3納米極紫外光？

檢測光束設(shè)備給出的數(shù)據(jù)反饋讓所有人大吃一驚，3納米的極紫外光束，這豈不是說他們即將具備制造3納米芯片的條件？

眾所周知，在不考慮《多重曝光技術(shù)》的情況下，想要刻出幾納米級的芯片，就要先制造出多少納米的紫外光光源。

193納米的深紫外光還好說，大自然里面也能找得到，但13.5納米及以下的極紫外光，那就必須由人為創(chuàng)造。

深紫外光和極紫外光，和分別對應(yīng)了DUV光刻機和EUV光刻機，后者現(xiàn)在還處于禁止出口龍國的設(shè)備清單里面。

一旦這束光源被證實，確實是可以運用于光刻的極紫外光，那么整個芯片行業(yè)都將被顛覆。

“真是3納米嗎？”

夏揚神色激動，向前一步。

他大學(xué)雖然學(xué)的不是半導(dǎo)體，但這并不代表他不懂芯片制造。

想要光刻14納米芯片，就要制造13.5納米波長的極紫外光，這在各種半導(dǎo)體咨詢媒體鋪天蓋地宣傳下，早已經(jīng)人盡皆知。

3納米波長？

豈不是能刻3納米芯片？

雷兵也忍不住上前一步，詢問道：“這束光能用嗎？如果能用是不是意味著我們能造3納米芯片了？”

現(xiàn)在主流芯片是14納米，無論是龍興科技的SOC上帝芯片，還是蘋果公司的A9s仿生芯片，亦或者說是髙通公司剛剛推出的驍龍821芯片，它們都是14納米制程，根本夠不著3納米的邊邊。

要是真能造3納米芯片，那可不是小小的科技震撼，而是向整個半導(dǎo)體芯片行業(yè)扔了個蘑菇彈，要顛覆整個行業(yè)的事情了。

“不能這樣說。”

陳星從震撼中回過神，給雷兵與夏揚講解道：“具備光源還不夠，如果真要造3納米芯片，我們還要經(jīng)歷芯片設(shè)計與研制光刻膠。”

在半導(dǎo)體領(lǐng)域，可不僅僅光刻機和紫外光有納米等級，光刻膠同樣有納米等級區(qū)分。

像目前龍興化工研制的1號光刻膠，它的曝光波長就在193納米，最高支持7納米芯片制造，這還是有多重曝光技術(shù)加持的情況下。

想要制造出3納米芯片，3納米極紫外光、3納米芯片電路設(shè)計、3納米曝光波長光刻膠缺一不可，這也是為什么，芯片納米等級推進緩慢的原因。

每推進一步，都需要各行業(yè)跟進，一旦說光刻膠不行，那有極紫外光和電路設(shè)計圖也沒用。

正因為技術(shù)門檻高，大洋彼岸才能用芯片做文章。

“總裁說得沒錯。”林天也給予了肯定，他回頭看向兩位局長道：“現(xiàn)在說3納米芯片還為時過早，不過我們可以先試試這13.5納米波長的極紫外光，看看它能不能滿足芯片生產(chǎn)需求。”

“這句話在理。”

“確實是我們操之過急了。”

雷兵和夏揚點了點頭。

他們屬于是懂一點，但并不知道半導(dǎo)體芯片領(lǐng)域可不僅僅只有極紫外光，還有N多的細枝末節(jié)，只有全部攻克才能造出芯片。

“趁著天沒亮，我們盡快測試光束的可行性吧。”陳星提醒一句。

他們現(xiàn)在可是關(guān)了全深城的電力供應(yīng)，哪怕是凌晨4點鐘，但依然會對城市造成影響。

“我馬上操作。”

林天點了點頭回應(yīng)道。

剛說完，他立馬看向設(shè)備操控臺，開始輸入指令，時不時還跑到一側(cè)去操作。

光刻工廠不同于光刻機，它更像是一條完整的自動化流水線，只需要裝填半導(dǎo)體硅片以及光刻膠與配套試劑，輸入指令后就可以進行自動化生產(chǎn)。

林天在檢驗了十幾束13.5納米波長的極紫外光后，也發(fā)現(xiàn)了單色性最好的一條光束，將它設(shè)定為1號光刻區(qū)域。

又經(jīng)過了十分鐘的參數(shù)調(diào)試，排除外故障情況，林天輸入了確定工作的指令。

下一秒。

運輸裝置自動取片。

存放在特定區(qū)域的半導(dǎo)體硅片被靜電吸盤吸起，運送到清洗區(qū)域，洗掉附著在半導(dǎo)體硅片表面的灰塵和雜質(zhì)。

在清洗完成以后，半導(dǎo)體硅片會通過特殊運輸通道，運往下一個步驟進行烘烤，待半導(dǎo)體硅片徹底干燥將繼續(xù)運往下一個步驟，涂抹光刻膠。

自動取片。

自動清洗。

自動涂膠。

自動光刻。

這就是光刻工廠，亦或者說光刻全自動工廠。

兩塊光掩膜版已經(jīng)重疊，他們在特定

這也是為什么第一期的光刻工廠只有5000平的原因，因為建造太大也沒用，像靜電吸盤和各類自動化運輸?shù)脑O(shè)備，都是需要定制化購買的，關(guān)鍵有些設(shè)備國內(nèi)還沒有，比如靜電吸盤設(shè)備。

第一期相當于測試，等測試通過就可以擴建二期、三期甚至是第四期的光刻工廠。

當然了。

前提是可以能光刻成功。

“我們沒有單獨完整的SOC上帝芯片光掩膜版，只能用兩塊陰陽掩膜版堆疊在一塊形成完整圖案，這又會出現(xiàn)個問題。”

林天喃喃自語。

像似給陳星幾人解釋，又像似說給自己聽。

“那就是兩塊光掩膜版堆疊，兩塊透明基板會削弱極紫外光能量，導(dǎo)致光刻失敗。”

“為了解決這個問題，我加大了粒子加速器的功率，讓電子運動的速度再次增加。”

“理論上來說，運行功率的加大，會同步放大電子運動的速度，電子在環(huán)形存儲器的速度越快，輻射出的極紫外光能量就越強，但我并不能確定這個數(shù)值是不是正確的，只能說理論可行。”

光刻工廠沒有人測試過，誰也不知道行不行。

現(xiàn)在又因為光掩膜版限制，林天只能加大功率，這給測試又增添了不小的難度。

“試試就知道了。”

陳星默默舉起手機拍攝。

雖然他們在操控室，但面前的屏幕有顯示潔凈室的畫面，根本不需要親自前往。

林天微微頷首，沒有說話，他雙眸注視著監(jiān)控畫面，神色也顯得格外緊張。

烘干冷卻，涂滿光刻膠的半導(dǎo)體硅片已經(jīng)被運往了光刻區(qū)域，只剩下最后的光刻步驟。

隨著透鏡組移動到指定位置，13.5納米波長的極紫外光發(fā)生了折射，精準地照射在兩塊圖案互補的光掩膜版上，而光掩膜版上面的完整圖案被照射后，最終落到待曝光的半導(dǎo)體硅片表面。

“滋——”

ArF光刻膠遇到光源，內(nèi)部開始發(fā)生化學(xué)反應(yīng)。

而ArF光刻膠又分正膠和反膠，這次曝光用的是正膠，被曝光區(qū)域的光刻膠會發(fā)生化學(xué)反應(yīng)，沒曝光區(qū)域則不受到影響。

一塊區(qū)域被曝光后，透鏡組立馬移動，側(cè)開照射光源，待移動平臺調(diào)整后繼續(xù)移回正位，對下一個區(qū)域進行光刻曝光。

12寸半導(dǎo)體硅片，大概能產(chǎn)出232塊1.6×1.6的成品裸片，也就是說需要曝光232次。

目前來說，曝光一次的速度大概在1秒，這就需要232秒，也就是差不多4分鐘才能把一張半導(dǎo)體硅片全部曝光完成。

雖然這個速度相比較于光刻機慢了差不多一倍，可光刻工廠畢竟是國產(chǎn)自研，而且是第一代產(chǎn)物，后續(xù)透鏡組和移動平臺還能繼續(xù)優(yōu)化，追趕上光刻機的光刻速度不是不可能的。

在等待了四分鐘后，林天看向陳星等人解釋道：“考慮到兩塊光掩膜版的能量消耗，我們先不急著拿去顯影，讓半導(dǎo)體硅片再次加熱，加劇光刻膠的化學(xué)反應(yīng)。”

陳星、雷兵、夏揚微微頷首，都在等待著結(jié)果。

現(xiàn)在這里陳星算半個門外漢，雷兵、夏揚則是都是門外漢，只能聽林天安排。

他別說拿去烤了，哪怕是燒，他們也會覺得很合理。

隨著林天輸入指令，本該送去顯影的半導(dǎo)體硅片被傳送去了烘烤區(qū)域，進行二次加熱，加劇ArF光刻膠內(nèi)部的化學(xué)反應(yīng)。

當這步完成以后，半導(dǎo)體硅片再次被運輸，它來到了顯影區(qū)域。

先用去離子水潤濕硅片，緊接著把硅片放在顯影平臺，上方的機器設(shè)備噴出顯影液，均勻地撒在半導(dǎo)體硅片表面，進一步溶解被曝光的部分區(qū)域。

隨著這個步驟完成，半導(dǎo)體硅片表面已經(jīng)清晰可見電路圖案，只差最后的沖洗，將未曝光部分黏著的光刻膠全部清洗掉。

“我好像看見圖案了。”

雷兵瞪大雙眼，不敢錯過任何一絲的細節(jié)。

“我也看見了。”夏揚附和道。

剛才半導(dǎo)體硅片清洗拿出時，可以清晰看見硅片表面密密麻麻的電路圖案。

“有電路圖案是好事，但還需要經(jīng)過電路測試才能知道芯片能不能正常運行。”

陳星講解道。

經(jīng)過了開天芯片、輕舟芯片、SOC上帝芯片多次耳濡目染，他已經(jīng)算半個行內(nèi)人了。

曝光、蝕刻、顯影、清洗他都略懂一二，當然了，只是略懂，還停留在理論知識層面。

不過縱使是這樣，雷兵還是忍不住豎起拇指稱贊道：“想不到陳總不僅在商業(yè)領(lǐng)域有所建樹，原來在芯片領(lǐng)域也有自己獨到的見解。”

“確實想不到。”

夏揚也附和一聲。

本以為陳星什么也不懂，沒想到人家出口成章，這讓他們都感到了一絲意外。

聽著兩人稱贊，陳星也幾位謙虛道：“不算是見解，只是耳濡目染多了記下的知識點。”

“能記下也是個本事。”

雷兵笑道。

夏揚也點了點頭，附和道：“沒錯，記憶力不好的想記也記不住，陳總能記住這些流程，足以見得龍興科技深耕芯片的赤子之心。”

在兩人一唱一和拍陳星馬屁的同時，全自動化的生產(chǎn)線已經(jīng)把顯影后的半導(dǎo)體硅片送去切片，進行最終電路測試。

林天看著“檢測中”的提示，看向陳星說道：“如果可以通過，二期光刻工廠就可以開工了，不過能源還是個問題…”

他目光看向夏揚。

后者立馬會意，連忙說道：“陳總、林首席你們放心好了，只要證實光刻工廠可行，天一亮我就回去召開市級會議，主題就是建設(shè)你們的能源輸送通道。”

“沒錯。”

雷兵附和一句，繼續(xù)說道：“別的地方不敢保證，但在深城，夏局還是可以說上兩句話的。”

“包在我身上。”

夏揚拍了拍胸口。

他們都是混體制的，當然明白國家目前的主推方向。

要是能協(xié)助龍興科技完成光刻工廠的建設(shè)，那他們所有人說不定都可以往上走兩步。

體制內(nèi)，誰不想進步？

有進步的機會，他們可不會放過，更何況是涉及“芯片”的。

“我先謝謝兩位的好意，不過…”陳星猶豫了一會，還是決定說出宋衛(wèi)國承諾的“東電南調(diào)”計劃道：

“就如果說光刻工廠證實可以產(chǎn)出芯片，我希望深城電力局多建設(shè)拋狗嶺地區(qū)的電力傳輸系統(tǒng)，保障電力輸送，至于電力的話，奉天軍區(qū)的宋首長說過，近期會有個東電南調(diào)文件下達。”

雷兵：“？？？”

夏揚：“！！！”

這句話說出那刻，雷兵滿腦子都是問號。

奉天軍區(qū)？

這不是隸屬于北部戰(zhàn)區(qū)的嗎？

你陳星不和南部戰(zhàn)區(qū)打交道，跑去北部戰(zhàn)區(qū)了？

身旁的夏揚則是驚訝到懵逼，東電南調(diào)文件，這不是剛剛下達的全國性絕密文件嗎？

難不成…

它是專門支撐光刻工廠的？？

想通了！

夏揚終于想通了！

他就說怎么這么奇怪，明明東部地區(qū)用的是國家電網(wǎng)，而深城用的是南方電網(wǎng)，怎么會突然輸送電力過來，深城也不缺電啊。

原來是專門支持龍興科技建設(shè)光刻工廠的，這也就是說，上邊其實已經(jīng)是知道的了。

“咕嚕——”

夏揚咽了口唾沫。

他看向陳星的目光，已經(jīng)帶了幾分敬畏，這個不到三十的青年掌握的能量超乎了他的想象。

如果可以的話，他真想在陳星耳畔輕聲說一句：“陳總，我夏揚太想進步了。”

就在雷兵和夏揚內(nèi)心掀起驚濤駭浪，震驚到大腦空白時，林天突然打斷了他們道：“裸片電路的檢測結(jié)果出來了。”

陳星：“！！！”

雷兵：“！！！”

夏揚：“！！！”

三人立馬側(cè)目，順著林天目光注視的方向看去，上面赫然寫著“電路未檢測出異常”八個大字，最左側(cè)的屏幕，還有SOC上帝芯片的全部數(shù)據(jù)參數(shù)，包括納米等級，微架構(gòu)與運行功率。

在一一進行比對后，林天神色激動地看向陳星等人宣布道：“成功了！光刻工廠實現(xiàn)了！”

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