�ڸ������Ď��I�£���о���H���T��Ҳ��һ����ˢ�_,�������˓Q�…^(q��)��,��

���M���̙C���څ^(q��)��,���DZ��Ҫ���Q�o�m���ġ�

Խ�Ǿ��ܵęC��,��Խ��Ҫ�߶ȝ����ĭh(hu��n)��,������֪����̙C�]��ô����,�����������ļ��g�l��������ـ����,��

���һ����̙C���F(xi��n)���},����S�޶��Ҳ����ˣ�ֻ������ԭ�S���ɹ��̎��^��,�����ߌ���̙C�Ļ�ȥ,���oՓ�ķN��ʽ�S�ޣ��M�ö����_��(sh��)ǧ�f,��

�����m��,���Ž^�����L�U���б�Ҫ��

�������c��λ��о���H�߹�,���Լ����,�����̡��������˶���������,��ȫ�����������Ժ�,��̤�M�˹�̙C�^(q��)��

��Ո�S�ҁ�,�,���

��������ǰ�控·��

�����˴��^��ʮ����������,���T��ϵ�y(t��ng)�Ԅ��R�e,�������������x�T���_��

�B�m(x��)���^��(sh��)���T��,�����Ҳ�K��Ҋ���˹�̙C,��

�c�W(w��ng)�j�ϵĿsС�DƬ��ͬ���挍�^�еĹ�̙C,����ֱ������һ�vС�Ϳ��\܇�v,��

�L���߼s�����ס�����,������,�����w���^��һ���޴�İ�ɫ���b�䣬����t���b�Ё���ȫ����������M�������a(ch��n),�����ɺ��mASML��˾�M�b��ʮ�f���������㲿��,��

������Ҳ��ǰһ�����鱊���v��������@��28�{���Ƴ̵�DUV��̙C,����ʹ�õ���193�{�ײ��L���������Դ,������һ���Ԍ�28�{�ס�34�{�ס�48�{�׼����ϼ{���Ƴ̵�оƬ�ع����,����Ŀǰ�҂���о���H���a(ch��n)�������C��,����

�������Ҫ���a(ch��n)20�{��оƬ,�����@�_28�{���Ƴ̵Ĺ�̙C�����c�ֱ��ʾͲ�������,����Ҫ�õ������M��20�{���Ƴ̹�̙C�,���

����λՈ�^�m(x��)���ҁ��,���

���������ν�B��28�{���Ƴ̵Ĺ�̙C,���^�m(x��)��ǰ��·����ǵȱ����ָ������˶�ʮ������,��ͨ�^��һ���T��,��

���M�뵽��һ�_��̙C�^(q��)�����Ҳ���ɵ��@�@,���@�_��̙Cռ����e�ʹ���,��

�߶ȿ���Ҫ�����ף����ȿ���߀������,�����L����������,�������_���˰��ף�

���������w�e,���@�_��̙C�Ĝp��ƽ�_�c䓽Y���⚤,���϶�������ȫ�������ġ�

�����������@�_�޴��̙C�r,��������¶��һĨ�Ժ�,��������������

���@�_�������҂�����ӆُ�ĺ��mASML��˾,��20�{���Ƴ�DUV��̙C,�����_�ۃr2.2�|��������,����о���HҲ��ʽ������20�{�׼�оƬ������I(y��)����,����

20�{��оƬ����,���@�ѽ�(j��ng)�㏊�o������ǰ����,��

����܌��F(xi��n)�������a(ch��n)��������������28�{��оƬ,�����SҪ������20�{�׼���,��

��о���H��һС�����s������оƬ�l(f��)չ��һ�󲽡�

 „��̙C�r��,����Dz��ɵ������@�@,��2.2�|�Iһ�_��̙C����ˇ���g߀��Ҫ�Լ�����,��оƬ�ИI(y��)��Ȼ������ͨ��I(y��)�������,��

�����@ô���̵��\�Эh(hu��n)������Ͷ���σ|Ԫ�Y��ȥ����,�������й�̙CҲ�]����,��

��̙C�ɲ��������C��������̫���F��,���κ�һ�c�ɔ_���п���׌��̙C��Դ�ܵ�Ӱ�,���Ķ�Ӱ���K���a(ch��n)��

���̄t��ץס���c,�����↖�����������f��о���H������20�{��,����ô14�{��оƬ�أ���

�������@������

���������L����y,��

���F(xi��n)�ں����fһ��,���ゃ���ĕr��Ҳ�]�fҪ��14�{��оƬ��,��

�@�r��,��վ�ڸ��������Ե���о���H���̎��_���ˡ�

�����@�ӵ�����,���҂�ُ����@�_��DUV��̙C,�����Ĺ�Դ��193�{�ײ��L��������⣬������EUV��̙C,���l(f��)�䲻��13.5�{�ײ��L�ĘO�����,��������14�{��оƬ�����S���~��߀��Щ���x,�,���

���첻������

��������,���S���ɻ������������,���T����ϴ��f�ゃ�ѽ�(j��ng)��14�{�������ճ��ˡ,���

�T���,����о���H����ϯ���̎���ͬ�r��Ҳ������Ժ��Ժʿ,��

����������������

�ư���,��

����֪�������ڴ�ţ��,��

һ���Ҵ���һ���ҡ�

��,��

һȺԺʿ��������Ű,����,�,��

��λ��о���H�Ĺ��̎�Ҳ�����^������������֪����,����ʲô�T�����ϯ�Bҹ�f���w�����,����ȥ�۶�������

��˼�㴵��ţ��,���Լ�������,��

�������̓�λ���̎��܌��Σ��F(xi��n)�ڲ�֪����ô�����,���؄e߀���挦�����̡�

��ǰ�������ü�^,����������о���H֧֧���������,���ƺ��[�s�µ���ʲô��

���� ����Ԓ�����˼,���]��13.5�{�ײ��L�ĘO�����EUV��̙C,���Ǿ��첻��14�{��оƬ���@���y��������,��

һ�Ե�������ɫ�F��,�������ѽ�(j��ng)���R���T����ϰٱ飬�ֲ������Bҹ�l(f��)����Ȧ�f���w�����,��Ҫȥ�۶��B(y��ng)�B(y��ng)���w,����˼���む��С���ڴ�ţ��,��

��������,��

߀��һȺԺʿ���o�_�ˣ�

���̬F(xi��n)����Щ�²����_,���@������̫������,��

�����˼����x�_�e늴������Y�������@�ׂ��ϼһ������Ʊ,��׌����x����о���H,���Y����Ȼ�B���m�Ĺ�̙C�O�䶼�]�У�

�G�M��,��

�]ĘҊ����,��

������Ę�F���ͬ�r,��Ę�a߀��Щ�l(f��)�C�������׌���xһ��,������׌���o�ց���,��

��a�ǁG����Ę�����ǁG�����̵�Ę��

��Ҳ�����f,����о���HĿǰֻ�ܴ���20�{��оƬ�dž�,����

��Ǵ��ƌ��Κ�ա�

�mȻ���M��һ����r�g,�����o���^,��ȫ���oԺʿ�������ˣ������]������,���p��14�{��̎����оƬ�]�@ô���OӋ����,��

��о���H���е�Ԓ���Ǿ��������Ĵ����S,��

��߀��߀��һ�c�c���x����

һλ���̎���ΡΡ�ش�,��

20�{�׵�14�{�ף�����f�Dz���һ�c�c���x��,��

���΢΢�@Ϣ,���]��13.5�{�ײ��L�ĘO�����EUV��̙C�������мtɫƷ�|(zh��)����˲�,����ӋҲ�𲻵�������,��

׌���ִꣿ

���������ܴ��_EUV��̙C������,��

 �����˵Ľ�Մ��Ԓ,�����������������˳�Ĭ�����]�뵽�������O����A�@ô��,����Ȼ�B�_EUV��̙C���]��,�������Ƶ�̫���˰ɣ�

����,����

��LJ@Ϣһ•,�����]�m�Y���������c���������ˈA������

�������҂�������оƬ��I(y��)߀��Ҫ�ӰфŰ�,�����^�@��Ҳ�]�ׁ�,�����Խ����x���^����̙C��Ҳ����ҕ���c�����IJ��,�������Ԋ^��ֱ׷,����

�_�A���,�������c��������Ȼ��현ݶ���,��

Ȼ��߀���������_��,������s�Z���J���������f���������������Ҫ��20�{���Ƴ̵�DUV��̙Cͨ�^�����ع⼼�g,�����ǿ��������14�{�׼�оƬ��,������Ҫ������(sh��)������Ƭ�M�á,���

�¹�(ji��)�e�`,���c�ˈ��������ͺ�S�o�ˆT���ڃɷ�犃�(n��i)У���¹�(ji��)��(n��i)��,��Ո���ĵȴ�,��