�������ع⼼�g(sh��)����

վ�ڸ������҂�(c��)�Ĺ��̎�¶��Ĩ���⣬�������������о��(gu��)�H��̈F(tu��n)�(du��)�ĸ���ϯ��

������ �f�^����ӛ���������� �^�ˡ�

���]�e(cu��)����

�����c(di��n)���c(di��n)�^���Z���(ji��n)��������DUV��̙C(j��)�ǿ�������14�{��оƬ�ģ����ĘO���h(yu��n)��ֹ�ڴˣ������B(t��i)���ܵ�7�{�ס���

������������������

���������������

���̣�����������

DUV��̙C(j��)�O�޾�Ȼ��7�{�ף�

�����_ʲô��Ц��

���Ҳ���@���ˣ��������ʹ��һ�_(t��i)20�{���Ƴ̵�DUV��̙C(j��)���7�{��оƬ����������(hu��)����(hu��)��(du��)�˴�����R��

�e�������ϣ��ׇ�(gu��)߀�]�ˆ�(ch��ng)���i���g(sh��)����������䌍(sh��)�����ُ(g��u)��̙C(j��)�ˡ�

���������ܺ�(ji��n)�Σ������u������(gu��)��̙C(j��)���������u�o�������M(j��n)�Ĺ�̙C(j��)��

�������ǰ��28�{��߀�������M(j��n)ˮƽ�ĕr(sh��)��28�{���Ƴ̵�DUV��̙C(j��)�Ͳ����u�o����(gu��)���l���u�����Ǻ��ׇ�(gu��)����(du��)��

���m�҆᣿

�@Ȼ�Dz��ҵģ�����Ҳ�]���@��(g��)���¡�

���mASML��˾�f���ˣ������ǂ�(g��)��̙C(j��)�M�b���S���]���ׇ�(gu��)�Ĺ�Դ���g(sh��)����ɶҲ���ǡ�

�����˽��죬����������14�{��оƬ���ѽ�(j��ng)��Ŀ�⿴����7�{��оƬ����Ȼ��Ȼ�ģ�20�{��DUV��̙C(j��)�ͱ����_�ˡ�

�ׇ�(gu��)Ŀ�ĺ����@�����S���ã��������S�㳬Խ��

Խ�Ǻ��£�Խ��(hu��)�������?y��n)����?gu��)��Ó�x��(zh��n)��(zh��ng)������ʮ�꣬�Ͱl(f��)չ��������ڶ���(j��ng)��(j��)�w���ٽo�l(f��)չ��ʮ���(hu��)��ô�ӣ�

��˯���۪{���|���ľ����������ĸҲ�����

����mȻ�����ˣ���ͬ�r(sh��)Ҳ��λ����(gu��)���ˣ���������ԼҸ��14�{��оƬ������߀��Ը���֧��һЩ��Ƭ�M(f��i)�õġ�

��������Ҳ�f�ˣ�֮ǰ���d�Ƽ���˾��Ո(q��ng)�ć�(gu��)��оƬ����Ҳ���ꌏ�����̣��Y������ض��M(j��n)������K������(zh��n)�h(hu��n)��(ji��)��

���f�fʹ���@��(g��)�����ع⼼�g(sh��)����ƬҪ�����X����

��DZ����Լ��B(t��i)�ȡ�

����õ��_�еĴ���(f��)�����f�Լ����뷨����

����̶����ع⼼�g(sh��)���fͨ��ֱ��һ�c(di��n)���ǣ�ԭ��ֻ��һ�K��оƬ��Ĥ��Ϳ��Ը㶨�����a(ch��n)���F(xi��n)���҂���?y��n)��̙C(j��)���Ⱥͷֱ��ʵ����ƣ�������ֶ��K��ÿһ�K��������(du��)��(y��ng)���·�D������

�������҂�Ҫ��14�{��оƬ�����԰��O(sh��)Ӌ(j��)��оƬ�·�D�����_���͵õ��˃ɷ�28�{���g�����·�D�����փɴΰ��������ڹ�Ƭ�ϣ��͕�(hu��)�γ�������14�{��оƬ�·�D������������҂�����(gu��)��̫�O�D��һ�һ�(y��ng)���a(b��)����˼����

����?y��n)��ǃɉKоƬ��Ĥ�棬����Ҫ�o�p������Ƭ�M(f��i)�á���

��Ǵ��� �����ˣ��@��(g��)�����ع⼼�g(sh��)������Ҫӡˢһ��(g��)AB��ĸ�ĽM�ψD����

��һ���Ȱ�AB���_���õ�A�cB�ɂ�(g��)�D����Ȼ�������քe��������Ĥ�棬�o�����õ�һ�KA��ĸ����Ĥ���ڹ�Ƭ�Ͽ���A������B��ĸ����Ĥ���ڹ�Ƭ�Ͽ���B����K�õ�����Ҫ��AB�M�ψD����

�˂�(g��)�ָ������ǣ����Ȳ��򣬹���휐��

��Ҫ���ɱ�����Ƭ�M(f��i)�ã��߿���14�{�׵ġ�����

��DŽ��놖����Ƭ�M(f��i)���٣��s�l(f��)�F(xi��n)����������(g��)��ֹ��ס���ͫ��΢�s��ͬ�r(sh��)����M�˻�Ȼ�����c����(d��ng)֮ɫ��

�����Եă�λ��̹��̎���Ҳ���૵��Z��

�������ع⡭��

����Ȼ�δξ��Ȳ��򣬞�β��փɴ��ع��أ���

������ŵ��뷨����

�����ƺ��M(j��n)�����D���B(t��i)���������������Ǹ��@����ģ�ͬ�r(sh��)Ҳ�ǹ���I(l��ng)��Ľ��ڣ�����Ȼ����(hu��) �����������fʲô���F(xi��n)�����X��ֻ��һ��Ԓ���������ع⼼�g(sh��)��DUV��̙C(j��)�Ĵ���K��Ҫ���ˆ᣿��

һ�һ�(y��ng)�ĈD�����a(b��)����Փ���ǽ^��(du��)���Եģ�����߀��һ�֞��ģ��mȻ�������(f��)�s��߀�e�f��7�{��оƬ�����죡

����Ҳ���@�@�@��(g��)�뷨������ô�fҲ�ǰ댧(d��o)�w�I(l��ng)��Ժʿ���mȻ���ǹ�̷���ģ������E���ɶ���һ������ġ�

�@�@�����뷨��ͬ�r(sh��)��Ҳ�ڸп�����\(y��n)����ô�@ô�ã����ԽY(ji��)�R(sh��)���@ô����š�

�����t�����ܡ������@���ˣ����������ù�̥�����ˣ�����ǿ���ͬ�r(sh��)�������Y(ji��)�����������������£��ֲ��������f���\(y��n)��Ҳ�nj�(sh��)����һ���֡�

��֪�^ȥ��ã�����������ʮ������ҡ�

����������

�������L(zh��ng)��һ�ښ⣬����������f���������a(ch��n)��(y��ng)оƬ��Ĥ�棬�]��(zh��n)����ͻ�ƹ�̙C(j��)���ƣ����14�{��оƬ����

�����X�ÿ���һԇ����

��һλ��о��(gu��)�H�Ĺ��̎�Ҳ�_�ڽo��϶���

����������˼�S�ǣ����ж��ټ{�׾��ȵĹ�̙C(j��)����������ټ{�׵�оƬ���@Ҳ�LJ�(gu��)�Hһֱ��ݔ?sh��)Ŀ̰����׌������˼�S�̻���

��(d��ng)������������ع⼼�g(sh��)�������ԭ��������˲�g������픣������˿̰�Ĺ̻�˼�S���Ķ��l(f��)�F(xi��n)���´�ꑡ�

������Ҳ���������ˣ��pϥ��Ȼ������

���^�����ۼ��ֿ죬һ�ь�����ס���̲�ס�²۵��������ǣ�������ﰡ����

���ژI(y��)֮���������y������ò�R(sh��)�ˣ������y��(d��ng)����

�������H��ʮ����(g��)�֣��ͽ������������

�����ع⼼�g(sh��)ԭ������(ji��n)ֱ��������о��(gu��)�HҪǰ�M(j��n)�ķ��򣬾���ͬ�������r(sh��)��Ҋ�ğ�����ͬ�r(sh��)��Ҳ����������ʲô֮ǰҪ�����ȥ�u(p��ng)��һ��(g��)���أ�

��Q�����R���룬�ܽ^��(sh��)�W(xu��)�Ơ��Ī�(ji��ng)�����@ȫ��������נ���߀�ǂ�(g��)����߅���ġ����˝h���أ�

߀������(gu��)��һЩ���ߵ�ɮ��������ͬ�Ӳ���߅������ô���������ô�������n���v�n�r(sh��)��߀�����ܮ�(d��ng)�������Ⱦơ�

�����R(sh��)���Լ������e(cu��)�`�󣬸�����Ҳ�Ǹ��ڳГ�(d��n)��

�����ԃ�λ���̎�Ҳ�պ��J��ư������x������ژI(y��)֮���������һ��һ��(g��)��ס��

����������2015���ˣ��̈́e���@Щ���Ŀd��(ji��)�ˣ������v�c(di��n)��(sh��)�H�ģ���Ƭ�M(f��i)���ܲ��ܴ�(g��)�ۡ���

����ǽo���������_(t��i)�A�����˾S�o(h��)��ղ������ġ�

���ǰ�����

����Ҳ����һ•���{(di��o)٩�������m�f�Ѓ�ϥ�����S�𣬵��ゃ�Ʉe���Á����W(xu��)�M(f��i)����

����(sh��)�Hһ�c(di��n)����Ƭ�o������(g��)�ۣ��ͮ�(d��ng)�� �˶����ع⼼�g(sh��)ԭ���ČW(xu��)�M(f��i)����

�����

�������]���t�ɣ����R���Z�������@��14�{��оƬ����Ƭ�M(f��i)�ã�����о��(gu��)�Hȫ���ˣ���

�¹�(ji��)�e(cu��)�`���c(di��n)�ˈ�(b��o)������(b��o)�ͺ�S�o(h��)�ˆT��(hu��)�ڃɷ�犃�(n��i)У���¹�(ji��)��(n��i)�ݣ�Ո(q��ng)���ĵȴ���