�@�^�˹�ˇ���s�Ĺ�̙C,���ù��S����ʽ����������оƬ��̭h(hu��n)��(ji��),��
�@��Ԓ�������˶� ����,��
��̙C��ʲô,��
���I(y��)�ʹ�,��
��ʲô�����Գɞ鹤�I(y��)�ʹ�,��
���@ô�f�ɣ�ȫ����]���κ�һ�������܉�Ϊ����������,���������ׇ�Ҳ����,����̙C���Ǽ�����I(y��)�����Ďp��֮����
�ͱ����f��,�����˽�֪�����о�տ�ęCе��ˇ�����켼�g,���ǹ��J�Ĺ��I(y��)������
���R,�����Y,���W�϶��е�ϵѪ�y(t��ng)���ܪ��������܇�ć���,�����Ա��Q֮�鹤�I(y��)���,���܉����һ��ˮ����܇�ć��Ҳ��ܽй��I(y��)�����������Ъ���������܇����,������ζ�������ع��I(y��)ʮ�֏���,�����w�C̹��Ҳ����Ԓ�¡�
�ڹ�̙C������,������ؓ؟�˙Cеϵ�y(t��ng)�;�������,�����ҹ�̙C���RƬ��ͬ���ǁ��Ե�������˾�Ĺ�W�RƬ,��
߀�з���,��
���˼�ʿ����������߀������피��ļ�����,��
ʲô�Ǽ�����,��
��̙C�M�й�̣���Ҫ���_�ļ�������Ͷ��D��,�������ļ��⼼�g�ڴ_����������(w��n)����,�����Ⱥ�Ч�ʷ��涼�����P�I�Ե����á�
�����@�ɼ�,��߀���ׇ��ṩ�Ĺ�Դ���g,��
��Դ�Ͳ���Ҫ���f�ˣ�193�{�ײ��L���������,��13.5�{�ײ��L�ĘO�����,���������ׇ��ṩ�ĸ�����Դ���g,��
�@Щ���ҵļ��g�ڹ�̙C�I���γ�����Ч���a����ͬ�Ƅ��˹�̼��g�İl(f��)չ�͑���,��
��Ȼ��,��
Ҳ���H�H���@�������ҳ�����
��̙C���f�������ܲ���,�����ƹ��I(y��)�������ȫ�����c������,���@Ҳ�Ǟ�ʲô�f����̙C������I(y��)�ļ����֮��,��
���ں��mASML��˾,�����䌍���ǂ����g�����̡�
�����ñ����ķ��b���g,����ȫ��������ṩ��피⼼�g�ۺ��M���g��С���O����,���y��ͬ�ӷdz�֮�ߣ�����㲿�����^�ھ���,��λ���x��Ҳ��Ҫ����,��
�ɬF(xi��n)��������f����̙C��Ȼ���@�_��,��
���������,����,��
�l(f��)�����F(xi��n)�����Ͽ��`�`˽�Z,������˼�h���������Ժ���,��������Ҳ��������,��
����̹��Sʲô���⣿��
����֪��,����ȫ�] �f�^,���y������90�����ǰ��оƬӡˢ�g�����d�Ƽ��Ͼ��b��ƿ,����
�����c���_��,����
��Ҫ�������@�_��̙C,�����M�����f�҂�оƬ�]�h(hu��n)��,����
����ҪҊ�C�vʷ�ˆ��
�����F(xi��n)�����Ͽ�,����������ʮ�|���ϵ������I(y��)��,���������B(y��ng)�ͱ���������ǿ������ǵĴ��ڡ�
���S������̹��S����������,�����������˶���������,����һ����һ�Z,���l(f��)�����F(xi��n)���@�Áy��壬�����M���˲��Ј�,��
���Ҳ�]�������õ�,�������b������LED��Ļ���F(xi��n)�˹�̹��S�Ȳ��Č���ҕ�l,��
�Ԅ�ȡƬ,��
���P�C������Ņ^(q��)��İ댧�w��Ƭ����ͨ�^��յ�܉��·��,������Ƭ�\�͵�ָ���^(q��)��,��
�Ԅ���ϴ��
����SC1��ϴҺ��������ϴҺ,��ϴ�������ڰ댧�w��Ƭ����Ļ҉m���s�|,��
�ԄӺ濾��
��600�ȵĸߜ،��댧�w��Ƭ���暈����ˮ�����l(f��),���_������z���Ծ����w,��
�Ԅ�Ϳ�z��
ͿĨ�������Ĺ���z,��
�Ԅӹ��,��
���ѽ�(j��ng)ͿĨ����z�Ĺ�Ƭ���\�͵�ָ����̅^(q��)��,�����_�ړ��RƬ�M���ع�,��
һϵ�е�ҕ�l��ʾ���F(xi��n)�������˶��ѽ�(j��ng)Ŀ�ɿڴ�,�������·���,���ײ�˹��С�R�硣
ֱ���g����ը�_���,����(sh��)����ď�Ļ����ˢ��,��
�����ǣ����й�̹��S�,�,����
����C9(li��n)�˸�У���I(y��)���F(xi��n)���ڇ���ij피��о�������,�����Ԟ����Ļ������ѽ�(j��ng)��피�ˮƽ��,������˾�����ֻ���f,��ꐿ�ţ��,�����d�Ƽ��b�b�I�ȣ���
����Щ�r����Ҳ���fһЩ�}Ԓ,���uŪ�¹Pī,�����κα��˛]�Ļ���һ��ţ��������,��ꐿ�ţ��,�����d�Ƽ�ţ�ƣ���
���@��̹��S��ȫ�Ԅ����a(ch��n)�,�,�����X�ѽ�(j��ng)���Ǐ�����܇�������ˣ�����������ˮ���^��,���b�b�I����ȫ����,�����
��ɶҲ���f��,���b�b�I��,����
һֱ�ԁ����oՓ���Ѓ���߀��������,�������������˹�̙C,���������a(ch��n)оƬ��˼�롣
�ɽ���,��
�����ص״�����,��
��̙C��
��ʲôҪ�߹�̙C·��,��
�Լ��_����·�����Æ�,��
С�R��Ҳ����Ҋ�^���L���ˣ������ⶼ����L��ˮ���피���I(y��)��,���ɿ���ҕ�l��ʾ,����Ҳ���ɵ�զ�������������܇�������菽,���_�����ɡ���
ʮ�����������_�ƶ���,����Ҳ���͵�������ϵ��@����ţ����,���@�����ƾ�ȻҲ����,�������@��ԓ˯�����X�˰ɣ���
�ײ�˹���·��nj�ҕһ��,�����˶��]���fԒ,�������F(xi��n)�ڃ������ѽ�(j��ng)�����f���ˡ�
���Ԟ��Լ�����Dz���,������ǧ�|��ֵ��˾,��
�������]�뵽����ǵĵ��ƌӳ����F�����ǹ�̹��S,�����ѽ�(j��ng)���������mĪ���Ĵ���,��
һֱ�Pעֱ�����S�΄��ѽ�(j��ng)�����Xվ�������������˴���ľ�u��ͬ�r,���뵽������������С�f,��
�����̙C�ǵ�����ʥ���ǟo��(sh��)λǰ݅�_�ٳ�����·,��
��ô��̹��S���ஔ��������ʥ,�����������d�Ƽ��ĵ�·���������x�ϵ��_������,��
�����d�Ƽ�����ǡ���
�����d�Ƽ�����ǡ���
�S�΄������Z,��
���ѽ�(j��ng)�Ҳ����~�����@�������Լ��@�ҹ�˾��������ֱ���Ǟ������E����,��
ͬ�����Pעֱ����ǰ�����^,��С�����ɡ��پ�Сɽ���ѽ�(j��ng)���R�����������,��
��׃����,����
���댧�w�I��Ҫ׃���ˡ���
��ߴ�댧�w��Ƭ,��ȫƷ���z,����̹��S�����d�Ƽ���֪���X�g�ѽ�(j��ng)�Ѱ댧�wоƬ�I���ȫ���y�cȫ����Q,��
����,��ע���d��ʷ�ԡ�
���H�H�Ǎu�����F����λ���L,����u�ľϱ�ï,���O����˾��ѝ�ˣ�ǰ����������5G�W(w��ng)�j��Մ���h���������Ҵ������ѽ�(j��ng)����,���lҲ�]�뵽��Dz��@ô��,����ֱ�ȶ���A���İٌ���߀�ܲؖ|����
���ڴ���˰����Aʢ�D,��λ���h��ɽ�f���{�С��R����һ�Bʮ���������ܡ�,��Ęɫ���H�@�֣�Ŀ��߀�W�q���y������,��
��̙C���������ĵ���,����ô����ͻ�ƣ�
EDAܛ������,������֪�����������зe�۵�,��
�F(xi��n)��Ҳ�����f��EDAܛ����оƬԭ���Ϲ����,��оƬ�OӋ,����̙Cȫ�������ˣ�
������Č��F(xi��n)��һ������,��
��������������̓�Mҕ�l,����̙C���ǹ��I(y��)�ʹڣ�����I(y��)�Ďp��֮��,����ô���ܕ�����܇,���^����̓�M��ҕ�l���ݡ,���
�{���R������������,��
�e�f������
�����ߌ�ȫ����������,��
�oՓ�ǰ���܊���ͺ��w,��߀���A���ֱ������ֵ��_˹�¼��壬������fȫҕ��,�������Į����˶����������@�����,��
������I(y��)������оƬȫ�a(ch��n)�I(y��)朣��������������ź��������,��
����
�����ߌӼ��w������,������ƺ������A�ϣ��������]����ǰ��İ댧�w��Ƭ����z�ǘ�,���Լ�������Լ�,���������҈A������
�����ˣ�ҕ�l�ѽ�(j��ng)������,�����ڹ�̹��S�^�����M,��������չʾ���ҾͲ��������ļ��g��,�������F(xi��n)����W(w��ng)�Пo��(sh��)�p�۾����ڶ���ֱ���g,���e��͵��ȥ�,���
Ԓ������,��
�F(xi��n)���Ͽ��Ż��^��
��žžž������
������ˮ������,�����w�l(f��)������ÿ������,��
Ҳ������������ǰ�,���F(xi��n)����W(w��ng)�Пo��(sh��)�p�۾��o����ֱ���g,�����������ij헺��ļ��g�����п��ܕ����������e�Ŀ�M�����Թ����ļ��g�M�й������,�����r��͵ò���ʧ��,��
�����^�,�����Ǻ�ȻԒ�hһ�D,���^�m(x��)�f�������mȻ��̹��S�ĺ������켼�g���ܹ����������P�ą���(sh��)�ǿ��Թ�����,�,���
���ٴΰ����b������LED��Ļ��������ГQ,��
���r�g,��
ȫ���ٴ��@����
�����ǰ�,��193�{���������,��13.5�{�טO����⣬7�{�טO�����,��߀��3�{�ײ��L�ĘO�����,���@���J��Ć��
���y���ɹ�̹��S,��ͬ�r�߂��@ô���Դ,����
���桤��̹��S����
���ֲ���ꐿ��Һ�ѝ����ـ�s,��ԭ���������ѽ�(j��ng)������3�{��оƬ��ȫ����l��,����
���Ҋ�װ����@������,����
���b�b�I��,����
ȫ���Ͽ��ѽ�(j��ng)�]�����յ������ڽ��^�Ӷ����hՓ��,����̹��S��������δ���^,���@�^��̙C��ȫ��;����
���ڵ�һ�ŵ����,���˕r�̲�ס��Ц,���������ƽ��������ě]�뵽��ϵܲ����@ô����Ԟ������������҂���������оƬ���S,���]�뵽���Լ����˂���̹��S,��߀�@�^�˹�̙C�,���
���ǰ�,�,�������ƽ�̲�ס�п�������������ǰ�Εr�g�� �f,���Ϸ�늾W(w��ng)�ڲ��ཨ�O��(y��u)��,���F(xi��n)�ڿ��푪ԓ�����@����̹��S�ˡ,���
����LJ��H������,��Ҳ���������ͿƼ����С�
ȫ�ǔ���Ƿdz���Ҋ��,���ɽ��Εr�g�ԁ�,��ͣ��˔�(sh��)�Σ�����ƽ�����}Ҳ���V��,��������ڽ��Oһ헳�������,��������ʲô���̣��lҲ��֪��,��
�F(xi��n)�ڹ�̹��S�ع�,����Ҳ֪������������ʲô�ˡ�
��̙C��̾���Ҫ�������,���ѹ�̙C׃�ɹ�̹��S,���\����Ҫ�õ���������ǔ�(sh��)������(sh��)ʮ��,�������ǰٱ�,��
�@Ҳ���Խ�ጞ�ʲô���Ϸ�늾W(w��ng)Ҫ�M�Ѓ�(y��u)������,�����ȫ�Ǖ��l�������,��
��������
����L��һ�ښ�,��Ҳ���_��,������Ц�������@��Ҳ�ã�������粽����,��������,���҂��Ȝ��,���
�����@������,����
����ƽ�c���c�^,��
�����M�����a(ch��n)(li��n)��,����Ǿͳ��Z������һ��Ե��⣬�����Ƽ��~����H�Ј�,��
�F(xi��n)�ڻ��^�^ȥ��,����ǽo����������ѽ�(j��ng)Ҫһһ���F(xi��n),��
�oՓ��14N16���20��댧�w��Ƭ��߀��10^25�߿������z,��������f����ϩ����,����ϩ����,���@Щ�������ڰ댧�w���H�Ј��ݺ�ҧ��һ�K����,��
������£����µ��Dz�ȥ���F(xi��n),���@Ҳ�Ǻܶ��˞�ʲôӑ���e�ˮ��ԭ��,��
����
���c��ͬ�r��
��һ߅,��
�h��ɽ�f���{�С��R������Ҳ픲�ס������,��ֱ�ӓܴ����ׇ�оƬ�о�����ϯ���̎���˹�ٷҡ�����ϣ�����Ԓ,��
����ཡ�����
�Ԓһֱæ����B(t��i),��
�e�������r�g�����Ͼ��c�룬ҹ������_ʼ,�����ڴ���˰��ׇ�,���˕r�ֵ^(q��)�������賿�����c�ĕr�g��
����賿�����c���˴��Ԓ,���Q�����������,��
����ĥ���˰��犣��������w��˹�ٷҡ�����ϣ���ű�������Ů��������,�����Ժ����g,���������Ԓ�� ������˹�ٷҡ�����ϣ������ʲô��Ո�v,�,���
�����ҡ,���
�{�С��R����������ǿ�,��˹�ٷҡ�����ϣ����(j��ng)˲�g�o�������_�M�ǼtѪ�z���۾�,��������Ҳ�Bæ��������,��
���h�L����ʲô�£���
�{�С��R����Ҳ��ī�E,��ֱ��ԃ���������Л]���@�^��̙C,�����a(ch��n)оƬ�ķ�ʽ����
��оƬӡˢ,����
˹�ٷҡ�����ϣ�����_��,��
��ǰ��оƬ����ӡˢ��,�����Ƕ���̭�������ˡ�
�F(xi��n)�ڄ��m14�{�Ĺ�ˇ�Ƴ�,��ӡˢ�����벻ͨ,���r���ѽ�(j��ng)׃�ˣ��@헼��gҲ����̭,��
������ӡˢ,�����{�С��R����ֱ�ӷ��@����,��
�@�Ͱ�˹�ٷҡ�����ϣ���y����,�����ù�̙C����ô�Ѽ����·�D�����ڹ�Ƭ��,��
�y�����@�R���,��
�@�������
��˼�˔�(sh��)ʮ��,��˹�ٷҡ�����ϣ�������벻����,���u�˓u�^�ؑ��������Ҳ�֪���,���
���ѹ�̙C���ɹ��S,����ě]����Ƽ��g�����{�С��R����߀������,���^�m(x��)ԃ��,��
���ҡ����治֪���,���
˹�ٷҡ�����ϣ������,��
�ѹ�̙C���ɹ��S��
߀�ǹ��S���ɹ�̙C,��
�ֲ���,������ķֲ��壬�������㲻����@������Pϵ,���F(xi��n)���������˶����µ�,��
����������
�{�С��R�����L��һ�ښ⣬������Щ���s,��ֱ�Ӓ���Ԓ��������֪����,����
�F(xi��n)�ڄe�f˹�ٷҡ�����ϣ���ֲ���,����Ҳ�ֲ�������Л]���ڴ�ţ��,���@�^��̙C������̹��S������Щ�췽ҹ�T,��
��Ī������,�,���˹�ٷҡ�����ϣ��������ȥ�Ҵҵ��{�С��R���������ʂ�Ϣ���^�m(x��)��Ϣ,����һ���Ԓ���M�����֙C,��
���˵á����_��܊����
�����װl(f��)����ʲô,����
˹�ٷҡ�����ϣ��������������齛(j��ng)�^,��������ͨ�Ԓ��ͬ�ӵĆ��}�����o��,��
˹�ٷҡ�����ϣ�����f�ش𣺡�����оƬӡˢ�g,�����治֪��߀���������k���������a(ch��n)оƬ,�,���
��֪���ˡ,���
�˵á����_��ͬ�Ӓ���Ԓ,��
����˹�ٷҡ�����ϣ�����ښ⣬��ע���_˹�¡����Ԓ,����һ�δ��M�����֙C,��
�����ׇ��댧�wоƬ�I���피⌣�ң�˹�ٷҡ�����ϣ�����н^����Ԓ�Z��,��
������IJ�֪��,�����˹�̙C�M�й�̣�߀��ʲô;������ȥ���a(ch��n)�댧�wоƬ,��
���m(x��)�m(x��)���Ԓ���M,��˹�ٷҡ�����ϣ��������ˡ�
���hԺ,������܊���ͺ��w,���_˹�¼��壬߀�������ص�ȫҕ�����������ԃ�Ԓ,��
Ȼ���@ЩĻ��ߌӲ�֪������,���������e���ˡ�
˹�ٷҡ�����ϣ���ǰ댧�wоƬ�I��Č���,���ɃH���ڰ댧�wоƬ,�������������������I��
С�����Ӽ������@���O��,�������������F(xi��n)�ڰ댧�wоƬ�Č����,���@���о������������O�䡣
�F(xi��n)���lҲ�f����,����ǿ��еĹ�̹��S�Dz������,��
��������,�������d�Ƽ��͌��F(xi��n)��оƬȫ�a(ch��n)�I(y��)��]�h(hu��n)����Ҳ���ÿ�����Ęɫ,��
������Ǽٵ�,���Ǿ͵üӴ������ˡ�
��һ߅���_˹���f�@,��һͨͨ�Ԓ���ܴ��˳�ȥ,��ԭ���R�\��Ӌ���ٴΌ�ʩ��
��ǔy�������ڿƼ����ͻ,��߀���_ȫ�W(w��ng)�l(f��)�����M������,�������������Ƣ����˽⣬5G���پW(w��ng)�j��������ݜ���,��ֻ���ٽoȫ������Ј���һ�ѻ�,��
����
���������
���d�Ƽ����ؿ���,��
�ڹ����˹�Դ��(sh��)��(j��),������^�m(x��)���ˉ��֣�ʾ�ⰲ�o��ͬ�r�^�m(x��)�f����������3�{���Ƴ̵ĘO�����,���Լ��߿����EUV����z,���@Ҳ��ζ���������аl(f��)�������������@��Ԓѝ��,��Ҫ����ǰ�Jݔ,���ҿ�����ֻݔһ��,���
Ԓ������,��
�F(xi��n)���D�rЦ���ࡣ
ֱ���g���^��Ҳ����ס��,�������۳���Ļ,��
����������Ͷ��ݔһ��,��ꐿ��Ƕ���ô�����˵�,����
��1�K�Xݔһ��,�����M�����fֻҪݔ0.5Ԫ,����Ҫ��ѝ�ˣ���ֱ�Ӿʹ��@���l����,�,���
�����Ԟ�ꐿ���ţ�ƣ��]�뵽�������Ќ����,���
��14N16���20��댧�w��Ƭ,��10^25�߿���EUV����z��߀��3�{�טO������Դ,���@Щ�l���B������,��߀�e�f�����d�Ƽ����п������3�{��оƬ,�,���
��ѝ��Ҫ˯����������
ѝ��˯����,��
�F(xi��n)���������͛]��˯,��
ֱ���g�^����֪�����ǣ��F(xi��n)��ѝ������п��y�f,����֪�������Ͳ���Ԓ�����,��
����r�g���Ե������O��8�l(f��)���������^��������Ո����ܷ�,����������ŭ�@������,��
�挦��Ͷ��ݔһ�롱�����h,�������X֪��Ę�a����,��
���Ԟ�3�{��оƬ�ڴ�ţ�ƣ�
�˼������Ќ���,��
Ӣ���_��(chu��ng)ʼ���S�΄F(xi��n)��Ҳ�ڿ��]Ҫ��Ҫ����I(y��)���x�ׇ�,���ص��������Ј���
3�{��ˇ,��
����@��Ҳ����3�{�ס�
������������,��
����ȫ����������������䏈��
������С�r�İl(f��)����,������ѽ�(j��ng)�ɹ�������ȫ����,�������˶��۽��������ϡ�
�X��܊�^(q��)����������������W�q,���̲�ס���ݵ�����ԭ���@���������ҽа������ĵך�,����
�����_ʼ߀�{��,����ʲô��Ǹҿ��ׇ�����,�������ׇ����O5G���پW(w��ng)�j������5G�W(w��ng)�j�x���_�댧�wоƬ,����Ҫ5G����оƬ��������̖,��
�F(xi��n)���������ˣ���Ǹҽа��ׇ��ĵך⣬������ѽ�(j��ng)�����˰댧�wоƬ��ȫ�a(ch��n)�I(y��)�,�������Ͳ���Ҫ�ٽo�ׇ�����,��
�����ӣ�
��Ǹ,���ѽ�(j��ng)�b�b�I����,��
��ͨ�@�c�Ժ��������̲�ס�{٩�������@����������һ��һ��,�����X�o�F�o�M��,����
�ܶ��r��,�������X�����Ҫ���O��,���Ͳ����|���ˡ�
��ƫƫ��
ÿ�ζ�����������,��
���������_ʼ�����W���,���_�����оƬ��߀�����İ댧�w�a(ch��n)�I(y��)�ȫ�]�h(hu��n),����Ƕ���һ�δ�ˢ�������J֪,��
������������һ���Ԟ飬��̹��S�ѽ�(j��ng)���@���l(f��)�����ĉ��S���,���h����ǰl(f��)�����F(xi��n)��������ٴΰ����b����,������ĨЦ�������f���˰댧�wоƬ�I������P���g�аl(f��)���҂����Ąe��,�,���
�����ǣ�߀�а,�,����,����
�F(xi��n)���ٴ����,��
�·��DŽ���ƽ�o���������ٴη������̲�ס�����ײ�˹����������Ȼ߀�м��gҪ����,����
���F(xi��n)������µIJ����м��g�]����,�������@헼��g���ڹ�̹��S���棬���п����lj��S��,����
�ײ�˹���˿���ĭ,��
��������ʲô����
С�R��Ҳ�̲�ס�@��,��
�����ɂ�С�r�ĕr�g,�����һ����һ��ˢ�����������J֪,���o���������Ƽ���ը�ě_����
�F(xi��n)��������f,����̹��S�����lj��S���g,��
���������Ǻ˾�׃�ɣ�
�o��(sh��)���ٴ���ס����,����Ŀ�������i���_�ϵ����,���������KҲ�ڼ�����������
��һ����ǰ,��������ҹ�_�ˈ�ֱ��,���͏V��W(w��ng)��̽ӑ��늄���܇��δ���l(f��)չ�����ԡ�����
�����ˣ��_�ҁ���,����
�_�±ȁ����Ͽ�,�������̲�ס�ջ�һ�o��
��늄���܇���Ă����f��,������֪�����²�����,��
Ҳ�����������ǰ㣬�����ǹ��ճ�Ĩ��������,��ֱҕ�R�^��������(j��ng)�^������ӑՓ,�������źܶ��˶����ڴ��I����܇�Ć��������@���ҽoδ����܇���R����,�,���
��ǰ�����҂��Ĺ̑B(t��i)�늳��ٴ�ӭ�����gͻ�ƣ�Ŀǰ�҂�늳���Դ���F������M�а�ȫ�yԇ,����������늳ذ�,�������ڳ����I����܇�ϣ������Ă���,���ٴδ����҂�ֱ���g�Ĺ����ϺÆ��
�¹�(ji��)�e�`,���c�ˈ���,�����ͺ�S�o�ˆT���ڃɷ�犃�У���¹�(ji��)���ݣ�Ո���ĵȴ�,��