�@�^�˹�ˇ���s�Ĺ�̙C���ù��S����ʽ����������оƬ��̭h(hu��n)��(ji��)��
�@��Ԓ�������˶� ���ˡ�
��̙C��ʲô��
���I(y��)�ʹڣ�
��ʲô�����Գɞ鹤�I(y��)�ʹڣ�
���@ô�f�ɣ�ȫ����]���κ�һ�������܉�Ϊ�������������������ׇ�Ҳ���У���̙C���Ǽ�����I(y��)�����Ďp��֮����
�ͱ����f�������˽�֪�����о�տ�ęCе��ˇ�����켼�g(sh��)���ǹ��J�Ĺ��I(y��)������
���R�����Y���W�϶��е�ϵѪ�y(t��ng)���ܪ��������܇�ć��ң����Ա��Q֮�鹤�I(y��)������܉����һ��ˮ����܇�ć��Ҳ��ܽй��I(y��)�����������Ъ���������܇����������ζ������(n��i)�ع��I(y��)ʮ�֏������w�C̹��Ҳ����Ԓ�¡�
�ڹ�̙C�����ϣ�����ؓ؟�˙Cеϵ�y(t��ng)�;������죬���ҹ�̙C���RƬ��ͬ���ǁ��Ե�������˾�Ĺ�W�RƬ��
߀�з�����
���˼�ʿ����������߀������피��ļ�������
ʲô�Ǽ�������
��̙C�M�й�̣���Ҫ���_�ļ�������Ͷ��D���������ļ��⼼�g(sh��)�ڴ_����������(w��n)���ԡ����Ⱥ�Ч�ʷ��涼�����P�I�Ե����á�
�����@�ɼң�߀���ׇ��ṩ�Ĺ�Դ���g(sh��)��
��Դ�Ͳ���Ҫ���f�ˣ�193�{�ײ��L��������⣬13.5�{�ײ��L�ĘO����⣬�������ׇ��ṩ�ĸ�����Դ���g(sh��)��
�@Щ���ҵļ��g(sh��)�ڹ�̙C�I���γ�����Ч���a����ͬ�Ƅ��˹�̼��g(sh��)�İl(f��)չ�͑��á�
��Ȼ�ˡ�
Ҳ���H�H���@�������ҳ�����
��̙C���f�������ܲ��������ƹ��I(y��)�������ȫ�����c�����죬�@Ҳ�Ǟ�ʲô�f����̙C������I(y��)�ļ����֮����
���ں��mASML��˾�����䌍���ǂ����g(sh��)�����̡�
�����ñ����ķ��b���g(sh��)����ȫ��������ṩ��피⼼�g(sh��)�ۺ��M���g��С���O����y��ͬ�ӷdz�֮�ߣ�����㲿�����^�ھ��ܣ�λ���x��Ҳ��Ҫ���ء�
�ɬF(xi��n)��������f����̙C��Ȼ���@�_�ˣ�
��������أ�����
�l(f��)�����F(xi��n)�����Ͽ��`�`˽�Z������˼�h���������Ժ��ѣ�������Ҳ�������ˡ�
����̹��Sʲô���⣿��
����֪������ȫ�] �f�^���y������90�����ǰ��оƬӡˢ�g(sh��)�����d�Ƽ��Ͼ��b��ƿ����
�����c���_������
��Ҫ�������@�_��̙C�����M�����f�҂�оƬ�]�h(hu��n)�ˣ���
����ҪҊ�C�vʷ�ˆ��
�����F(xi��n)�����Ͽ�����������ʮ�|���ϵ������I(y��)�ң��������B(y��ng)�ͱ���������ǿ������ǵĴ��ڡ�
���S������̹��S���������������������˶��������ˣ���һ����һ�Z���l(f��)�����F(xi��n)���@�Áy��壬�����M���˲��Ј���
���Ҳ�]�������õȣ������b������LED��Ļ���F(xi��n)�˹�̹��S��(n��i)���Č���ҕ�l��
�Ԅ�ȡƬ��
���P�C������Ņ^(q��)��İ댧�w��Ƭ����ͨ�^��յ�܉��·��������Ƭ�\�͵�ָ���^(q��)��
�Ԅ���ϴ��
����SC1��ϴҺ��������ϴҺ��ϴ�������ڰ댧�w��Ƭ����Ļ҉m���s�|(zh��)��
�ԄӺ濾��
��600�ȵĸߜ،��댧�w��Ƭ���暈����ˮ�����l(f��)���_������z���Ծ����w��
�Ԅ�Ϳ�z��
ͿĨ�������Ĺ���z��
�Ԅӹ�̡�
���ѽ�(j��ng)ͿĨ����z�Ĺ�Ƭ���\�͵�ָ����̅^(q��)�����_�ړ��RƬ�M���ع⡣
һϵ�е�ҕ�l��ʾ���F(xi��n)�������˶��ѽ�(j��ng)Ŀ�ɿڴ��������·��ǡ��ײ�˹��С�R�硣
ֱ���g����ը�_��偣���(sh��)����ď�Ļ����ˢ����
�����ǣ����й�̹��S������
����C9(li��n)�˸�У���I(y��)���F(xi��n)���ڇ���(n��i)ij피��о������������Ԟ����Ļ������ѽ�(j��ng)��피�ˮƽ�ˣ�����˾�����ֻ���f��ꐿ�ţ�ƣ����d�Ƽ��b�b�I�ȣ���
����Щ�r����Ҳ���fһЩ�}Ԓ���uŪ�¹Pī�����κα��˛]�Ļ���һ��ţ�������£�ꐿ�ţ�ƣ����d�Ƽ�ţ�ƣ���
���@��̹��S��ȫ�Ԅ����a(ch��n)�������X�ѽ�(j��ng)���Ǐ�����܇�������ˣ�����������ˮ���^�����b�b�I����ȫ���簡����
��ɶҲ���f�ˣ��b�b�I�ȣ���
һֱ�ԁ����oՓ���Ѓ�(n��i)��߀�������ˣ������������˹�̙C���������a(ch��n)оƬ��˼�롣
�ɽ�����
�����ص״����ˡ�
��̙C��
��ʲôҪ�߹�̙C·����
�Լ��_����·�����Æ
С�R��Ҳ����Ҋ�^���L���ˣ�����(n��i)�ⶼ����L��ˮ���피���I(y��)�ң��ɿ���ҕ�l��ʾ����Ҳ���ɵ�զ�������������܇�������菽���_�����ɡ���
ʮ�����������_�ƶ��У���Ҳ���͵�������ϵ��@����ţ���ˣ��@�����ƾ�ȻҲ���ˣ������@��ԓ˯�����X�˰ɣ���
�ײ�˹���·��nj�ҕһ�ۣ����˶��]���fԒ�������F(xi��n)�ڃ�(n��i)�����ѽ�(j��ng)�����f���ˡ�
���Ԟ��Լ�����Dz�����ǧ�|��ֵ��˾��
�������]�뵽����ǵĵ��ƌӳ����F�����ǹ�̹��S�����ѽ�(j��ng)���������mĪ���Ĵ��ڡ�
һֱ�Pעֱ�����S�΄��ѽ�(j��ng)�����Xվ�������������˴���ľ�u��ͬ�r���뵽������������С�f��
�����̙C�ǵ�����ʥ���ǟo��(sh��)λǰ݅�_�ٳ�����·��
��ô��̹��S���ஔ��������ʥ�����������d�Ƽ��ĵ�·���������x�ϵ��_�����ɣ�
�����d�Ƽ�����ǡ���
�����d�Ƽ�����ǡ���
�S�΄������Z��
���ѽ�(j��ng)�Ҳ����~�����@�������Լ��@�ҹ�˾��������ֱ���Ǟ������E������
ͬ�����Pעֱ����ǰ�����^��С�����ɡ��پ�Сɽ���ѽ�(j��ng)���R����������ԡ�
��׃���ˡ���
���댧�w�I��Ҫ׃���ˡ���
��ߴ�댧�w��Ƭ��ȫƷ���z����̹��S�����d�Ƽ���֪���X�g�ѽ�(j��ng)�Ѱ댧�wоƬ�I���ȫ���y�cȫ����Q��
������ע���d��ʷ�ԡ�
���H�H�Ǎu�����F����λ���L����u�ľϱ�ï���O����˾��ѝ�ˣ�ǰ����������5G�W(w��ng)�j��Մ���h���������Ҵ������ѽ�(j��ng)�������lҲ�]�뵽��Dz��@ô���ֱ�ȶ���A���İٌ���߀�ܲؖ|����
���ڴ���˰����Aʢ�D��λ���h��ɽ�f���{�С��R����һ�Bʮ���������ܡ���Ęɫ���H�@�֣�Ŀ��߀�W�q���y�����š�
��̙C���������ĵ��ƣ���ô����ͻ�ƣ�
EDAܛ�����棬����֪�����������зe�۵ġ�
�F(xi��n)��Ҳ�����f��EDAܛ����оƬԭ���Ϲ���朡�оƬ�OӋ����̙Cȫ�������ˣ�
������Č��F(xi��n)��һ��������
��������������̓�Mҕ�l����̙C���ǹ��I(y��)�ʹڣ�����I(y��)�Ďp��֮������ô���ܕ�����܇���^����̓�M��ҕ�l��(n��i)�ݡ���
�{�С��R�����������š�
�e�f������
�����ߌ�ȫ���������š�
�oՓ�ǰ���܊���ͺ��w��߀���A���ֱ������ֵ��_˹�¼��壬������fȫҕ���������Į����˶����������@����ġ�
������I(y��)������оƬȫ�a(ch��n)�I(y��)朣��������������ź�������ء�
����
�����ߌӼ��w�����ţ�����ƺ������A�ϣ��������]����ǰ��İ댧�w��Ƭ����z�ǘӣ��Լ�������Լ����������҈A������
�����ˣ�ҕ�l�ѽ�(j��ng)�����꣬���ڹ�̹��S�^�����M��������չʾ���ҾͲ��������ļ��g(sh��)�ˣ������F(xi��n)����W(w��ng)�Пo��(sh��)�p�۾����ڶ���ֱ���g���e��͵��ȥ����
Ԓ�����¡�
�F(xi��n)���Ͽ��Ż��^��
��žžž������
������ˮ�����£����w�l(f��)������ÿ�����䡣
Ҳ������������ǰ㣬�F(xi��n)����W(w��ng)�Пo��(sh��)�p�۾��o����ֱ���g�����������ij헺��ļ��g(sh��)�����п��ܕ����������e�Ŀ�M�����Թ����ļ��g(sh��)�M�й�����ݣ����r��͵ò���ʧ�ˡ�
�����^������Ǻ�ȻԒ�hһ�D(zhu��n)���^�m(x��)�f�������mȻ��̹��S�ĺ������켼�g(sh��)���ܹ����������P�ą���(sh��)�ǿ��Թ����ġ���
���ٴΰ����b������LED��Ļ��������ГQ��
���r�g��
ȫ���ٴ��@����
�����ǰɣ�193�{��������⣬13.5�{�טO����⣬7�{�טO����⣬߀��3�{�ײ��L�ĘO����⣬�@���J��Ć��
���y���ɹ�̹��S��ͬ�r�߂��@ô���Դ����
���桤��̹��S����
���ֲ���ꐿ��Һ�ѝ����ـ�s��ԭ���������ѽ�(j��ng)������3�{��оƬ��ȫ����l������
���Ҋ�װ����@�����ˣ���
���b�b�I�ȣ���
ȫ���Ͽ��ѽ�(j��ng)�]�����յ������ڽ��^�Ӷ����hՓ������̹��S��������δ���^���@�^��̙C��ȫ��;����
���ڵ�һ�ŵ�������˕r�̲�ס��Ц���������ƽ��������ě]�뵽��ϵܲ����@ô����Ԟ������������҂���������оƬ���S���]�뵽���Լ����˂���̹��S��߀�@�^�˹�̙C����
���ǰ���������ƽ�̲�ס�п�������������ǰ�Εr�g�� �f���Ϸ�늾W(w��ng)�ڲ��ཨ�O��(y��u)�����F(xi��n)�ڿ��푪ԓ�����@����̹��S�ˡ���
����LJ��H�����У�Ҳ���������ͿƼ����С�
ȫ�ǔ���Ƿdz���Ҋ�ģ��ɽ��Εr�g�ԁ���ͣ��˔�(sh��)�Σ�����ƽ�����}Ҳ���V����������ڽ��Oһ헳������̣�������ʲô���̣��lҲ��֪����
�F(xi��n)�ڹ�̹��S�ع⣬��Ҳ֪������������ʲô�ˡ�
��̙C��̾���Ҫ����������ѹ�̙C׃�ɹ�̹��S���\����Ҫ�õ���������ǔ�(sh��)������(sh��)ʮ���������ǰٱ���
�@Ҳ���Խ�ጞ�ʲô���Ϸ�늾W(w��ng)Ҫ�M�Ѓ�(y��u)�����£����ȫ�Ǖ��l������ˡ�
��������
����L��һ�ښ⣬Ҳ���_�ˣ�����Ц�������@��Ҳ�ã�������粽���ߣ������⣬�҂��Ȝ�����
�����@����������
����ƽ�c���c�^��
�����M�����a(ch��n)(li��n)�ˣ���Ǿͳ��Z������һ��Ե��⣬�����Ƽ��~����H�Ј���
�F(xi��n)�ڻ��^�^ȥ������ǽo����������ѽ�(j��ng)Ҫһһ���F(xi��n)��
�oՓ��14N16���20��댧�w��Ƭ��߀��10^25�߿������z��������f����ϩ��������ϩ�������@Щ�������ڰ댧�w���H�Ј��ݺ�ҧ��һ�K���⡣
������£����µ��Dz�ȥ���F(xi��n)���@Ҳ�Ǻܶ��˞�ʲôӑ���e�ˮ��ԭ��
����
���c��ͬ�r��
��һ߅��
�h��ɽ�f���{�С��R������Ҳ픲�ס�����ˣ�ֱ�ӓܴ����ׇ�оƬ�о�����ϯ���̎���˹�ٷҡ�����ϣ�����Ԓ��
����ཡ�����
�Ԓһֱæ����B(t��i)��
�e�������r�g�����Ͼ��c�룬ҹ������_ʼ�����ڴ���˰��ׇ����˕r�ֵ^(q��)�������賿�����c�ĕr�g��
����賿�����c���˴��Ԓ���Q����������ӣ�
����ĥ���˰��犣��������w��˹�ٷҡ�����ϣ���ű�������Ů�������ѣ����Ժ����g���������Ԓ�� ������˹�ٷҡ�����ϣ������ʲô��Ո�v����
�����ҡ���
�{�С��R����������ǿ̣�˹�ٷҡ�����ϣ����(j��ng)˲�g�o�������_�M�ǼtѪ�z���۾���������Ҳ�Bæ����������
���h�L����ʲô�£���
�{�С��R����Ҳ��ī�E��ֱ��ԃ���������Л]���@�^��̙C�����a(ch��n)оƬ�ķ�ʽ����
��оƬӡˢ����
˹�ٷҡ�����ϣ�����_����
��ǰ��оƬ����ӡˢ�ģ����Ƕ���̭�������ˡ�
�F(xi��n)�ڄ��m14�{�Ĺ�ˇ�Ƴ̣�ӡˢ�����벻ͨ���r���ѽ�(j��ng)׃�ˣ��@헼��g(sh��)Ҳ����̭��
������ӡˢ�����{�С��R����ֱ�ӷ��@���𰸡�
�@�Ͱ�˹�ٷҡ�����ϣ���y���ˣ����ù�̙C����ô�Ѽ����·�D�����ڹ�Ƭ�ϣ�
�y�����@�R��̣�
�@�������
��˼�˔�(sh��)ʮ�룬˹�ٷҡ�����ϣ�������벻�������u�˓u�^�ؑ��������Ҳ�֪������
���ѹ�̙C���ɹ��S����ě]����Ƽ��g(sh��)�����{�С��R����߀�����ģ��^�m(x��)ԃ����
���ҡ����治֪������
˹�ٷҡ�����ϣ�����ˡ�
�ѹ�̙C���ɹ��S��
߀�ǹ��S���ɹ�̙C��
�ֲ��壬����ķֲ��壬�������㲻����@������Pϵ���F(xi��n)���������˶����µġ�
����������
�{�С��R�����L��һ�ښ⣬������Щ���s��ֱ�Ӓ���Ԓ��������֪���ˡ���
�F(xi��n)�ڄe�f˹�ٷҡ�����ϣ���ֲ��壬��Ҳ�ֲ�������Л]���ڴ�ţ�ƣ��@�^��̙C������̹��S������Щ�췽ҹ�T��
��Ī�������˹�ٷҡ�����ϣ��������ȥ�Ҵҵ��{�С��R���������ʂ�Ϣ���^�m(x��)��Ϣ����һ���Ԓ���M�����֙C��
���˵á����_��܊����
�����װl(f��)����ʲô����
˹�ٷҡ�����ϣ��������������齛(j��ng)�^��������ͨ�Ԓ��ͬ�ӵĆ��}�����o����
˹�ٷҡ�����ϣ�����f�ش𣺡�����оƬӡˢ�g(sh��)�����治֪��߀���������k���������a(ch��n)оƬ����
��֪���ˡ���
�˵á����_��ͬ�Ӓ���Ԓ��
����˹�ٷҡ�����ϣ�����ښ⣬��ע���_˹�¡����Ԓ����һ�δ��M�����֙C��
�����ׇ��댧�wоƬ�I���피⌣�ң�˹�ٷҡ�����ϣ�����н^����Ԓ�Z��(qu��n)��
������IJ�֪�������˹�̙C�M�й�̣�߀��ʲô;������ȥ���a(ch��n)�댧�wоƬ��
���m(x��)�m(x��)���Ԓ���M��˹�ٷҡ�����ϣ��������ˡ�
���hԺ������܊���ͺ��w���_˹�¼��壬߀�������ص�ȫҕ�����������ԃ�Ԓ��
Ȼ���@ЩĻ��ߌӲ�֪�����ǣ��������e���ˡ�
˹�ٷҡ�����ϣ���ǰ댧�wоƬ�I��Č��ң��ɃH���ڰ댧�wоƬ�������������������I��
С�����Ӽ������@���O�䣬�����������F(xi��n)�ڰ댧�wоƬ�Č���ң��@���о������������O�䡣
�F(xi��n)���lҲ�f���ʣ���ǿ��еĹ�̹��S�Dz�����ġ�
�������ģ������d�Ƽ��͌��F(xi��n)��оƬȫ�a(ch��n)�I(y��)��]�h(hu��n)����Ҳ���ÿ�����Ęɫ��
������Ǽٵģ��Ǿ͵üӴ������ˡ�
��һ߅���_˹���f�@��һͨͨ�Ԓ���ܴ��˳�ȥ��ԭ���R�\��Ӌ���ٴΌ�ʩ��
��ǔy�������ڿƼ����ͻ��߀���_ȫ�W(w��ng)�l(f��)�����M�������������������Ƣ����˽⣬5G���پW(w��ng)�j��������ݜ��ˣ�ֻ���ٽoȫ������Ј���һ�ѻ�
����
���������
���d�Ƽ����ؿ�����
�ڹ����˹�Դ��(sh��)��(j��)������^�m(x��)���ˉ��֣�ʾ�ⰲ�o��ͬ�r�^�m(x��)�f����������3�{���Ƴ̵ĘO����⣬�Լ��߿����EUV����z���@Ҳ��ζ���������аl(f��)�������������@��Ԓѝ�ˣ�Ҫ����ǰ�Jݔ���ҿ�����ֻݔһ�롣��
Ԓ�����¡�
�F(xi��n)���D�rЦ���ࡣ
ֱ���g���^��Ҳ����ס�ˣ������۳���Ļ��
����������Ͷ��ݔһ�룬ꐿ��Ƕ���ô�����˵ġ���
��1�K�Xݔһ�룬���M�����fֻҪݔ0.5Ԫ����Ҫ��ѝ�ˣ���ֱ�Ӿʹ��@���l���ˡ���
�����Ԟ�ꐿ���ţ�ƣ��]�뵽�������Ќ�������
��14N16���20��댧�w��Ƭ��10^25�߿���EUV����z��߀��3�{�טO������Դ���@Щ�l���B��������߀�e�f�����d�Ƽ����п������3�{��оƬ����
��ѝ��Ҫ˯����������
ѝ��˯������
�F(xi��n)���������͛]��˯��
ֱ���g�^����֪�����ǣ��F(xi��n)��ѝ������п��y�f����֪�������Ͳ���Ԓ����ˡ�
����r�g���Ե������O��8�l(f��)���������^��������Ո����ܷ֣���������ŭ�@�����ˡ�
�挦��Ͷ��ݔһ�롱�����h�������X֪��Ę�a���ۡ�
���Ԟ�3�{��оƬ�ڴ�ţ�ƣ�
�˼������Ќ�����
Ӣ���_��(chu��ng)ʼ���S�΄F(xi��n)��Ҳ�ڿ��]Ҫ��Ҫ����I(y��)���x�ׇ����ص��������Ј���
3�{��ˇ��
����@��Ҳ����3�{�ס�
�����������ˡ�
����ȫ����������������䏈��
������С�r�İl(f��)����������ѽ�(j��ng)�ɹ�������ȫ���磬�����˶��۽��������ϡ�
�X��܊�^(q��)����������������W�q���̲�ס���ݵ�����ԭ���@���������ҽа������ĵך⡣��
�����_ʼ߀�{������ʲô��Ǹҿ��ׇ����ӣ������ׇ����O5G���پW(w��ng)�j������5G�W(w��ng)�j�x���_�댧�wоƬ����Ҫ5G����оƬ��������̖��
�F(xi��n)���������ˣ���Ǹҽа��ׇ��ĵך⣬������ѽ�(j��ng)�����˰댧�wоƬ��ȫ�a(ch��n)�I(y��)朣������Ͳ���Ҫ�ٽo�ׇ����ӡ�
�����ӣ�
��Ǹ���ѽ�(j��ng)�b�b�I���ˣ�
��ͨ�@�c�Ժ��������̲�ס�{(di��o)٩�������@����������һ��һ�ģ����X�o�F�o�M������
�ܶ��r�������X�����Ҫ���O�ޣ��Ͳ����|���ˡ�
��ƫƫ��
ÿ�ζ����������ϡ�
���������_ʼ�����W��䡢�_�����оƬ��߀�����İ댧�w�a(ch��n)�I(y��)�ȫ�]�h(hu��n)����Ƕ���һ�δ�ˢ�������J֪��
������������һ���Ԟ飬��̹��S�ѽ�(j��ng)���@���l(f��)�����ĉ��S����h����ǰl(f��)�����F(xi��n)��������ٴΰ����b����������ĨЦ�������f���˰댧�wоƬ�I������P���g(sh��)�аl(f��)���҂����Ąe�ġ���
�����ǣ�߀�а���������
�F(xi��n)���ٴ���ӡ�
�·��DŽ���ƽ�o���������ٴη������̲�ס�����ײ�˹����������Ȼ߀�м��g(sh��)Ҫ��������
���F(xi��n)������µIJ����м��g(sh��)�]�����������@헼��g(sh��)���ڹ�̹��S���棬���п����lj��S�ģ���
�ײ�˹���˿���ĭ��
��������ʲô����
С�R��Ҳ�̲�ס�@����
�����ɂ�С�r�ĕr�g�����һ����һ��ˢ�����������J֪���o���������Ƽ���ը�ě_����
�F(xi��n)��������f����̹��S�����lj��S���g(sh��)��
���������Ǻ˾�׃�ɣ�
�o��(sh��)���ٴ���ס��������Ŀ�������i���_�ϵ���ǣ��������KҲ�ڼ�����������
��һ����ǰ��������ҹ�_�ˈ�ֱ�����͏V��W(w��ng)��̽ӑ��늄���܇��δ���l(f��)չ�����ԡ�����
�����ˣ��_�ҁ��ģ���
�_�±ȁ����Ͽ��������̲�ס�ջ�һ�o��
��늄���܇���Ă����f��������֪�����²����ˡ�
Ҳ�����������ǰ㣬�����ǹ��ճ�Ĩ�������ȣ�ֱҕ�R�^��������(j��ng)�^������ӑՓ�������źܶ��˶����ڴ��I����܇�Ć��������@���ҽoδ����܇���R���¡���
��ǰ�����҂��Ĺ̑B(t��i)�늳��ٴ�ӭ�����g(sh��)ͻ�ƣ�Ŀǰ�҂�늳���Դ���F������M�а�ȫ�yԇ����������늳ذ��������ڳ����I����܇�ϣ������Ă��֣��ٴδ����҂�ֱ���g�Ĺ����ϺÆ��
�¹�(ji��)�e�`���c�ˈ��������ͺ�S�o�ˆT���ڃɷ�犃�(n��i)У���¹�(ji��)��(n��i)�ݣ�Ո���ĵȴ���