��ѯB���ɉK������������O�������������(d��o)�¹��ʧ������
�����˽�Q�@�����}���ҼӴ������Ӽ������Ĺ��ʣ�����\�ӵ��ٶ��ٴ����ӡ���
����Փ�ρ��f���\�й��ʵļӴ�ͬ���Ŵ�����\�ӵ��ٶȣ�����ڭh(hu��n)�δ惦�����ٶ�Խ�죬ݗ����ĘO�����������Խ�������Ҳ����ܴ_���@����(sh��)ֵ�Dz������_�ģ�ֻ���f��Փ���С���
��̹��S�]���˜yԇ�^���lҲ��֪���в��С�
�F(xi��n)����������Ĥ�����ƣ�����ֻ�ܼӴ��ʣ��@�o�yԇ�������˲�С���y�ȡ�
��ԇԇ��֪���ˡ���
���ĬĬ�e���֙C�Ĕz��
�mȻ�����ڲٿ��ң�����ǰ����Ļ���@ʾ�����ҵĮ��棬��������Ҫ�H��ǰ����
�����h�ף��]���fԒ�����p��עҕ���O(ji��n)�خ��棬��ɫҲ�@�ø���o����
�����s��Ϳ�M����z�İ댧(d��o)�w��Ƭ�ѽ�(j��ng)���\���˹�̅^(q��)��ֻʣ�����Ĺ�̲��E��
�S���R�M�Ƅӵ�ָ��λ�ã�13.5�{�ײ��L�ĘO�����l(f��)�������䣬���ʵ������ڃɉK�D�����a�Ĺ���Ĥ���ϣ�������Ĥ������������D�����������K�䵽���ع�İ댧(d��o)�w��Ƭ���档
���̡�����
ArF����z������Դ����(n��i)���_ʼ�l(f��)�����W(xu��)����(y��ng)��
��ArF����z�ַ����z�ͷ��z���@���ع��õ������z�����ع�^(q��)��Ĺ���z���l(f��)�����W(xu��)����(y��ng)���]�ع�^(q��)��t���ܵ�Ӱ푡�
һ�K�^(q��)���ع���R�M���R�Ƅӣ���(c��)�_�����Դ�����Ƅ�ƽ�_�{(di��o)�����^�m(x��)�ƻ���λ������һ���^(q��)���M�й���ع⡣
12��댧(d��o)�w��Ƭ������ܮa(ch��n)��232�K1.6��1.6�ij�Ʒ��Ƭ��Ҳ�����f��Ҫ�ع�232�Ρ�
Ŀǰ���f���ع�һ�ε��ٶȴ����1�룬�@����Ҫ232�룬Ҳ���Dz��4��犲��ܰ�һ���댧(d��o)�w��Ƭȫ���ع���ɡ�
�mȻ�@���ٶ�����^�ڹ�̙C���˲��һ�����ɹ�̹��S�����LJ��a(ch��n)���У������ǵ�һ���a(ch��n)����m(x��)�R�M���Ƅ�ƽ�_߀���^�m(x��)��(y��u)�����s�Ϲ�̙C�Ĺ���ٶȲ��Dz����ܵġ�
�ڵȴ����ķ�犺����쿴����ǵ��˽�ጵ��������]���ɉK����Ĥ����������ģ��҂��Ȳ�������ȥ�@Ӱ���댧(d��o)�w��Ƭ�ٴμӟᣬ�ӄ�����z�Ļ��W(xu��)����(y��ng)����
��ǡ��ױ����ēP�h�ף����ڵȴ����Y(ji��)����
�F(xi��n)���@�������낀�T��h���ױ����ēP�t�Ƕ����T��h��ֻ�� ���찲�š�
���e�f��ȥ���ˣ������ǟ�������Ҳ���X�úܺ�����
�S������ݔ��ָ���ԓ��ȥ�@Ӱ�İ댧(d��o)�w��Ƭ������ȥ�˺濾�^(q��)���M�ж��μӟᣬ�ӄ�ArF����z��(n��i)���Ļ��W(xu��)����(y��ng)��
���@������Ժ댧(d��o)�w��Ƭ�ٴα��\ݔ�����������@Ӱ�^(q��)��
����ȥ�x��ˮ�����Ƭ���o�����ѹ�Ƭ�����@Ӱƽ�_���Ϸ��ęC���O(sh��)�䇊���@ӰҺ����������ڰ댧(d��o)�w��Ƭ���棬�Mһ���ܽⱻ�ع�IJ��օ^(q��)��
�S���@�����E��ɣ��댧(d��o)�w��Ƭ�����ѽ�(j��ng)������Ҋ�·�D����ֻ�����ě_ϴ����δ�عⲿ������Ĺ���zȫ����ϴ����
���Һ���Ҋ�D���ˡ���
�ױ��ɴ��p�ۣ������e�^�κ�һ�z�ļ���(ji��)��
����Ҳ��Ҋ�ˡ����ēP���͵���
���Ű댧(d��o)�w��Ƭ��ϴ�ó��r������������Ҋ��Ƭ��������������·�D����
�����·�D���Ǻ��£���߀��Ҫ��(j��ng)�^�·�yԇ����֪��оƬ�ܲ��������\�С���
����v�����
��(j��ng)�^���_��оƬ���p��оƬ��SOC�ϵ�оƬ��ζ��ĿȾ�����ѽ�(j��ng)��낀�Ѓ�(n��i)���ˡ�
�ع⡢�g�̡��@Ӱ����ϴ�����Զ�һ������Ȼ�ˣ�ֻ���Զ���߀ͣ������Փ֪�R���档
���^�vʹ���@�ӣ��ױ�߀���̲�ס�Q��Ĵָ�Qٝ�������벻��ꐿ����H���̘I(y��)�I(l��ng)���������䣬ԭ����оƬ�I(l��ng)��Ҳ���Լ�������Ҋ�⡣��
���_���벻������
�ēPҲ����һ��
���Ԟ����ʲôҲ�������]�뵽�˼ҳ��ڳ��£��@�������е���һ�z���⡣
�����˷Qٝ�����Ҳ��λ�t̓������������Ҋ�⣬ֻ�Ƕ��ĿȾ����ӛ�µ�֪�R�c����
����ӛ��Ҳ�ǂ����¡���
�ױ�Ц����
�ēPҲ�c���c�^�����͵������]�e��ӛ�������õ���ӛҲӛ��ס��ꐿ���ӛס�@Щ���̣�����Ҋ�����d�Ƽ����оƬ�ij���֮�ġ���
�ڃ���һ��һ��������Rƨ��ͬ�r��ȫ�Ԅӻ������a(ch��n)���ѽ�(j��ng)���@Ӱ��İ댧(d��o)�w��Ƭ��ȥ��Ƭ���M����K�·�yԇ��
���쿴�����z�y�С�����ʾ����������f�������������ͨ�^�����ڹ�̹��S�Ϳ����_���ˣ����^��Դ߀�ǂ����}����
��Ŀ�⿴���ēP��
�������R���⣬�Bæ�f������ꐿ�������ϯ�ゃ���ĺ��ˣ�ֻҪ�C����̹��S���У���һ���Ҿͻ�ȥ���_�м����h�����}���ǽ��O(sh��)�ゃ����Դݔ��ͨ������
���]�e����
�ױ�����һ�䣬�^�m(x��)�f�������e�ĵط����ұ��C��������ǣ��ľ�߀�ǿ����f�σɾ�Ԓ�ġ���
�����������ϡ���
�ēP�������ؿڡ�
�������ǻ��w�Ƶģ���Ȼ���ׇ���Ŀǰ�����Ʒ���
Ҫ���܅f(xi��)�����d�Ƽ���ɹ�̹��S�Ľ��O(sh��)���������������f���������������߃ɲ���
�w�ƃ�(n��i)���l�����M����
���M���ęC���������ɲ������^�����Λr���漰��оƬ���ġ�
�������x�x��λ�ĺ��⣬���^������Ǫqԥ��һ����߀�ǛQ���f�����l(w��i)�����Z�ġ��|����{(di��o)��Ӌ������
��������f��̹��S�C�����Ԯa(ch��n)��оƬ����ϣ���������ֶཨ�O(sh��)�����X�^(q��)�������ݔϵ�y(t��ng)���������ݔ�ͣ����������Ԓ������܊�^(q��)�������L�f�^�����ڕ��Ђ��|����{(di��o)�ļ����_����
�ױ�������������
�ēP������������
�@��Ԓ�f���ǿ̣��ױ��M�X�Ӷ��dž�̖��
����܊�^(q��)��
�@�����`���ڱ�����(zh��n)�^(q��)�Ć
����Dz����ϲ���(zh��n)�^(q��)������ȥ������(zh��n)�^(q��)�ˣ�
���Ե��ēP�t���@Ӡ���±ƣ��|����{(di��o)�ļ����@���DŽ������_��ȫ���Խ^���ļ��
�y���ɡ�
���nj��T֧�ι�̹��S�ģ���
��ͨ�ˣ�
�ēP�K����ͨ�ˣ�
�����f��ô�@ô��֣������|���^(q��)�õ��LJ���늾W(w��ng)��������õ����Ϸ�늾W(w��ng)����ô��ͻȻݔ������^�������Ҳ��ȱ늰���
ԭ���nj��T֧�����d�Ƽ����O(sh��)��̹��S�ģ��@Ҳ�����f����߅�䌍�ѽ�(j��ng)��֪�����ˡ�
������������
�ēP���˿���ĭ��
��������ǵ�Ŀ�⣬�ѽ�(j��ng)���ˎ־�η���@��������ʮ���������յ�������������������
������Ե�Ԓ������������Ƕ����p�fһ�䣺��ꐿ������ēP̫���M���ˡ���
�����ױ����ēP��(n��i)�������@����ˣ����@�����X�հוr������ͻȻ�����������������Ƭ�·�ęz�y�Y(ji��)�������ˡ���
��ǣ�����������
�ױ�������������
�ēP������������
�������R��(c��)Ŀ���������Ŀ��עҕ�ķ���ȥ�������Ȼ�������·δ�z�y���������˂����֣������(c��)����Ļ��߀��SOC�ϵ�оƬ��ȫ����(sh��)��(j��)����(sh��)�������{�ȼ����ܘ�(g��u)�c�\�й��ʡ�
��һһ�M�бȌ���������ɫ���ӵؿ�����ǵ��������������ɹ��ˣ���̹��S���F(xi��n)�ˣ���
�¹�(ji��)�e�`���c�ˈ��������ͺ�S�o�ˆT���ڃɷ�犃�(n��i)У���¹�(ji��)��(n��i)�ݣ�Ո���ĵȴ���