�ڸ������Ď��I(l��ng)�£���о��(gu��)�H���T��Ҳ��һ����ˢ�_(k��i)����(l��i)���˓Q� ^(q��)��
���M(j��n)���̙C(j��)���څ^(q��)���DZ��Ҫ���Q�o(w��)�m���ġ�
Խ�Ǿ��ܵęC(j��)����Խ��Ҫ�߶ȝ����ĭh(hu��n)��������֪����̙C(j��)�](m��i)��ô��������������(gu��)�ļ��g(sh��)�l��������ـ����
��?y��n)�һ����̙C(j��)���F(xi��n)��(w��n)�}����S���Ҳ����ˣ�ֻ������ԭ�S���ɹ��̎��^(gu��)��(l��i)�����ߌ���̙C(j��)�Ļ�ȥ���o(w��)Փ�ķN��ʽ�S�ޣ��M(f��i)�ö����_(d��)��(sh��)ǧ�f(w��n)��
�����m�����Ž^�����L(f��ng)�U(xi��n)���б�Ҫ��
�������c��λ��о��(gu��)�H�߹ܣ��Լ���ǡ����̡��������˶�����������ȫ�����������Ժ�̤�M(j��n)�˹�̙C(j��)�^(q��)��
��Ո(q��ng)�S�ҁ�(l��i)����
��������ǰ�控·��
��(d��ng)���˴��^(gu��)��ʮ���������ȣ��T��ϵ�y(t��ng)�Ԅ�(d��ng)�R(sh��)�e�������������x�T���_(k��i)��
�B�m(x��)���^(gu��)��(sh��)���T�������Ҳ�K��Ҋ(ji��n)���˹�̙C(j��)��
�c�W(w��ng)�j(lu��)�ϵĿsС�DƬ��ͬ���挍(sh��)�^�еĹ�̙C(j��)����(ji��n)ֱ������һ�vС�Ϳ��\(y��n)܇�v��
�L(zh��ng)���s�����ס����ס����ף����w���^��һ��(g��)��İ�ɫ���b�䣬����t���b�Ё�(l��i)��ȫ�������(g��)���M(j��n)��(gu��)�����a(ch��n)�����ɺ��mASML��˾�M�b��ʮ�f(w��n)����(g��)�����㲿����
������Ҳ��ǰһ�����鱊���v��������@��28�{���Ƴ̵�DUV��̙C(j��)����ʹ�õ���193�{�ײ��L(zh��ng)���������Դ������һ���Ԍ�28�{�ס�34�{�ס�48�{�����ϼ{���Ƴ̵�оƬ�ع����(l��i)����Ŀǰ�҂���о��(gu��)�H���a(ch��n)�������C(j��)������
�������Ҫ���a(ch��n)20�{��оƬ�����@�_(t��i)28�{���Ƴ̵Ĺ�̙C(j��)�����c�ֱ��ʾͲ������ˣ���Ҫ�õ������M(j��n)��20�{���Ƴ̹�̙C(j��)����
����λՈ(q��ng)�^�m(x��)���ҁ�(l��i)����
��������(ji��n)�ν�B��28�{���Ƴ̵Ĺ�̙C(j��)���^�m(x��)��ǰ��·����ǵȱ����ָ������˶�ʮ�����ң�ͨ�^(gu��)��һ���T����
��(d��ng)�M(j��n)�뵽��һ�_(t��i)��̙C(j��)�^(q��)�����Ҳ���ɵ��@�@���@�_(t��i)��̙C(j��)ռ����e�ʹ��ˡ�
�߶ȿ���Ҫ�����ף����ȿ���߀�����ף����L(zh��ng)���������ף������_(d��)���˰��ף�
���������w�e���@�_(t��i)��̙C(j��)�Ĝp��ƽ�_(t��i)�c䓽Y(ji��)��(g��u)�⚤���϶�������ȫ������(j��)�ġ�
�����������@�_(t��i)���̙C(j��)�r(sh��)��������¶��һĨ�Ժ���������������
���@�_(t��i)�������҂�����ӆُ(g��u)�ĺ��mASML��˾��20�{���Ƴ�DUV��̙C(j��)�����_(t��i)�ۃr(ji��)2.2�|������������о��(gu��)�HҲ��ʽ������20�{��(j��)оƬ������I(y��)���С���
20�{��оƬ�������@�ѽ�(j��ng)�㏊(qi��ng)�o������ǰ���ˡ�
����܌�(sh��)�F(xi��n)�������a(ch��n)��������(gu��)������28�{��оƬ�����SҪ������20�{��(j��)�ˡ�
��о��(gu��)�H��һС�����s������(gu��)оƬ�l(f��)չ��һ��
(t��ng)��̙C(j��)�r(ji��)����Dz��ɵ������@�@��2.2�|�Iһ�_(t��i)��̙C(j��)����ˇ���g(sh��)߀��Ҫ�Լ�������оƬ�ИI(y��)��Ȼ������ͨ��I(y��)������ġ�
�����@ô���̵��\(y��n)�Эh(hu��n)������Ͷ���σ|Ԫ�Y��ȥ���죬�����й�̙C(j��)Ҳ�](m��i)���á�
��̙C(j��)�ɲ��������C(j��)��������̫���F�ˣ��κ�һ�c(di��n)�ɔ_���п�����̙C(j��)��Դ�ܵ�Ӱ푣��Ķ�Ӱ���K���a(ch��n)��
���̄t��ץס���c(di��n)�����↖(w��n)�����������f(shu��)��о��(gu��)�H������20�{�ף���ô14�{��оƬ�أ���
�������@��(g��)����
���������L(f��ng)����y��
���F(xi��n)�ں����f(shu��)һ�䣬�ゃ��(l��i)�ĕr(sh��)��Ҳ�](m��i)�f(shu��)Ҫ��14�{��оƬ����
�@�r(sh��)��վ�ڸ��������Ե���о��(gu��)�H���̎��_(k��i)���ˡ�
�����@�ӵ����ϣ��҂�ُ(g��u)����@�_(t��i)��DUV��̙C(j��)�����Ĺ�Դ��193�{�ײ��L(zh��ng)��������⣬������EUV��̙C(j��)���l(f��)�䲻��13.5�{�ײ��L(zh��ng)�ĘO����⣬������14�{��оƬ�����S���~��߀��Щ���x����
���첻������
�������㶣��S���ɻ����������(du��)�����T����ϴ��f(shu��)�ゃ�ѽ�(j��ng)��14�{�������ճ��ˡ���
�T��㑣���о��(gu��)�H����ϯ���̎���ͬ�r(sh��)��Ҳ������Ժ��Ժʿ��
����������������
�ư��ˣ�
����֪�������ڴ�ţ�ƣ�
һ��(g��)�Ҵ���һ��(g��)�ҡ�
����
һȺԺʿ��������Ű�������
��λ��о��(gu��)�H�Ĺ��̎�Ҳ����(y��ng)�^(gu��)��(l��i)����������֪���ˣ���ʲô�T�����ϯ�Bҹ�f(shu��)���w���������ȥ�۶�������
��˼�㴵��ţ�ƣ��Լ������ˣ�
�������̓�λ���̎��܌��Σ��F(xi��n)�ڲ�֪����ô����ˣ��e߀���挦(du��)�����̡�
��ǰ�������ü�^����������о��(gu��)�H֧֧��������ˣ��ƺ��[�s�µ���ʲô��
���� (t��ng)����?c��)������˼���](m��i)��13.5�{�ײ��L(zh��ng)�ĘO�����EUV��̙C(j��)���Ǿ��첻��14�{��оƬ���@���y�������ˣ�
һ�Ե�������ɫ�F�࣬�����ѽ�(j��ng)���R���T����ϰٱ飬�ֲ������Bҹ�l(f��)����Ȧ�f(shu��)���w�������Ҫȥ�۶��B(y��ng)�B(y��ng)���w����˼���む(g��)��С���ڴ�ţ�ƣ�
�������ˣ�
߀��һȺԺʿ���o�_�ˣ�
���̬F(xi��n)����Щ�²���(l��i)�_(t��i)���@��(sh��)����̫�����ˡ�
����(l��i)�˼����x�_(t��i)�e늴������Y(ji��)�������@�ׂ�(g��)�ϼһ������Ʊ������x����о��(gu��)�H���Y(ji��)����Ȼ�B���m�Ĺ�̙C(j��)�O(sh��)�䶼�](m��i)�У�
�G�MĘ�ˣ�
�](m��i)ĘҊ(ji��n)���ˣ�
������Ę�F���ͬ�r(sh��)��Ę�a߀��Щ�l(f��)�C����������xһ�Σ��������o(j��)�ց�(l��i)�ˡ�
��a�ǁG����Ę�����ǁG�����̵�Ę��
��Ҳ�����f(shu��)����о��(gu��)�HĿǰֻ�ܴ���20�{��оƬ�dž��
��Ǵ��ƌ��Κ�ա�
�mȻ���M(f��i)��һ����r(sh��)�g�����o(w��)���^��ȫ��(d��ng)�oԺʿ�������ˣ������](m��i)���������p��14�{��̎����оƬ�](m��i)�@ô���O(sh��)Ӌ(j��)����(l��i)��
��о��(gu��)�H���е�Ԓ���Ǿ��������Ĵ����S��
��߀��߀��һ�c(di��n)�c(di��n)���x����
һλ���̎���ΡΡ�ش�
20�{��14�{�ף�����f(shu��)�Dz���һ�c(di��n)�c(di��n)���x�ɣ�
����@Ϣ���](m��i)��13.5�{�ײ��L(zh��ng)�ĘO�����EUV��̙C(j��)�������мtɫƷ�|(zh��)����˲ţ���Ӌ(j��)Ҳ�������ˡ�
���ִꣿ
���������ܴ��_(t��i)EUV��̙C(j��)����(l��i)�ɣ�
(t��ng)�����˵Ľ�Մ��(du��)Ԓ����������(g��)�������˳�Ĭ�����](m��i)�뵽����(gu��)���O(sh��)����A(ch��)�@ô���Ȼ�B�_(t��i)EUV��̙C(j��)���](m��i)�У������Ƶ�̫���˰ɣ�
��������
��LJ@Ϣһ�����](m��i)�m�Y(ji��)���������c���������ˈA��(ch��ng)����
������(l��i)�҂�����(gu��)��оƬ��I(y��)߀��Ҫ�ӰфŰ������^(gu��)�@��Ҳ�](m��i)�ׁ�(l��i)�����Խ����x���^����̙C(j��)��Ҳ����ҕ���c�����IJ�࣬������?sh��)^��ֱ����
�_(t��i)�A��ã������c��������Ȼ��현�(sh��)���¡�
Ȼ��߀���������_(k��i)�ڣ�����s�Z(y��)���J(r��n)���������f(shu��)���������������Ҫ��20�{���Ƴ̵�DUV��̙C(j��)ͨ�^(gu��)�����ع⼼�g(sh��)�����ǿ��������14�{��(j��)оƬ�ģ�����Ҫ������(sh��)������Ƭ�M(f��i)�á���
�¹�(ji��)�e(cu��)�`���c(di��n)�ˈ�(b��o)������(b��o)�ͺ�S�o(h��)�ˆT��(hu��)�ڃɷ�犃�(n��i)У���¹�(ji��)��(n��i)�ݣ�Ո(q��ng)���ĵȴ���