3納米極紫外光？

檢測(cè)光束設(shè)備給出的數(shù)據(jù)反饋?zhàn)屗腥舜蟪砸惑@,，3納米的極紫外光束,，這豈不是說(shuō)他們即將具備制造3納米芯片的條件？

眾所周知,，在不考慮《多重曝光技術(shù)》的情況下,，想要刻出幾納米級(jí)的芯片，就要先制造出多少納米的紫外光光源,。

193納米的深紫外光還好說(shuō),，大自然里面也能找得到，但13.5納米及以下的極紫外光,，那就必須由人為創(chuàng)造,。

深紫外光和極紫外光，和分別對(duì)應(yīng)了DUV光刻機(jī)和EUV光刻機(jī),，后者現(xiàn)在還處于禁止出口龍國(guó)的設(shè)備清單里面,。

一旦這束光源被證實(shí)，確實(shí)是可以運(yùn)用于光刻的極紫外光,，那么整個(gè)芯片行業(yè)都將被顛覆,。

“真是3納米嗎？”

夏揚(yáng)神色激動(dòng),，向前一步,。

他大學(xué)雖然學(xué)的不是半導(dǎo)體，但這并不代表他不懂芯片制造,。

想要光刻14納米芯片,，就要制造13.5納米波長(zhǎng)的極紫外光，這在各種半導(dǎo)體咨詢媒體鋪天蓋地宣傳下,，早已經(jīng)人盡皆知,。

3納米波長(zhǎng),？

豈不是能刻3納米芯片？

雷兵也忍不住上前一步,，詢問(wèn)道：“這束光能用嗎,？如果能用是不是意味著我們能造3納米芯片了？”

現(xiàn)在主流芯片是14納米,，無(wú)論是龍興科技的SOC上帝芯片,，還是蘋(píng)果公司的A9s仿生芯片，亦或者說(shuō)是髙通公司剛剛推出的驍龍821芯片,，它們都是14納米制程,，根本夠不著3納米的邊邊。

要是真能造3納米芯片,，那可不是小小的科技震撼,，而是向整個(gè)半導(dǎo)體芯片行業(yè)扔了個(gè)蘑菇彈，要顛覆整個(gè)行業(yè)的事情了,。

“不能這樣說(shuō),。”

陳星從震撼中回過(guò)神,，給雷兵與夏揚(yáng)講解道：“具備光源還不夠,，如果真要造3納米芯片，我們還要經(jīng)歷芯片設(shè)計(jì)與研制光刻膠,?！?br>
在半導(dǎo)體領(lǐng)域，可不僅僅光刻機(jī)和紫外光有納米等級(jí),，光刻膠同樣有納米等級(jí)區(qū)分,。

像目前龍興化工研制的1號(hào)光刻膠，它的曝光波長(zhǎng)就在193納米,，最高支持7納米芯片制造,，這還是有多重曝光技術(shù)加持的情況下。

想要制造出3納米芯片,，3納米極紫外光,、3納米芯片電路設(shè)計(jì)、3納米曝光波長(zhǎng)光刻膠缺一不可,，這也是為什么,，芯片納米等級(jí)推進(jìn)緩慢的原因。

每推進(jìn)一步,，都需要各行業(yè)跟進(jìn),，一旦說(shuō)光刻膠不行，那有極紫外光和電路設(shè)計(jì)圖也沒(méi)用。

正因?yàn)榧夹g(shù)門(mén)檻高,，大洋彼岸才能用芯片做文章,。

“總裁說(shuō)得沒(méi)錯(cuò)?！绷痔煲步o予了肯定,，他回頭看向兩位局長(zhǎng)道：“現(xiàn)在說(shuō)3納米芯片還為時(shí)過(guò)早，不過(guò)我們可以先試試這13.5納米波長(zhǎng)的極紫外光,，看看它能不能滿足芯片生產(chǎn)需求,。”

“這句話在理,。”

“確實(shí)是我們操之過(guò)急了,?！?br>
雷兵和夏揚(yáng)點(diǎn)了點(diǎn)頭。

他們屬于是懂一點(diǎn),，但并不知道半導(dǎo)體芯片領(lǐng)域可不僅僅只有極紫外光,，還有N多的細(xì)枝末節(jié)，只有全部攻克才能造出芯片,。

“趁著天沒(méi)亮,，我們盡快測(cè)試光束的可行性吧?！标愋翘嵝岩痪?。

他們現(xiàn)在可是關(guān)了全深城的電力供應(yīng)，哪怕是凌晨4點(diǎn)鐘,，但依然會(huì)對(duì)城市造成影響,。

“我馬上操作?！?br>
林天點(diǎn)了點(diǎn)頭回應(yīng)道,。

剛說(shuō)完，他立馬看向設(shè)備操控臺(tái),，開(kāi)始輸入指令,，時(shí)不時(shí)還跑到一側(cè)去操作。

光刻工廠不同于光刻機(jī),，它更像是一條完整的自動(dòng)化流水線,，只需要裝填半導(dǎo)體硅片以及光刻膠與配套試劑，輸入指令后就可以進(jìn)行自動(dòng)化生產(chǎn),。

林天在檢驗(yàn)了十幾束13.5納米波長(zhǎng)的極紫外光后,，也發(fā)現(xiàn)了單色性最好的一條光束，將它設(shè)定為1號(hào)光刻區(qū)域。

又經(jīng)過(guò)了十分鐘的參數(shù)調(diào)試,，排除外故障情況,，林天輸入了確定工作的指令。

下一秒,。

運(yùn)輸裝置自動(dòng)取片,。

存放在特定區(qū)域的半導(dǎo)體硅片被靜電吸盤(pán)吸起，運(yùn)送到清洗區(qū)域,，洗掉附著在半導(dǎo)體硅片表面的灰塵和雜質(zhì),。

在清洗完成以后，半導(dǎo)體硅片會(huì)通過(guò)特殊運(yùn)輸通道,，運(yùn)往下一個(gè)步驟進(jìn)行烘烤,，待半導(dǎo)體硅片徹底干燥將繼續(xù)運(yùn)往下一個(gè)步驟，涂抹光刻膠,。

自動(dòng)取片,。

自動(dòng)清洗。

自動(dòng)涂膠,。

自動(dòng)光刻,。

這就是光刻工廠，亦或者說(shuō)光刻全自動(dòng)工廠,。

兩塊光掩膜版已經(jīng)重疊,，他們?cè)谔囟?br>
這也是為什么第一期的光刻工廠只有5000平的原因，因?yàn)榻ㄔ焯笠矝](méi)用,，像靜電吸盤(pán)和各類(lèi)自動(dòng)化運(yùn)輸?shù)脑O(shè)備,，都是需要定制化購(gòu)買(mǎi)的，關(guān)鍵有些設(shè)備國(guó)內(nèi)還沒(méi)有,，比如靜電吸盤(pán)設(shè)備,。

第一期相當(dāng)于測(cè)試，等測(cè)試通過(guò)就可以擴(kuò)建二期,、三期甚至是第四期的光刻工廠,。

當(dāng)然了。

前提是可以能光刻成功,。

“我們沒(méi)有單獨(dú)完整的SOC上帝芯片光掩膜版,，只能用兩塊陰陽(yáng)掩膜版堆疊在一塊形成完整圖案，這又會(huì)出現(xiàn)個(gè)問(wèn)題,?！?br>
林天喃喃自語(yǔ)。

像似給陳星幾人解釋?zhuān)窒袼普f(shuō)給自己聽(tīng),。

“那就是兩塊光掩膜版堆疊,，兩塊透明基板會(huì)削弱極紫外光能量，導(dǎo)致光刻失敗?！?br>
“為了解決這個(gè)問(wèn)題,，我加大了粒子加速器的功率，讓電子運(yùn)動(dòng)的速度再次增加,?！?br>
“理論上來(lái)說(shuō)，運(yùn)行功率的加大,，會(huì)同步放大電子運(yùn)動(dòng)的速度,，電子在環(huán)形存儲(chǔ)器的速度越快，輻射出的極紫外光能量就越強(qiáng),，但我并不能確定這個(gè)數(shù)值是不是正確的,，只能說(shuō)理論可行?！?br>
光刻工廠沒(méi)有人測(cè)試過(guò),，誰(shuí)也不知道行不行。

現(xiàn)在又因?yàn)楣庋谀ぐ嫦拗?，林天只能加大功率,，這給測(cè)試又增添了不小的難度,。

“試試就知道了,。”

陳星默默舉起手機(jī)拍攝,。

雖然他們?cè)诓倏厥?，但面前的屏幕有顯示潔凈室的畫(huà)面，根本不需要親自前往,。

林天微微頷首,，沒(méi)有說(shuō)話，他雙眸注視著監(jiān)控畫(huà)面,，神色也顯得格外緊張,。

烘干冷卻，涂滿光刻膠的半導(dǎo)體硅片已經(jīng)被運(yùn)往了光刻區(qū)域,，只剩下最后的光刻步驟,。

隨著透鏡組移動(dòng)到指定位置，13.5納米波長(zhǎng)的極紫外光發(fā)生了折射,，精準(zhǔn)地照射在兩塊圖案互補(bǔ)的光掩膜版上,，而光掩膜版上面的完整圖案被照射后，最終落到待曝光的半導(dǎo)體硅片表面,。

“滋——”

ArF光刻膠遇到光源,，內(nèi)部開(kāi)始發(fā)生化學(xué)反應(yīng)。

而ArF光刻膠又分正膠和反膠，這次曝光用的是正膠,，被曝光區(qū)域的光刻膠會(huì)發(fā)生化學(xué)反應(yīng),，沒(méi)曝光區(qū)域則不受到影響。

一塊區(qū)域被曝光后,，透鏡組立馬移動(dòng),，側(cè)開(kāi)照射光源，待移動(dòng)平臺(tái)調(diào)整后繼續(xù)移回正位,，對(duì)下一個(gè)區(qū)域進(jìn)行光刻曝光,。

12寸半導(dǎo)體硅片，大概能產(chǎn)出232塊1.6×1.6的成品裸片,，也就是說(shuō)需要曝光232次,。

目前來(lái)說(shuō)，曝光一次的速度大概在1秒,，這就需要232秒,，也就是差不多4分鐘才能把一張半導(dǎo)體硅片全部曝光完成。

雖然這個(gè)速度相比較于光刻機(jī)慢了差不多一倍,，可光刻工廠畢竟是國(guó)產(chǎn)自研,，而且是第一代產(chǎn)物，后續(xù)透鏡組和移動(dòng)平臺(tái)還能繼續(xù)優(yōu)化,，追趕上光刻機(jī)的光刻速度不是不可能的,。

在等待了四分鐘后，林天看向陳星等人解釋道：“考慮到兩塊光掩膜版的能量消耗,，我們先不急著拿去顯影,，讓半導(dǎo)體硅片再次加熱，加劇光刻膠的化學(xué)反應(yīng),?！?br>
陳星、雷兵,、夏揚(yáng)微微頷首,，都在等待著結(jié)果。

現(xiàn)在這里陳星算半個(gè)門(mén)外漢,，雷兵,、夏揚(yáng)則是都是門(mén)外漢，只能聽(tīng)林天安排,。

他別說(shuō)拿去烤了,，哪怕是燒，他們也會(huì)覺(jué)得很合理,。

隨著林天輸入指令,，本該送去顯影的半導(dǎo)體硅片被傳送去了烘烤區(qū)域,，進(jìn)行二次加熱，加劇ArF光刻膠內(nèi)部的化學(xué)反應(yīng),。

當(dāng)這步完成以后,，半導(dǎo)體硅片再次被運(yùn)輸，它來(lái)到了顯影區(qū)域,。

先用去離子水潤(rùn)濕硅片,，緊接著把硅片放在顯影平臺(tái)，上方的機(jī)器設(shè)備噴出顯影液,，均勻地撒在半導(dǎo)體硅片表面,，進(jìn)一步溶解被曝光的部分區(qū)域。

隨著這個(gè)步驟完成,，半導(dǎo)體硅片表面已經(jīng)清晰可見(jiàn)電路圖案,，只差最后的沖洗，將未曝光部分黏著的光刻膠全部清洗掉,。

“我好像看見(jiàn)圖案了,。”

雷兵瞪大雙眼,，不敢錯(cuò)過(guò)任何一絲的細(xì)節(jié),。

“我也看見(jiàn)了?！毕膿P(yáng)附和道,。

剛才半導(dǎo)體硅片清洗拿出時(shí)，可以清晰看見(jiàn)硅片表面密密麻麻的電路圖案,。

“有電路圖案是好事,，但還需要經(jīng)過(guò)電路測(cè)試才能知道芯片能不能正常運(yùn)行,?！?br>
陳星講解道。

經(jīng)過(guò)了開(kāi)天芯片,、輕舟芯片,、SOC上帝芯片多次耳濡目染，他已經(jīng)算半個(gè)行內(nèi)人了,。

曝光,、蝕刻、顯影,、清洗他都略懂一二,，當(dāng)然了，只是略懂,，還停留在理論知識(shí)層面,。

不過(guò)縱使是這樣,，雷兵還是忍不住豎起拇指稱(chēng)贊道：“想不到陳總不僅在商業(yè)領(lǐng)域有所建樹(shù)，原來(lái)在芯片領(lǐng)域也有自己獨(dú)到的見(jiàn)解,?！?br>
“確實(shí)想不到?！?br>
夏揚(yáng)也附和一聲,。

本以為陳星什么也不懂，沒(méi)想到人家出口成章,，這讓他們都感到了一絲意外,。

聽(tīng)著兩人稱(chēng)贊，陳星也幾位謙虛道：“不算是見(jiàn)解,，只是耳濡目染多了記下的知識(shí)點(diǎn),。”

“能記下也是個(gè)本事,?！?br>
雷兵笑道。

夏揚(yáng)也點(diǎn)了點(diǎn)頭,，附和道：“沒(méi)錯(cuò),，記憶力不好的想記也記不住，陳總能記住這些流程,，足以見(jiàn)得龍興科技深耕芯片的赤子之心,。”

在兩人一唱一和拍陳星馬屁的同時(shí),，全自動(dòng)化的生產(chǎn)線已經(jīng)把顯影后的半導(dǎo)體硅片送去切片,，進(jìn)行最終電路測(cè)試。

林天看著“檢測(cè)中”的提示,，看向陳星說(shuō)道：“如果可以通過(guò),，二期光刻工廠就可以開(kāi)工了，不過(guò)能源還是個(gè)問(wèn)題…”

他目光看向夏揚(yáng),。

后者立馬會(huì)意,，連忙說(shuō)道：“陳總、林首席你們放心好了,，只要證實(shí)光刻工廠可行,，天一亮我就回去召開(kāi)市級(jí)會(huì)議，主題就是建設(shè)你們的能源輸送通道,?！?br>
“沒(méi)錯(cuò)?！?br>
雷兵附和一句,，繼續(xù)說(shuō)道：“別的地方不敢保證,，但在深城，夏局還是可以說(shuō)上兩句話的,?！?br>
“包在我身上?！?br>
夏揚(yáng)拍了拍胸口,。

他們都是混體制的，當(dāng)然明白國(guó)家目前的主推方向,。

要是能協(xié)助龍興科技完成光刻工廠的建設(shè),，那他們所有人說(shuō)不定都可以往上走兩步。

體制內(nèi),，誰(shuí)不想進(jìn)步,？

有進(jìn)步的機(jī)會(huì)，他們可不會(huì)放過(guò),，更何況是涉及“芯片”的,。

“我先謝謝兩位的好意，不過(guò)…”陳星猶豫了一會(huì),，還是決定說(shuō)出宋衛(wèi)國(guó)承諾的“東電南調(diào)”計(jì)劃道：

“就如果說(shuō)光刻工廠證實(shí)可以產(chǎn)出芯片,，我希望深城電力局多建設(shè)拋狗嶺地區(qū)的電力傳輸系統(tǒng)，保障電力輸送,，至于電力的話,，奉天軍區(qū)的宋首長(zhǎng)說(shuō)過(guò)，近期會(huì)有個(gè)東電南調(diào)文件下達(dá),?！?br>
雷兵：“？,？,？”

夏揚(yáng)：“！??！”

這句話說(shuō)出那刻,，雷兵滿腦子都是問(wèn)號(hào),。

奉天軍區(qū)？

這不是隸屬于北部戰(zhàn)區(qū)的嗎,？

你陳星不和南部戰(zhàn)區(qū)打交道,，跑去北部戰(zhàn)區(qū)了？

身旁的夏揚(yáng)則是驚訝到懵逼,，東電南調(diào)文件,，這不是剛剛下達(dá)的全國(guó)性絕密文件嗎,？

難不成…

它是專(zhuān)門(mén)支撐光刻工廠的？,？

想通了,！

夏揚(yáng)終于想通了！

他就說(shuō)怎么這么奇怪,，明明東部地區(qū)用的是國(guó)家電網(wǎng),，而深城用的是南方電網(wǎng)，怎么會(huì)突然輸送電力過(guò)來(lái),，深城也不缺電啊,。

原來(lái)是專(zhuān)門(mén)支持龍興科技建設(shè)光刻工廠的，這也就是說(shuō),，上邊其實(shí)已經(jīng)是知道的了,。

“咕嚕——”

夏揚(yáng)咽了口唾沫,。

他看向陳星的目光,，已經(jīng)帶了幾分敬畏，這個(gè)不到三十的青年掌握的能量超乎了他的想象,。

如果可以的話,，他真想在陳星耳畔輕聲說(shuō)一句：“陳總，我夏揚(yáng)太想進(jìn)步了,?！?br>
就在雷兵和夏揚(yáng)內(nèi)心掀起驚濤駭浪，震驚到大腦空白時(shí),，林天突然打斷了他們道：“裸片電路的檢測(cè)結(jié)果出來(lái)了,。”

陳星：“?。,。　?br>
雷兵：“?。,。　?br>
夏揚(yáng)：“?。,。　?br>
三人立馬側(cè)目,，順著林天目光注視的方向看去,，上面赫然寫(xiě)著“電路未檢測(cè)出異常”八個(gè)大字,，最左側(cè)的屏幕,，還有SOC上帝芯片的全部數(shù)據(jù)參數(shù),，包括納米等級(jí)，微架構(gòu)與運(yùn)行功率,。

在一一進(jìn)行比對(duì)后,，林天神色激動(dòng)地看向陳星等人宣布道：“成功了！光刻工廠實(shí)現(xiàn)了,！”

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