�����d��������һ���ӹ�˾����
����������z���迹���_����10^25�����ǣ�ꐿ����@�ǁ�ϴ�ư댧�wоƬ���Ϲ����I��İ�����
���ҿ��ҿ��ҿ����I��JSR��ʽ���硢TOK�|��������Ʒ�Ĺ���z10�η�����������ȫ��ǰ���Ĺ���z�����̰�����
�����X���d�Ƽ��ѽ�(j��ng)���ܽй�˾�˰ɣ��@�������Ǽ��F����ꐿ��㌍Ԓ���V�ң������u�֙C����˽���µ���߀�����˶��ٮa(ch��n)�I(y��)����
�lҲ�]�뵽�����d�Ƽ����H��14N��16���20��댧�w��Ƭ����Ȼ߀��10^25�Ĺ���z��
��ǵ�������
ֱ���g��ǧ�f�^������֪����
���Ј����~��
߀�����Ј���偣�
Ҫ֪����оƬԭ���Ϲ������棬����С�����^�ò��e�ču����ռ��(j��)�I�ȵ�λ�ġ�
��12��댧�w��Ƭ����Խ���F�̈́ٸ��F��ռ��69%���~��������Խ���Fռ�ȸ��dz��^��40%��
����zͬ��Ҳ�Ǎu����I(y��)һ�T�^�m��JSR��ʽ�����TOK�|�������ɼҾ͉Ŕ���84%���~���B��������ýo������I(y��)�ȡ�
���ڍu�������˸߶˰댧�w��Ƭ����z�����a(ch��n)������^�����������u�;߂��˳ɞ鳬��оƬ�����S��������Ҳ��ѿ�����_�e늡�(li��n)늃ɼ�피�����S��
�@Ҳ�Ǟ�ʲô�������ׇ��������Ђ���ооƬ�����S���s���ֲ�������ԭ��
�ׇ������������
�����ǡ�
��ǰ����r�g��ׇ�һֱ�Lԇ��оƬԭ���Ϯa(ch��n)�I(y��)��D(zhu��n)�ơ�
�ɍu���Ͱ�uҲ��ɵ������һ�����հ댧�w��Ƭ����z��һ�����չ���z��ԭ���ϼ���ϩ�����ͱ�ϩ������Ҫ�����D(zhu��n)��ȥ���ׇ����������������L����
�������ׇ�С�ܣ��Ƕ����Ȳ����ѵ����²ߡ�
��u��߅���Ђ�������ԇ��̫ꖣ��u����߅���Ђ�5000����N�ij��������������ȫ�]���x��ֻ���J�ׇ�����硣
���J��粻���J�������^�������J����Ҳ�������f�Ѻ��ļ��gȫ�Ͻ���ȥ����˃ɼ�Ҳ��ɵ���ׇ�����a(ch��n)�I(y��)�D(zhu��n)�Ƶĕr�����������������o����Ū�^ȥ��
�ׇ�Ҳ�]���k������Ȼ�]�k���a(ch��n)�I(y��)�D(zhu��n)�ƣ�ֻ�܇Lԇ����Ϲ�����؛�\������
�ɽ�(j��ng)�^һ�D���v�����l(f��)�F(xi��n)оƬ���a(ch��n)�ɱ����ˎױ����@߀�����^�m(x��)�����_�e늺�(li��n)늣��䮔������оƬ�����S��
����
��ȫ�W(w��ng)����˼����������r�����s���o�����ؽ�B�a(ch��n)Ʒ������10^25��̿���Ĺ���z����������ʲô��(y��u)���أ���
��оƬ�I(y��)��(n��i)��ʿ�������оƬ��ԭ���Ͼ��ǰ댧�w��Ƭ������Ҫ�댧�w��Ƭ׃��оƬ��Ƭ��������Ҫ�M�й���ع⡣��
���f������ع⣬����Ȼ�ٲ��˹���z��Ҳ��������z���c��Դ�a(ch��n)�����W�������҂����ܰ��e�C���s���ϰك|���w�ܵļ����·����ָ���w��С����Ƭ�ϡ���
���ؚw���}����
������Ԃ�(c��)�_���w�����������LED��Ļ����PPT�b������������ʲô���迹�أ���
���f���ˣ����䌍�����˹���z�ļ��ȣ�����Խ�ߣ����ʹ�������z����Խ�ߣ������Ȳ���͕���ɰ댧�w��Ƭ��Ⱦ���p�Ĺ�̼����·�������҂�һ����ʾҕ�l�����ſ����Ժ���Ҍ������и���Ӵε����⡣��
Ԓ�����¡�
LED��Ļ���F(xi��n)����ʾҕ�l��
��ʾ�ă�(n��i)����оƬ��̵������^�̣���(j��ng)�^�ع��ҕ�l�����ГQ���^���棬ȥ��ʾ����z׃���ͮa(ch��n)���Ļ��W������
��ǧ�f�^������գ�۾��������e�^�˼���(ji��)��
ֻҊҕ�l���g���֣�����������|(zh��)����z�ڱ�����z�M�й�̺�ԓ���l(f��)�������ą^(q��)��Ҳ�l(f��)���˻��W��������������������Ƭ�����·���F(xi��n)��覴á�
�S��ҕ�l�����꣬����������v��������������λҕ�l��Ҋ���������Ĺ���z������ԓ���ع�ą^(q��)��l(f��)�����W��������
���e�����ӣ�������l�͈D�����ҵĹ���Ĥ��Ҳ��l�͈D�����ɹ�̵�ͬ�r�����ʹ�������|(zh��)����z�����D���Ϸ�Ҳ�l(f��)���˻��W������l�͈D������i�ͣ�������ôһ�c���@���ǰ댧�w��Ƭ��Ⱦ����
��žžž������
��Ǿ��ښ���g϶���F(xi��n)������������Q�������ֱ���g��Ļ���Dz�ͣˢ����
������ꐿ����ϵ۵��o���P�������T�������@����������ô�������o�����ޣ���
���@�v��ˮƽ�^�ˣ�����ꐿ��DZ��b���ӵģ��܉�ӛס�@ô�࣬��Ҳ����ż��e����
������f�Л]�п��ܣ��䌍ꐿ������ǹ�˾��ϯ���ã����H������߀��һ�����ݣ��Ǿ������d�Ƽ���˾����ϯ�ƌW�ң���
��߀��e�f���_�����@�����ܡ���
���úúã��������ǰɣ���
�^Ӳ�ĘI(y��)��ˮƽ���Ժ����W���v������ի@�����c�Qٝ�����^��Ҳֻ��ͣ�D��Ƭ�̣����F(xi��n)�������Ԝp���������ˉ��֣�ʾ�ⰲ�o������
���F(xi��n)�ڴ�Ҷ�����̿�������һ�����J֪�����ҾͲ��ò������̿����ʲô���Է��������ȣ�������fƷ�|(zh��)����
�����^��Դ�۽��Ķ�֪��������Խ���У����c������Խ�����@����ҿ����Â��Ŵ��Rȥ�۽�̫ꖹ⣬�ҾͲ��^��٘���ˡ���
��Ŀǰ�Ĺ�̙C��Դ���֞��ѽ�(j��ng)����̭��248�{�ף���Ҫ����90�{�����ϵĹ�̣������193�{��Դ��13.5�{��Դ���@��ֵ��ע����ǣ�13.5�{��Դֻ��EUV��̙C������������
����ԴԽС�������ܶ�Խ�ߣ��������ľ��ʶ�Ҳ��Խ�ߣ��@�ͽo�҂���̹��̎��ṩ�˸��߹�ˇˮ��оƬ�Ĝش���14�{��ˇоƬ�õľ���13.5�{��Դ����
��֮ǰ��Ҳ�ᵽ�ˣ�����Խ���У���̵�������Խ�����������z�����������Dz��Ǻ�������ɰ댧�w��Ƭ��Ⱦ����
���}������ȫ�����e���h�ף��Jͬ��ǵ��f����
�_�Ƹ��ǜ����ײ�˹��С�п�������߀�e�f����ϵ���ȫ����ȥ��У�������ˣ���Ȼ�B�Ҷ� �ö�ʲô�й�̿��衣��
���@�ͽзe�ۣ��úÌW�ɡ���
�ײ�˹�����ؑ���
��Dz����κ���ʾ������F(xi��n)��Ҳ�]�����~�����s���ѹ�̿����v���@ô�أ�Ҫ�f�]�¿�����Dz����ܵġ�
���������^������̿����Դ����һ���J֪������^�m(x��)�v�������������Ҫ��7�{�ס�5�{��������3�{��оƬ������z�Ŀ����Ա��Ҫ���Ϲ�ˇ�M�ȣ������҂��@��10^25����z��Փ֧�֡���
��ǰ������ĵ��b������LED��Ļ�������w����(sh��)��˲�g�������_�ڵ�����3�{�ס���
����������
��˻��������
�F(xi��n)���@����������������������һ���ڼ�ʢ�磬ÿ���˶�ؕ�I�Լ�������
�·����W�q�@ӠĿ���ͬ�r�������Z�������@С�ӛ]�_��Ц�����������ڸ�3�{��оƬ����
���@����
�ײ�˹�@���f����Ԓ��
�_�ơ�����ƽ��������������Ͽ�ͬ����ˣ�һ�r�g�����@����Ϣ���ס�ˡ�
������ǻؑ�ѝ�ˣ����3�{��оƬ�����oـ�s�����]�ИI(y��)��(n��i)�Ͽ��J����ǿ����k�õ���
3�{��оƬʲô���
�@����EUV��̙C�ɣ�
���d�Ƽ��]�С�
߀Ҫ�и��ȹ���z�ɣ�
���d�Ƽ�Ҳ�]�С�
���߀���OӋ�������w�·�D���߂��쾚�����a(ch��n)��ˇ�ɣ�
ǰ��оƬ�OӋ�����f������Ĺ�����a(ch��n)��ˇ�����d�Ƽ�ͬ�Ӳ��߂��@���l����
�ڷN�N�����Ƽs�£������˶�������ǿ��ˡ�
���f�f�]�뵽�������X�õĿ����О飬�s���������һ�����]���ع�ĵ��ơ�
12��댧�w��Ƭ�ܴ�
16���
����߀��20��ġ�
10^15����Ĺ���zֻ�ܑ�����14�{��оƬ��
10^25����z�˽�һ�£�
�F(xi��n)���������ؑ��ɣ�����B��̙CҲ�����ˣ��Ǿ䡰3�{��оƬ�����ܲ��ǿ�Մ��
����
�h�ڴ���˰��Ď�ȵ��Z��ס�ڄe���^(q��)��ѝ���ѽ�(j��ng)����ľ�u���������ס�ˡ�
14N16���20��댧�w��Ƭ��10^25���֧��3�{��ˇоƬ��̵Ĺ���z��
��Ǜ]��ţ��
������ڸ�3�{��оƬ��
ѝ�˺�������һ�ӣ������������d�Ƽ��߂�3�{��оƬ���аl(f��)�l�����������̫���ˡ�
�ɿ��ˡ���g�l(f��)�����������F(xi��n)���뾾��������I�������㵽��߀�ж��ٵ��ƛ]���������
���Ǻǡ���ѝ�˿�Цһ��ͻȻ���R���p���IJ�࣬�������10^25����z�������oـ�s������ݔһ���ˣ���������Ж|���ġ�
����ѝ�˻��^�����������һ���A�ϵ��������|(zh��)�ɣ��ٴ����C�������������кܶ�ͬ�����̶����Pע�@��ֱ�����Ͱ댧�w��Ƭһ�ӣ��҂��ϙC�����y����
Ԓ�����¡�
�����ˆT�ٴ��Ƴ��O�䡣
���@�й���z���g���y���x��߀�й���z��Ȝy���x���������ҁ��M�Ќ��y����
ѝ�ˣ���������
�پ�Сɽ����������
�S�΄ף���������
��Ĭ�ˡ�
�ٴμ��w��Ĭ�ˡ�
ʲô�Ќ�����
�@�ͽ����Ќ�����
�ߺڷ۵�·���ڷ۟o·���ߣ�ϲ�g�|(zh��)��Ʒ�|(zh��)��������Ǿ��H�Դ�ٿ�����
��(j��ng)�^һͨ�������B�ӵĶY��LED��Ļ���F(xi��n)�����P����(sh��)���ĵĴ_�_���_��10^25�Ŀ��衣
���Ҳ�ڽY(ji��)�����t���ǿ̣�ֱ�Ե�����߀���Ǿ�Ԓ���҂��gӭ�I(y��)��(n��i)��ʿ��٣����^·�M�ɲ����N����
��žžž������
�F(xi��n)�������ࡣ
�B�m(x��)�ɏ������ع⣬�ѽ�(j��ng)�ص��۷���������ֱ���g�ď�Ļ���������Zë��ѩ���h�䡣
���b�b�I�ȣ���
���b�b�I�ȣ���
���b�b�I�ȣ���
�]�Єe�ď�Ļ��(n��i)�ݣ������˶���ˢ�����b�b�I�ȡ�������@�����z�_�������˘I(y��)��(n��i)���b�b�I�ȡ���߀�������������迹���_����10^25�Ĺ���z��
��Ʒ�|(zh��)�҂��˽��ˣ����҂�������ʲô��͵Ĺ���z�ɡ�������ٴΰ����b������
LED��Ļ��PPT�����ГQ���аl(f��)���w�Ĺ���z���Ҳһ�[�o�࣬�F(xi��n)���@���B�B��
�댧�w����z��g������z��i������z��KrF����z��ArF����z��EUV����z
LCD����z����ɫ����z����ɫ����z���|�����ù���z�Լ�TFT-LCD���Թ���z��
PCB����z����Ĥ����z����Ĥ����z������躸��ī��
���D���������҂����d�����������ṩ�������Ĺ���z��Ʒ�|(zh��)���C��10^25��̿��衣��
����@��Ԓ�f���ǿ̣�ס������Ǽ��Ƶ�Čm�鼃�{���Լ���λ�u������ȫ�����ˡ�
ȫƷ�
����z��Ȼ������ȫƷ�
�@�ز��H�H���������ˣ��h�ڍu���|������Խ���F������B���پ�Сɽ�����Ʒ���
���˸�ѽ·����
���@�Dz��oһ�c��·������
Ҫ֪����Խ���F�Գ����𣬾��Ը�Ʒ�|(zh��)���ЙC������֮����ǔUչ�˾�����ϩ���w�S�����������z�Լ�����ԇ���I(y��)�ա�
�ɬF(xi��n)�ڶ̶̰�С�r����Dz��H�Ƴ���14N16���20��댧�w��Ƭ��߀������10^25��̿����ȫƷ���z��
�@�ѽ�(j��ng)���ǹ�ƽ�̑�(zh��n)�ˣ��@��Ҫ�������扞����
�ɴ�I(y��)��ȫ�汻�뉺���پ�Сɽ��������Ƀr���ĵ�ʲô�̶ȣ��e�F(xi��n)����(li��n)��߀�ڳ��m(x��)��Ϣ���u����I(y��)���Ӹ��������^��
����˼���^�����Q���o�Լ����ׇ��ĺ��_���h���L�{�С��R������ȥ��Ԯ�Ԓ��
����
������һ߅��
JSR��ʽ���硢TOK�|�������ɼ�ȫ��피����z�ṩ�̣��˕r�����Ͽ�ǰ�����^��С�����ɶ�˯�����X�ˡ�
���_ʼ�յ��L���f��Ǐͻ��ˣ�����߀���Ԟ�Ȼ��
���S��һ�����Ԓ�Zը����λ�Ͽ��صײ������ˡ�
10^25��̿������z��
���������أ�
�ɮ��������Ç��H�ŵ������_���d�Ƽ��Ĺٷ�ֱ���g����Ҋ������O��ֱ�ӌ��y����z��(sh��)��(j��)�����ˏص����ˡ�
����ô�@ôͻȻ����
���������ô�����ģ���
����z�I������һֱ���Ȱl(f��)��(y��u)�ݣ����HƷ�|(zh��)������߀�Ŕ���ȫ���Ј����~��
Ҳ�����Ʒ�|(zh��)�^�ڳ������B�ׇ������ò��ׅf(xi��)��
�ɽ��������±��ˡ�
�������^����Խ���F��Խ��Ҳ���^�����ŰԽ�������^����u�Ė|�M�������F��Խ������]�뵽�����d�Ƽ���˾������܇��
���d�Ƽ���ʲô��˾��
ɽկ�C�����ģ�
һ����ɽկ�֙C����I(y��)���{ʲô�ɞ������Č��֣����߶�����һ��ِ������I(y��)��
�����֔[����ǰ��
���d�Ƽ����H���֙C����߀��оƬ�OӋ�����H��оƬ�OӋ����߀�п�䡢�늳ء�����ϵ�y(t��ng)��ͨ�žW(w��ng)�j�I(y��)�ա�
ǰ�����^�ڳ�Ĭ�˔�(sh��)�룬�Q���o�����Ͽ���TOK�|���������F�Ͽ�С�����ɴ�ȥ�Ԓ��
���ཡ�����
��(sh��)��æ���^���Ԓ��ͨ��
�����ɾ�����ǰ�����^�]��ī�E��ֱ�����}���������d�Ƽ��İl(f��)�������Pע�]����
�����ڿ�����
С�����ɳ��ؑ���
Ҋ�����ڿ�������ѽ�(j��ng)֪��10^25��̿������z�����飬ǰ�����^�^�m(x��)ֱ�����}����������z�@�K����������҂���λ�֣��F(xi��n)�ڳ��F(xi��n)�˔����ߣ��㿴����
�������о��Ԓ�����ȶY�������С�����ɻؑ�����ͬ�r���]���������������˺����ՄՄ�������ܲ����I��������������У�ֻ���͵��ƴ�r���(zh��n)�ˡ���
�����е��ƣ���
ǰ�����^�Bæ����
���㲻Ҳ�����С����������������
�ɼғ��Ј��@ô�ã�����������ĵ��ƣ�Ҳ������Ĭ�����]��һ���Xȫ���ع⡣
������Ҳ���ò����J���Լ��ĵ��Ƹ�����������ը��
���JSR��ʽ���硢TOK�|�������ɼ�Ŀǰ����z���Ʒ�|(zh��)��10^22��ֻ�ܿsС�c���d�Ƽ������Ĺ���z��ࡣ
�mȻ����֮�g�в�࣬�����a(ch��n)5�{��оƬ��ȫ�]���}���@Ҳ�ǃɼ���I(y��)�ĵ��N��
Ҫ�Ǜ]�c�湦�����֣������ׇ���ô���ׅf(xi��)��
ǰ�����^��С�����ɒ���Ԓ����Ҳ��ͨ������Ǽ��Ƶ�ču�������Ԓ��ϣ�������܉����һ�ˣ��c��������I�����ˡ�
����
������һ߅��
�ׇ��Aʢ�D���h��ɽ�f��
�{�С��R�������پ�Сɽ�Ԓ���ѣ�����������һ���Ӛ⣬�ɮ� �f��ǡ��ͻ�ˣ�߀���Լ��İ������_�ɰl(f��)������˲�g�����������ğo����
�������f�����d�Ƽ��ѽ�(j��ng)������16���20��댧�w��Ƭ�����a(ch��n)��ˇ�����Ҽ�����߀�_����14N�����{�С��R�����ٶȴ_�J��
�����ǹ��I(y��)�����Ҳ�ǹ����Ƭ�ij��ڴ����
�ɰ댧�w��Ƭ����߀�ǵ�һ�� �f��������I(y��)������20�磬߀��14N�ļ����ȡ�
���P�I���ǣ����d�Ƽ�ʲô�r�ֵİ댧�w��Ƭ��
�{�С��R�����벻ͨ��
���±��ˡ�
���]�e�����پ�Сɽ�c���c�^�����^�m(x��)�f���������H�댧�w��Ƭ����ǬF(xi��n)��߀�l(f��)����ȫƷ�����迹���_��10^25�Ĺ���z����
�{���R��������������
����迹���_��10^25�Ĺ���z��
߀��ȫƷ�
��������
ͻȻ���{�С��R�����X���`��һ�W����ͻȻ��һ�ж���ͨ�ˣ������Z������ԭ����ˣ�ԭ����ˣ�ԭ�����@�ӣ���
��ʲô����
�پ�Сɽԃ����
�{�С��R���������һ�ښ⣬����㰐��������ֲ�����о���H�o���d�Ƽ���������оƬ���҂��]���ҵ�оƬ���a(ch��n)���Ϲ���Դ�^��ԭ��������������˰댧�w��Ƭ����z�����a(ch��n)��ˇ����
�ԏ����d�Ƽ�����14�{���p��оƬ���{�С��R������һֱ�ڲ�оƬ���a(ch��n)��Դ�^��
����оƬ�����S���������ϰ������v�_�e늡�(li��n)늡���о���n�ǹ��S����о���H���ɶ�һ�o���@���]�аl(f��)�F(xi��n)�κή�����
�y�������ϵ�ٛ�ͣ�
�{�С��R�������������š�
���������{(di��o)��댧�w��Ƭ����z������I(y��)��������ʮ��λ���Tǰ���u������������I(y��)��
����������оƬ���a(ch��n)��Ҫԭ���ϣ���ԭ���ϻ������ڰ�u�͍u���������С���(n��i)������������鑪ԓҲ���Բ�õ���
�������@߅�����{(di��o)�飬��һ߅�����d�Ƽ��s��ͣ���u�֙C�������ݲ���оƬ��Դ��
�������һ�o���@��
�鹩����߀��һ�o���@��
�@�{�С��R�������Lһ�Εr�g���J�飬14�{���p��оƬ��SOC�ϵ�оƬ�����ϵ��n��ġ�
����2014��������d�Ƽ��B28�{��оƬ߀��Ҫ���_�e늴������F(xi��n)�ڃH�^ȥһ��ĕr�g�����f������14�{��оƬ���a(ch��n)��ˇ�������{�С��R����Ҳ�����š�
����S����о���H��¶���R�_�����ټ�����ǵİl(f��)�������{�С��R�����K�ڰ�����������ˣ�Ҳ���������d�Ƽ���оƬ���ĺζ������@�l�a(ch��n)�I(y��)朵ijɆT�������l��
�����ǽƻ��������{�С��R�����̲�ס�п����@���Ǐ�����Ƥ�ӵ������a(ch��n)��оƬ��
�����d�Ƽ��̶̃���ͳɞ����҂�������ᔣ����д̣���������DZ��Q��ȥ�ˣ��{�С��R�����㿴Ҫ��Ҫ������
�پ�Сɽ?j��ng)]�а�Ԓ�f�꣬���ѽ�(j��ng)������_����˼�f����
���d�Ƽ���˾�����ٶ�̫���ˣ�����{�С��R����߀�ڪqԥ������������͓β�ס�ˡ�
20��댧�w��Ƭ�������ˣ������ʰ����Ժ�������30�磬������40��ľޟo�댧�w��Ƭ��
���Ȳ���������DOD��܊����I(y��)�Ʋ����Σ����Ĵ�5G��Մ���hҪ���_�ˣ������ٿ�����ǑB(t��i)�ȡ����{�С��R����������
�m�f��Ǔ��а댧�w��Ƭ����z�����зdz������Ј�������������Ҳ���ֶ��_�e늡�(li��n)늡���о���n�Ǽ��F��ʹ�����d�Ƽ��ӹ�˾��Ʒ��ԭ���ϡ�
�����{�С��R����߀��һ�У��Ǿ������ƹ���z��ԭ���ϡ�
Ŀǰȫ�����ϩ��������ϩ�����ṩ���ǰ�uLG���F���@���ǽz���������n�Ǽ��F�ij������F��
���²��H��LG��ӡ�LG display��LG���W��LG��Դ��߀��������Ҫ����ϢͨӍ�I(y��)�ա�
������ȱϯ5G���پW(w��ng)�j���h������LG���F�Ĵ��������˰�u���_����(qu��n)����
�����{�С��R������P���ž�ž�푵ĕr���پ�СɽͻȻ����������ֱ�������������ܣ���ô���ܣ��@�^�������ܣ���
�{�С��R����ü�^һ����������ԃ����������ʲô�����ˣ����@С�ֵġ���
����������������پ�Сɽ��Щ�Y(ji��)�ͣ����ѽ�(j��ng)���@���f����Ԓ���������һ�ښ��{(di��o)������һ�ښ��f������������������f�ѽ�(j��ng)�����˼���ϩ��������ϩ�����ϳɹ�ʽ���ڹ��_���{LG���F����
��ʲô��������
�{�С��R��������ס�ˡ�
���_���{LG���F��
����@С����Ҫ�������
��Ҫ�����˲��ɣ�����
�¹�(ji��)�e�`���c�ˈ��������ͺ�S�o�ˆT���ڃɷ�犃�(n��i)У���¹�(ji��)��(n��i)�ݣ�Ո���ĵȴ���