�@�^(gu��)�˹�ˇ��(f��)�s�Ĺ�̙C(j��),���ù��S(ch��ng)����ʽ����������оƬ��̭h(hu��n)��(ji��)��
�@��Ԓ(hu��)�������˶� (t��ng)����,��
��̙C(j��)��ʲô,��
���I(y��)�ʹڣ�
��ʲô�����Գɞ鹤�I(y��)�ʹ�,��
���@ô�f(shu��)��,��ȫ����](m��i)���κ�һ��(g��)��(gu��)���܉�Ϊ�(d��)���������(l��i)���������ׇ�(gu��)Ҳ����,����̙C(j��)���Ǽ����(l��i)���I(y��)��(sh��)���Ďp��֮��,��
�ͱ����f(shu��)��(gu��)�����˽�֪�����о�տ�ęC(j��)е��ˇ�����켼�g(sh��),���ǹ��J(r��n)�Ĺ��I(y��)��(qi��ng)��(gu��),��
���R�����Y,���W�϶��е�ϵѪ�y(t��ng)���ܪ�(d��)�������܇(ch��)�ć�(gu��)��,�����Ա��Q(ch��ng)֮�鹤�I(y��)���(gu��),���܉����һ��ˮ��(zh��n)��܇(ch��)�ć�(gu��)�Ҳ��ܽй��I(y��)��(qi��ng)��(gu��)����?y��n)���Ъ?d��)��������܇(ch��)����,������ζ����(gu��)��(n��i)�ع��I(y��)ʮ�֏�(qi��ng)��,�����w�C(j��)̹��Ҳ����Ԓ(hu��)�¡�
�ڹ�̙C(j��)������,����(gu��)��ؓ(f��)؟(z��)�˙C(j��)еϵ�y(t��ng)�;�������,�����ҹ�̙C(j��)���RƬ��ͬ���ǁ�(l��i)�Ե�(gu��)������˾�Ĺ�W(xu��)�RƬ,��
߀�з���(gu��),��
���˼�ʿ����������߀������피�(j��)�ļ�����,��
ʲô�Ǽ�����,��
��̙C(j��)�M(j��n)�й�̣���Ҫ���_�ļ�������(l��i)Ͷ��D��,������(gu��)�ļ��⼼�g(sh��)�ڴ_����������(w��n)����,�����Ⱥ�Ч�ʷ��涼�����P(gu��n)�I�Ե����á�
�����@�ɼ�,��߀���ׇ�(gu��)�ṩ�Ĺ�Դ���g(sh��),��
��Դ�Ͳ���Ҫ���f(shu��)�ˣ�193�{�ײ��L(zh��ng)���������,��13.5�{�ײ��L(zh��ng)�ĘO�����,���������ׇ�(gu��)�ṩ�ĸ�����Դ���g(sh��),��
�@Щ��(gu��)�ҵļ��g(sh��)�ڹ�̙C(j��)�I(l��ng)���γ�����Ч���a(b��)����ͬ�Ƅ�(d��ng)�˹�̼��g(sh��)�İl(f��)չ�͑�(y��ng)��,��
��(d��ng)Ȼ��,��
Ҳ���H�H���@����(g��)��(gu��)�ҳ�����
��̙C(j��)���f(w��n)����(g��)���ܲ���,�����ƹ��I(y��)���(gu��)����ȫ�����c������,���@Ҳ�Ǟ�ʲô�f(shu��)����̙C(j��)�����(l��i)���I(y��)�ļ����֮��,��
���ں��mASML��˾,�����䌍(sh��)���ǂ�(g��)���g(sh��)�����̡�
�����ñ����ķ��b���g(sh��),����ȫ�����(gu��)���ṩ��피⼼�g(sh��)�ۺ��M(j��n)���g��С���O(sh��)����,���y��ͬ�ӷdz�֮�ߣ���?y��n)��㲿�����^(gu��)�ھ���,��λ���x��Ҳ��Ҫ����,��
�ɬF(xi��n)��������f(shu��)����̙C(j��)��Ȼ���@�_(k��i)��,��
���������,����,��
�l(f��)����(hu��)�F(xi��n)��(ch��ng)���Ͽ��`�`˽�Z(y��),������˼�h���������Ժ��ѣ�����?c��)�Ҳ�������ˡ?br>
����̹��S(ch��ng)ʲô����,����
����֪��,����ȫ�](m��i) (t��ng)�f(shu��)�^(gu��)���y������90�����ǰ��оƬӡˢ�g(sh��),�����d�Ƽ��Ͼ��b��ƿ,����
�����c(di��n)���_���,���
��Ҫ�������@�_(k��i)��̙C(j��),�����M�����f(shu��)�҂�оƬ�]�h(hu��n)�ˣ���
����ҪҊ(ji��n)�C�vʷ�ˆ�,����
��(l��i)���F(xi��n)��(ch��ng)���Ͽ�,����������ʮ�|���ϵ������I(y��)�ң���(g��)�����B(y��ng)�ͱ���������ǿ������ǵĴ���,��
���S������̹��S(ch��ng)����������,�����������˶��������ˣ���һ����һ�Z(y��),���l(f��)����(hu��)�F(xi��n)��(ch��ng)�@�Áy���,�������M(j��n)���˲��Ј�(ch��ng),��
���Ҳ�](m��i)�������õȣ������b������,��LED��Ļ���F(xi��n)�˹�̹��S(ch��ng)��(n��i)���Č�(sh��)��ҕ�l,��
�Ԅ�(d��ng)ȡƬ��
���P(p��n)�C(j��)������Ņ^(q��)��İ댧(d��o)�w��Ƭ����,��ͨ�^(gu��)��յ�܉��·��(xi��n),������Ƭ�\(y��n)�͵�ָ���^(q��)��
�Ԅ�(d��ng)��ϴ,��
����SC1��ϴҺ��������ϴҺ,��ϴ�������ڰ댧(d��o)�w��Ƭ����Ļ҉m���s�|(zh��)��
�Ԅ�(d��ng)�濾,��
��600�ȵĸߜ،��댧(d��o)�w��Ƭ���暈����ˮ�����l(f��),���_������z���Ծ����w��
�Ԅ�(d��ng)Ϳ�z,��
ͿĨ����(du��)��(y��ng)�Ĺ���z,��
�Ԅ�(d��ng)��̡�
���ѽ�(j��ng)ͿĨ����z�Ĺ�Ƭ,���\(y��n)�͵�ָ����̅^(q��)��,�����_(k��i)�ړ��RƬ�M(j��n)���ع⡣
һϵ�е�ҕ�l��ʾ,���F(xi��n)��(ch��ng)�����˶��ѽ�(j��ng)Ŀ�ɿڴ��������·�(gu��)��,���ײ�˹��С�R��,��
ֱ���g����ը�_(k��i)��偣���(sh��)����ď�Ļ����ˢ��,��
������,�����й�̹��S(ch��ng)��,����
����C9(li��n)�˸�У���I(y��),���F(xi��n)���ڇ�(gu��)��(n��i)ij피��о������������Ԟ����Ļ���(ch��)���ѽ�(j��ng)��피�ˮƽ��,������˾�,����ֻ���f(shu��)��ꐿ�ţ��,�����d�Ƽ��b�b�I(l��ng)��,����
����Щ�r(sh��)����Ҳ���f(shu��)һЩ�}Ԓ(hu��),���u(m��i)Ū�¹Pī,�����κα��˛](m��i)�Ļ�,��һ��ţ�������£�ꐿ�ţ��,�����d�Ƽ�ţ��,����
���@��̹��S(ch��ng)��ȫ�Ԅ�(d��ng)���a(ch��n)��,�����X(ju��)�ѽ�(j��ng)���Ǐ�����܇(ch��)��������,������������ˮ���^(gu��)�����b�b�I(l��ng)����ȫ����,�,����
��ɶҲ���f(shu��)�ˣ��b�b�I(l��ng)��,����
һֱ�ԁ�(l��i),���o(w��)Փ���Ѓ�(n��i)��߀�������ˣ������������˹�̙C(j��),���������a(ch��n)оƬ��˼��,��
�ɽ�����
�����ص״�����,��
��̙C(j��),��
��ʲôҪ�߹�̙C(j��)·��(xi��n)��
�Լ��_(k��i)����·��(xi��n)���Æ�,��
С�R��Ҳ����Ҋ(ji��n)�^(gu��)���L(f��ng)����,����(gu��)��(n��i)�ⶼ����L(f��ng)��ˮ���피���I(y��)�ң��ɿ���ҕ�l��ʾ,����Ҳ���ɵ�զ�������������܇(ch��),�������菽���_(k��i)�����ɡ���
ʮ����(g��)�������_�ƶ���,����Ҳ���͵�������ϵ��@����ţ����,���@�����ƾ�ȻҲ���ˣ������@��ԓ˯�����X(ju��)�˰�,����
�ײ�˹���·�(gu��)�nj�(du��)ҕһ��,�����˶��](m��i)���f(shu��)Ԓ(hu��)�������F(xi��n)�ڃ�(n��i)�����ѽ�(j��ng)�����f(w��n)����,��
���Ԟ��Լ�����Dz���,������ǧ�|��ֵ��˾��
�������](m��i)�뵽,����ǵĵ��ƌӳ����F,�����ǹ�̹��S(ch��ng)�����ѽ�(j��ng)���������mĪ���Ĵ��ڡ�
һֱ�P(gu��n)עֱ�����S�΄��ѽ�(j��ng)�����X(ju��)վ������,������(g��)�˴���ľ�u��ͬ�r(sh��),���뵽������(gu��)������С�f(shu��)��
�����̙C(j��)�ǵ�����ʥ,���ǟo(w��)��(sh��)λǰ݅�_(k��i)�ٳ���(l��i)��·,��
��ô��̹��S(ch��ng)���ஔ(d��ng)��������ʥ����(d��)�������d�Ƽ��ĵ�·,���������x�ϵ��_(k��i)������,��
�����d�Ƽ�����ǡ���
�����d�Ƽ�����ǡ���
�S�΄������Z(y��)��
���ѽ�(j��ng)�Ҳ����~�����@��(g��)�����Լ��@�ҹ�˾,��������(ji��n)ֱ���Ǟ������E����,��
ͬ�����P(gu��n)עֱ����ǰ�����^��С������,���پ�Сɽ���ѽ�(j��ng)���R(sh��)�������(y��n)����,��
��׃���ˡ,���
���댧(d��o)�w�I(l��ng)��Ҫ׃���ˡ���
��ߴ�댧(d��o)�w��Ƭ,��ȫƷ�(l��i)����z����̹��S(ch��ng),�����d�Ƽ���֪���X(ju��)�g�ѽ�(j��ng)�Ѱ댧(d��o)�wоƬ�I(l��ng)���ȫ���y�c(di��n)ȫ����Q,��
������ע���d��ʷ��(c��),��
���H�H�Ǎu��(gu��)���F(tu��n)����λ��(hu��)�L(zh��ng),����u�ľϱ�ï���O(p��ng)����˾��ѝ��,��ǰ��(l��i)����(gu��)����5G�W(w��ng)�j(lu��)��Մ��(hu��)�h��������(gu��)�Ҵ������ѽ�(j��ng)����,���l(shu��)Ҳ�](m��i)�뵽��Dz��@ô���(ji��n)ֱ�ȶ���A��(m��ng)�İٌ���߀�ܲؖ|��,��
���ڴ���˰����Aʢ�D��λ���h��(hu��)ɽ�f���{�С��R����һ�Bʮ��(g��)�������ܡ�,��Ęɫ���H�@��,��Ŀ��߀�W�q���y�����š�
��̙C(j��)���������ĵ���,����ô��(hu��)��ͻ��,��
EDAܛ�����棬����֪������(gu��)�����зe�۵�,��
�F(xi��n)��Ҳ�����f(shu��),��EDAܛ����оƬԭ���Ϲ���(y��ng)朡�оƬ�O(sh��)Ӌ(j��),����̙C(j��)ȫ��������,��
����(gu��)��Č�(sh��)�F(xi��n)��һ������(qi��ng)��
��������������̓�Mҕ�l,����̙C(j��)���ǹ��I(y��)�ʹ�,�����(l��i)���I(y��)�Ďp��֮������ô���ܕ�(hu��)����܇(ch��),���^��(du��)��̓�M��ҕ�l��(n��i)��,����
�{���R������������,��
�e�f(shu��)����,��
�����ߌ�ȫ���������š�
�o(w��)Փ�ǰ���܊����(f��)���w,��߀���A���ֱ������ֵ��_˹�¼���,��������f(shu��)ȫҕ��(hu��)�������Į�(d��ng)���˶����������@�����,��
����(gu��)��I(y��)������оƬȫ�a(ch��n)�I(y��)�,���������������ź������(y��n)�ء�
����
�����ߌӼ��w������,������ƺ������A(y��)��,���������](m��i)����ǰ��İ댧(d��o)�w��Ƭ����z�ǘӣ��Լ���(l��i)����Լ�,���������҈A��(ch��ng)����
������,��ҕ�l�ѽ�(j��ng)�����꣬���ڹ�̹��S(ch��ng)�^(gu��)�����M(j��n),��������չʾ,���ҾͲ��������ļ��g(sh��)�ˣ������F(xi��n)����W(w��ng)�Пo(w��)��(sh��)�p�۾����ڶ���ֱ���g,���e��͵��ȥ,����
Ԓ(hu��)������,��
�F(xi��n)��(ch��ng)�Ͽ��Ż��^(gu��)��,��
��žžž������
������ˮ�����£����w�l(f��)����(hu��)��ÿ��(g��)����,��
Ҳ������������ǰ�,���F(xi��n)����W(w��ng)�Пo(w��)��(sh��)�p�۾��o����ֱ���g�����������ij�(xi��ng)���ļ��g(sh��),�����п��ܕ�(hu��)���������e�(xi��ng)Ŀ�M,�����Թ����ļ��g(sh��)�M(j��n)�й�����ݣ����r(sh��)��͵ò���ʧ�ˡ�
�����^(gu��),�,�����Ǻ�ȻԒ(hu��)�hһ�D(zhu��n)���^�m(x��)�f(shu��)�������mȻ��̹��S(ch��ng)�ĺ������켼�g(sh��)���ܹ���,�������P(gu��n)�ą���(sh��)�ǿ��Թ�����,����
���ٴΰ����b����,��LED��Ļ��(hu��)������ГQ,��
���r(sh��)�g��
ȫ��(ch��ng)�ٴ��@��,��
�����ǰ�,��193�{��������⣬13.5�{�טO�����,��7�{�טO�����,��߀��3�{�ײ��L(zh��ng)�ĘO����⣬�@���J(r��n)��Ć�,����
���y���ɹ�̹��S(ch��ng),��ͬ�r(sh��)�߂��@ô���Դ����
���桤��̹��S(ch��ng),����
���ֲ���ꐿ��Һ�ѝ����ـ�s,��ԭ��(l��i)�������ѽ�(j��ng)������3�{��оƬ��ȫ����l������
���Ҋ(ji��n)�װ�,���@��(g��)����,����
���b�b�I(l��ng)�ȣ���
ȫ��(ch��ng)�Ͽ��ѽ�(j��ng)�](m��i)�����յ�����,�����ڽ��^�Ӷ����hՓ��,����̹��S(ch��ng)��������δ���^(gu��)���@�^(gu��)��̙C(j��)��ȫ��;��,��
���ڵ�һ�ŵ����,���˕r(sh��)�̲�ס��Ц���������ƽ��������ě](m��i)�뵽��ϵܲ����@ô��,�����Ԟ�����(hu��)�������҂���������оƬ���S(ch��ng),���](m��i)�뵽���Լ����˂�(g��)��̹��S(ch��ng)��߀�@�^(gu��)�˹�̙C(j��),����
���ǰ�,�,�������ƽ�̲�ס�п�������������ǰ�Εr(sh��)�g�� (t��ng)�f(shu��)���Ϸ�늾W(w��ng)�ڲ��ཨ�O(sh��)��(y��u)��,���F(xi��n)�ڿ���(l��i)��(y��ng)ԓ�����@��(g��)��̹��S(ch��ng)��,����
����LJ�(gu��)�H������,��Ҳ������(gu��)���ͿƼ�����,��
ȫ�ǔ���Ƿdz���Ҋ(ji��n)�ģ��ɽ��Εr(sh��)�g�ԁ�(l��i),��ͣ��˔�(sh��)��,������ƽ�����}Ҳ���V����������ڽ��O(sh��)һ�(xi��ng)����(j��)����,��������ʲô����,���l(shu��)Ҳ��֪����
�F(xi��n)�ڹ�̹��S(ch��ng)�ع�,����Ҳ֪������(j��)������ʲô��,��
��̙C(j��)��̾���Ҫ����������ѹ�̙C(j��)׃�ɹ�̹��S(ch��ng),���\(y��n)����Ҫ�õ���������ǔ�(sh��)��,����(sh��)ʮ���������ǰٱ�,��
�@Ҳ���Խ�ጞ�ʲô,���Ϸ�늾W(w��ng)Ҫ�M(j��n)�Ѓ�(y��u)�����£����ȫ�Ǖ�(hu��)�l�������,��
����,����
����L(zh��ng)��һ�ښ⣬Ҳ���_(k��i)��,������Ц�������@��Ҳ��,��������粽���ߣ�������,���҂��Ȝ�,����
�����@��(g��)����,�,���
����ƽ�c(di��n)���c(di��n)�^��
��(d��ng)���M����(gu��)�a(ch��n)(li��n)��,����Ǿͳ��Z������һ��Ե���,������(gu��)�Ƽ��~���(gu��)�H�Ј�(ch��ng)��
�F(xi��n)�ڻ��^(gu��)�^ȥ��,����ǽo������(hu��)����ѽ�(j��ng)Ҫһһ���F(xi��n),��
�o(w��)Փ��14N16���20��댧(d��o)�w��Ƭ,��߀��10^25�߿������z��������f(shu��)����ϩ����,����ϩ����,���@Щ�������ڰ댧(d��o)�w��(gu��)�H�Ј�(ch��ng)�ݺ�ҧ��һ�K���⡣
��(hu��)�����,�����µ��Dz�ȥ���F(xi��n),���@Ҳ�Ǻܶ��˞�ʲôӑ���e�ˮ�(hu��)�ԭ��
����
���c��ͬ�r(sh��),��
��һ߅,��
�h��(hu��)ɽ�f���{�С��R������Ҳ픲�ס�����ˣ�ֱ�ӓܴ����ׇ�(gu��)оƬ�о�����ϯ���̎�,��˹�ٷҡ�����ϣ�����Ԓ(hu��),��
����ཡ�����
�Ԓ(hu��)һֱæ����B(t��i)��
�e������(gu��)�r(sh��)�g�����Ͼ��c(di��n)��,��ҹ������_(k��i)ʼ,�����ڴ���˰��ׇ�(gu��)���˕r(sh��)�ֵ^(q��)�������賿�����c(di��n)�ĕr(sh��)�g,��
����賿�����c(di��n)���˴��Ԓ(hu��),���Q����������ӣ�
����ĥ���˰���,���������w��˹�ٷҡ�����ϣ���ű�������Ů��������,�����Ժ����g���������Ԓ(hu��)�� (t��ng)������˹�ٷҡ�����ϣ��,����ʲô��Ո(q��ng)�v,����
������,�,���
�{�С��R����������ǿ̣�˹�ٷҡ�����ϣ����(j��ng)˲�g�o��,�����_(k��i)�M(m��n)�ǼtѪ�z���۾�,������(g��)��Ҳ�Bæ��������(l��i)��
���h�L(zh��ng)����ʲô��,����
�{�С��R����Ҳ��ī�E,��ֱ��ԃ(x��n)��(w��n)�������Л](m��i)���@�^(gu��)��̙C(j��)�����a(ch��n)оƬ�ķ�ʽ,����
��оƬӡˢ,����
˹�ٷҡ�����ϣ�����_����
��ǰ��оƬ����ӡˢ��,�����Ƕ���̭��������,��
�F(xi��n)�ڄ�(d��ng)�m14�{�Ĺ�ˇ�Ƴ�,��ӡˢ�����벻ͨ���r(sh��)���ѽ�(j��ng)׃��,���@�(xi��ng)���g(sh��)Ҳ����̭��
������ӡˢ,�,����{�С��R����ֱ�ӷ��@��(g��)�𰸡�
�@�Ͱ�˹�ٷҡ�����ϣ���y����,�����ù�̙C(j��),����ô�Ѽ����·�D�����ڹ�Ƭ�ϣ�
�y�����@�R���,��
�@��������,��
��˼�˔�(sh��)ʮ�룬˹�ٷҡ�����ϣ����(sh��)���벻����(l��i),���u�˓u�^�ؑ�(y��ng)�������Ҳ�֪��,����
���ѹ�̙C(j��)���ɹ��S(ch��ng),����ě](m��i)���(l��i)�Ƽ��g(sh��),�����{�С��R����߀�����ģ��^�m(x��)ԃ(x��n)��(w��n),��
���ҡ����治֪��,����
˹�ٷҡ�����ϣ������,��
�ѹ�̙C(j��)���ɹ��S(ch��ng),��
߀�ǹ��S(ch��ng)���ɹ�̙C(j��)��
�ֲ���,������ķֲ���,���������㲻����@������P(gu��n)ϵ���F(xi��n)��������(g��)�˶����µ�,��
����������
�{�С��R�����L(zh��ng)��һ�ښ�,��������Щ��(f��)�s��ֱ�Ӓ���Ԓ(hu��)��������֪����,�,���
�F(xi��n)�ڄe�f(shu��)˹�ٷҡ�����ϣ���ֲ��壬��Ҳ�ֲ�������Л](m��i)���ڴ�ţ��,���@�^(gu��)��̙C(j��),������̹��S(ch��ng)��(sh��)����Щ�췽ҹ�T��
��Ī������,�,���˹�ٷҡ�����ϣ��������(l��i)ȥ�Ҵҵ��{�С��R����,������(zh��n)��Ϣ���^�m(x��)��Ϣ����һ��(g��)�Ԓ(hu��)���M(j��n)�����֙C(j��),��
���˵á����_(d��)��܊,����
�����װl(f��)����ʲô����
˹�ٷҡ�����ϣ��������������齛(j��ng)�^(gu��),����(d��ng)����ͨ�Ԓ(hu��),��ͬ�ӵĆ�(w��n)�}�����o����
˹�ٷҡ�����ϣ�����f�ش𣺡�����оƬӡˢ�g(sh��),�����治֪��߀���������k���������a(ch��n)оƬ,����
��֪����,�,���
�˵á����_(d��)��ͬ�Ӓ���Ԓ(hu��)��
����˹�ٷҡ�����ϣ�����ښ�,����ע���_˹�¡����Ԓ(hu��),����һ�δ��M(j��n)�����֙C(j��)��
�����ׇ�(gu��)�댧(d��o)�wоƬ�I(l��ng)���피⌣(zhu��n)��,��˹�ٷҡ�����ϣ�����н^��(du��)��Ԓ(hu��)�Z(y��)��(qu��n),��
������IJ�֪�������˹�̙C(j��)�M(j��n)�й��,��߀��ʲô;������ȥ���a(ch��n)�댧(d��o)�wоƬ,��
���m(x��)�m(x��)���Ԓ(hu��)���M(j��n)��˹�ٷҡ�����ϣ���������,��
��(hu��)�hԺ,������܊����(f��)���w���_˹�¼���,��߀�������ص�ȫҕ��(hu��)�����(l��i)����ԃ(x��n)�Ԓ(hu��),��
Ȼ���@ЩĻ��ߌӲ�֪�����ǣ��������e(cu��)����,��
˹�ٷҡ�����ϣ���ǰ댧(d��o)�wоƬ�I(l��ng)��Č�(zhu��n)��,���ɃH���ڰ댧(d��o)�wоƬ�������������������I(l��ng)��,��
С�����Ӽ������@��(g��)�O(sh��)��,����������(hu��)���F(xi��n)�ڰ댧(d��o)�wоƬ�Č�(sh��)�(y��n)�ң��@���о������������O(sh��)��,��
�F(xi��n)���l(shu��)Ҳ�f(shu��)����(zh��n),����ǿ��еĹ�̹��S(ch��ng)�Dz�����ġ�
��������,�������d�Ƽ��͌�(sh��)�F(xi��n)��оƬȫ�a(ch��n)�I(y��)��]�h(hu��n),����Ҳ���ÿ�����Ęɫ,��
������Ǽٵģ��Ǿ͵üӴ�������,��
��һ߅���_˹���f�@,��һͨͨ�Ԓ(hu��)���ܴ��˳�ȥ��ԭ���R�\��Ӌ(j��)���ٴΌ�(sh��)ʩ,��
��ǔy�������ڿƼ�����(f��)�,��߀���_(k��i)ȫ�W(w��ng)�l(f��)����(hu��)�M(j��n)����������������(du��)���Ƣ����˽�,��5G���پW(w��ng)�j(lu��)��������ݜ��ˣ�ֻ���ٽoȫ������Ј�(ch��ng)��һ�ѻ�,��
����
�������,��
���d�Ƽ����ؿ�����
�ڹ����˹�Դ��(sh��)��(j��),������^�m(x��)���ˉ���,��ʾ�ⰲ�o��ͬ�r(sh��)�^�m(x��)�f(shu��)����������3�{���Ƴ̵ĘO����⣬�Լ��߿����EUV����z,���@Ҳ��ζ���������аl(f��)����,���������@��Ԓ(hu��)ѝ�ˣ�Ҫ����ǰ�J(r��n)ݔ,���ҿ�����ֻݔһ��,����
Ԓ(hu��)������,��
�F(xi��n)��(ch��ng)�D�r(sh��)����,��
ֱ���g���^(gu��n)��Ҳ����ס�ˣ������۳���Ļ,��
��������,��Ͷ��ݔһ�룬ꐿ��Ƕ���ô�����˵�,�,���
��1�K�X(qi��n)ݔһ�룬���M�����f(shu��)ֻҪݔ0.5Ԫ,����Ҫ��ѝ��,����ֱ�Ӿʹ�(y��ng)�@��(g��)�l���ˡ,���
�����Ԟ�ꐿ���ţ��,���](m��i)�뵽�������Ќ�(sh��)���,���
��14N16���20��댧(d��o)�w��Ƭ,��10^25�߿���EUV����z,��߀��3�{�טO������Դ���@Щ�l���B������(l��i),��߀�e�f(shu��),�����d�Ƽ����п������3�{��оƬ�,���
��ѝ��Ҫ˯������,����
ѝ��˯������
�F(xi��n)���������͛](m��i)��˯,��
ֱ���g�^(gu��n)����֪������,���F(xi��n)��ѝ������п��y�f(shu��)����֪����(d��ng)���Ͳ���Ԓ(hu��)�����,��
����r(sh��)�g���Ե������O(p��ng)��8�l(f��)����(hu��),�����^��(du��)����(hu��)��Ո(q��ng)����ܷ֣�������(hu��)��ŭ�@��(g��)����,��
�挦(du��)��Ͷ��ݔһ�롱�����h,�������X(ju��)֪��Ę�a���ۡ�
���Ԟ�3�{��оƬ�ڴ�ţ��,��
�˼������Ќ�(sh��)��,��
Ӣ���_(d��)��(chu��ng)ʼ���S�΄F(xi��n)��Ҳ�ڿ��]Ҫ��Ҫ����I(y��)���x�ׇ�(gu��)���ص�����(gu��)���Ј�(ch��ng),��
3�{��ˇ,��
����@��Ҳ����3�{�ס�
�����������ˡ�
����ȫ��������������(hu��)��䏈,��
������С�r(sh��)�İl(f��)����(hu��),������ѽ�(j��ng)�ɹ�������ȫ���磬�����˶��۽���������,��
�X��܊�^(q��)����������������W�q,���̲�ס��(d��ng)�ݵ�����ԭ��(l��i)�@���������ҽа������ĵך�,���
�����_(k��i)ʼ߀�{��,����ʲô��Ǹҿ��ׇ�(gu��)���ӣ������ׇ�(gu��)���O(sh��)5G���پW(w��ng)�j(lu��),������5G�W(w��ng)�j(lu��)�x���_(k��i)�댧(d��o)�wоƬ,����Ҫ5G����оƬ��(l��i)������̖(h��o)��
�F(xi��n)����������,����Ǹҽа��ׇ�(gu��)�ĵך�,������?y��n)��ѽ?j��ng)�����˰댧(d��o)�wоƬ��ȫ�a(ch��n)�I(y��)朣������Ͳ���Ҫ�ٽo�ׇ�(gu��)���ӡ�
������,��
��Ǹ,���ѽ�(j��ng)�b�b�I(l��ng)���ˣ�
��ͨ�@�c(di��n)�Ժ�,���������̲�ס�{(di��o)٩�������@��(g��)��������һ��һ��,�����X(ju��)�o(w��)�F�o(w��)�M���,���
�ܶ��r(sh��)��,�������X(ju��)�����Ҫ���O�ޣ��Ͳ����|����,��
��ƫƫ��
ÿ�ζ�����������,��
���������_(k��i)ʼ�����W��䡢�_(k��i)�����оƬ,��߀�����İ댧(d��o)�w�a(ch��n)�I(y��)�ȫ�]�h(hu��n),����Ƕ���һ�δ�ˢ�������J(r��n)֪��
����(d��ng)��������һ���Ԟ�,����̹��S(ch��ng)�ѽ�(j��ng)���@��(ch��ng)�l(f��)����(hu��)�ĉ��S����h(yu��n)����ǰl(f��)����(hu��)�F(xi��n)��(ch��ng)������ٴΰ����b����,������ĨЦ�������f(shu��)���˰댧(d��o)�wоƬ�I(l��ng)������P(gu��n)���g(sh��)�аl(f��),���҂����Ąe�ġ,���
������,��߀�а�,��,������
�F(xi��n)��(ch��ng)�ٴ����(d��ng),��
�·�(gu��)�DŽ���ƽ�o��(l��i)�������ٴη���,���̲�ס�����ײ�˹����������Ȼ߀�м��g(sh��)Ҫ��������
���F(xi��n)������µIJ����м��g(sh��)�](m��i)����,�������@�(xi��ng)���g(sh��)���ڹ�̹��S(ch��ng)����,�����п����lj��S�ģ���
�ײ�˹���˿���ĭ,��
��������ʲô,����
С�R��Ҳ�̲�ס�@����
�����ɂ�(g��)С�r(sh��)�ĕr(sh��)�g,�����һ����һ��ˢ�����������J(r��n)֪,���o��������(l��i)�Ƽ���ը�ě_����
�F(xi��n)��������f(shu��)����̹��S(ch��ng)�����lj��S���g(sh��),��
���������Ǻ˾�׃��,��
�o(w��)��(sh��)���ٴ���ס��������Ŀ�������i���_(t��i)�ϵ����,���������KҲ�ڼ�������(d��ng)��,��
��һ��(g��)��ǰ��������ҹ�_(k��i)�ˈ�(ch��ng)ֱ��,���͏V��W(w��ng)��̽ӑ��늄�(d��ng)��܇(ch��)��δ��(l��i)�l(f��)չ�����ԡ�����
������,���_�ҁ�(l��i)�ģ���
�_(t��i)�±ȁ����Ͽ�,�������̲�ס�ջ�һ�o,��
��늄�(d��ng)��܇(ch��)���Ă�(g��)���f(shu��)��������֪�����²�����,��
Ҳ�����������ǰ�,�������ǹ��ճ�Ĩ�������ȣ�ֱҕ�R�^��������(j��ng)�^(gu��)������ӑՓ,�������źܶ��˶����ڴ��I(l��ng)����܇(ch��)�Ć�(w��n)��,�����@���ҽoδ��(l��i)��܇(ch��)���R��(b��o)�¡,���
��ǰ�����҂��Ĺ̑B(t��i)�늳��ٴ�ӭ��(l��i)���g(sh��)ͻ��,��Ŀǰ�҂�늳���Դ��(sh��)�(y��n)�F(tu��n)�(du��)�����M(j��n)�а�ȫ�y(c��)ԇ����������늳ذ�,����(y��ng)���ڳ����I(l��ng)����܇(ch��)��,�������Ă�(g��)�֣��ٴδ����҂�ֱ���g�Ĺ����ϺÆ�,����
�¹�(ji��)�e(cu��)�`,���c(di��n)�ˈ�(b��o)������(b��o)�ͺ�S�o(h��)�ˆT��(hu��)�ڃɷ�犃�(n��i)У���¹�(ji��)��(n��i)��,��Ո(q��ng)���ĵȴ�,��