�ڒ���Ԓ���������ѽ�(j��ng)˯��ȫ�o���_ʼ��ʰ�Լ����������(zh��n)�䷵����ǡ�
���������ܸ㵽���Ӽ���������ô���Ϳ��ԇLԇʹ�ôżs��������Փ�����еġ���̹��S����(f��)�̳�����
���^��
�뽨��̹��S���ɲ��H�Hֻ��Ҫ���Ӽ�������
��(d��ng)�����f��ʮ��(g��)�|���䌍(sh��)�H����ͨС�����Ӽ������ăr(ji��)�������Ҫ�I����á������M(j��n)�����Ӽ�������������ʿLHC���Ӽ����������Y�����Ҫ�ϰك|����
Ҫ֪�������mASML��˾�M�b��20�{���Ƴ̵�DUV��̙C(j��)���������u�r(ji��)��Ҳ�̓Ƀ|�������ҡ�
���̹��S�����ϰك|�����ڸ��N���_���ԡ�
�I��̙C(j��)����ʮ�׃|�����Է�(w��n)�����a(ch��n)оƬ��
����һ��(du��)�Ⱦ�֪������ʲô��ǰ�]���뵽�@��(g��)�����ˡ�
���̏S���H�F��߀�]�Ѕ�����(j��ng)�(y��n)���ஔ(d��ng)������ʯ�^�^�ӣ����в����͕�(hu��)������ǣ�Ͷ����Y��ȫ����ˮƯ��
���Ҹ㶨���Ӽ�����ֻ�ǵ�һ�����ڶ���߀��Ҫ��(w��n)�������������ܹ���(y��ng)���Á��S�����Ӽ��������\(y��n)�D(zhu��n)������������⣬߀Ҫ���]���ӿv�M��ɢ����Դ��(w��n)���ԡ��żs���ɿ��ԵȆ��}��
���������������������I(y��)ُ�IEUV�O������̙C(j��)����Ӌ(j��)��̹��S�ĸ������h(yu��n)Ҳ����(hu��)���������
����
��һ߅��
���d�Ƽ���˾������
���ĬĬӛ������Ҫ���O(sh��)������k����ǢՄ�^(q��)�����������z���O(sh��)���f�˳�����
�·���ü�^һ�������� Ҋ�������л�ϙC(j��)�����ӷ�ɢ�O(sh��)�䡢����(y��ng)�����ǿ̣��Ͳµ��������Ҫ��ʲô��
�ײ�˹����ֱ�ף�ֱ��ԃ���������������л�ϙC(j��)�ͷ��ӷ�ɢ�O(sh��)�䣬�y��ꐿ���Ҫ���˹���z����
����z��Ȼ�����^���ጣ�����оƬ���a(ch��n)����Ҫ��һ�h(hu��n)���O(sh��)�䡢�䷽���˲Ŷ���ȫ������i����оƬ���Ϸ��i���(y��n)��һ�h(hu��n)��
����f�댧(d��o)�w��Ƭ�����Ƶȼ�(j��)��20��(j��)����ô����z�����Ƶȼ�(j��)����100��(j��)��
�����@��Ď�λ�Ͽ���������˾�����mȻ���漰оƬ�I(l��ng)��������l֪������͵͵�����˶����I(l��ng)��a(ch��n)�I(y��)��
�r�ң�
�֙C(j��)�I(l��ng)��Ͱ�����оƬ��
����܉��оƬ���a(ch��n)�����LJ���(n��i)�S�̲���ӭ�����졣
��ҪоƬ���a(ch��n)�����댧(d��o)�w��Ƭ����z�@�ɂ�(g��)����Ҫ�����a(ch��n)�������������ܲ�ȥ�˽⡣
��ꐿ����䷽���
�_�Ƹ���ֱ�ס�
�� Ҋ����f������z���a(ch��n)�O(sh��)��r(sh��)��˲�g(li��n)�뵽���d�Ƽ�Ҳ�в��֣����ܬF(xi��n)�ھ�ȱ�O(sh��)�䡣
��λ�Ͽ��ɻ�ؿ�����ǣ���������֪���𰸡�
Ȼ����
��ǵ���һЦ���h����������Ժʿ���]�ˎ�λ����(du��)��(y��ng)�I(l��ng)��Č��ҽo�ң�Ŀǰ��Ԓ����θ㵽�O(sh��)����һ���y�}����
���²��Q��˦����̡�
�����@�N�pԺԺʿ���J(r��n)�R(sh��)�ׂ�(g��)����z�I(l��ng)���˲źܺ����ɣ�
����z�I(l��ng)���˲ţ�֪�����w�䷽�ܺ����ɣ�
�r���·��ǡ��ײ�˹����������ȥ���C��
�S����ǰ�����̵���̖(h��o)����λ�Ͽ�Ҳ�D�к����ˣ������ǿ���������피��Ժʿ���}��
Ժʿ���u�����˵�Ԓ��
�l߀���ԣ�
�·��dz�Ĭ�˰��Σ��S���_�ڵ�������������ϵĎ������]��(zh��n)����Ը�������@Щ�O(sh��)���һ��^�o�㆖�������^�r(sh��)�g����Ҫ��һ�c(di��n)����
���a(ch��n)����z���O(sh��)��һ�㶼���M(j��n)�ڣ����M(j��n)�ڵ��O(sh��)�䣬�A(y��)�����ڱ������L(zh��ng)���ټ��϶���������ƣ��lҲ��֪������ʲô�r(sh��)����Ը㵽��
���Ǿ��韩���Ͽ��ˡ���
���Ҳ����������о���H�Ͽ�������Ҳ�f�ˣ�������߅߀�й���z��؛��
Ŀǰ��(d��ng)��(w��)֮����߀�������12��댧(d��o)�w��Ƭ�����a(ch��n)��
����Ҳ������O(sh��)�䡣��
�ײ�˹Ҳ����һ��¶��Ĩ����Ц�ݵ������ҿ����ܲ����ڹ�����o��㣬��߅�����ƛ]��ô��
����ƽ������������
�_�ƣ�����������
���������������
�ڈ�(ch��ng)���ˣ��Bͬ��Ǻ��·��Ƕ��@�ˣ�������܇߀���@���棿
�e�˶��ڼ��g(sh��)�Ϗ�����܇�����ײ�˹�ڷ�ʽ�Ϗ�����܇��
���^��һ�fһ��
�댧(d��o)�w���P(gu��n)�I(l��ng)���O(sh��)��ďS���Dz����u�O(sh��)��
����
�������u���������u��
�oՓ�ǹ���z��߀�ǰ댧(d��o)�w��Ƭ���a(ch��n)���O(sh��)�䣬�ֶ���������u���c����
������������վ���������Č�(du��)���棬ֻ�� �İ��ţ��ԹԵؽo������I(y��)�O(sh��)�ޡ�
�F(xi��n)�چ��}���ˣ��������������I(y��)ُ�I�أ�
������������I(y��)���P(gu��n)�ҹ������I(y��)ʲô�£�
�������I(y��)�o���o�I��
Ҳ����?y��n)��뵽���@��(g��)��������܇���Ŀ��ܣ��ײ�˹�ŕ�(hu��)���������������������֙C(j��)�Ј�(ch��ng)��
�X�������ߣ��������ڹ�����w�����������Ҹむ(g��)���օf(xi��)�h�������������I(y��)ُ�I�O(sh��)�䣬�@�������X����ȥ�˰ɣ�
�������P(gu��n)�I���ǣ��������߅�mȻ�������Y�������s�������O(sh��)�����������������(n��i)�����͛]��оƬ�����@��(g��)���
���üһ�ײ�˹���Ƕ�������܇�ģ������`��׃ͨ������
�_��ֱ���ײ�˹�������Z�⎧������Թ���������f���@�㲻�����ֵ܂�һ�𡰏�����܇����
��߀�e�f����
�·��� ������ǰһ�����������������Ԅe����I(y��)��̖(h��o)ȥ�I����͵͵�\(y��n)�؇���(n��i)�����S���ܽ�Qȱ�O(sh��)��Ć��}����
�����^���Ҫһ�ڿڳԣ�·Ҫһ�����ߡ�
�F(xi��n)�������İ댧(d��o)�w�ИI(y��)������ȱ�O(sh��)�䣬��ȱ�˲š�
��������Ƚ�Q�O(sh��)�䆖�}���˲ŷ���߀�ǿ����������B(y��ng)�ġ�
��ǿ����ײ�˹�������Ĩ���壬�@�N��������܇���ķ������������������������������ҵ���I(y��)�Ͽ�������
�����˹���z�O(sh��)�䣬�댧(d��o)�w��Ƭ��ô��Q����
����ƽԃ����
оƬ���a(ch��n)�ɲ�ֹ����z���댧(d��o)�w��ƬҲ������֮�ء�
Ԓ���䣬�����������f�������댧(d��o)�w��Ƭ���棬���輯�F(tu��n)��߅��(y��ng)ԓ���Ը㶨�ɣ�12��ě]�У�6���8���10NƷ�|(zh��)�댧(d��o)�w��Ƭ����߀���еġ���
���������еġ���
��Ȼ���ǁ���Q���}�ģ����Ҳ�]���[�m���ќ��輯�F(tu��n)��Մ������Ҳ��(du��)�����á�
�����^����ʹ��6���8��İ댧(d��o)�w��Ƭ��оƬ���a(ch��n)�ɱ���(hu��)������ӣ��ҵ���Ը��Ӄr(ji��)�I�����ғ�(d��n)�ĵ��ǣ�������(hu��)����(hu��)�O(ji��n)ҕ���輯�F(tu��n)��ӆ�ι���(y��ng)����
���F(xi��n)�ڜ��輯�F(tu��n)����о���H�����ڰ��ӣ��]�б�ץ���ѱ������䌍(sh��)�Dz����B�������ġ���
�������뵽�����飬�����������벻����
���輯�F(tu��n)���Ԯa(ch��n)6�硢8��댧(d��o)�w��Ƭ������Ҳ����ʲô���ܣ����������ܲ�ע�⡣
����6���8��댧(d��o)�w��Ƭ�͛]ʲô�Ј�(ch��ng)����ͻȻ���������a(ch��n)���Ǿ��f��һ��(g��)���}���_��(sh��)����о���H�������p��оƬ��
��������
�_�Ƈ@�˿ښ⣬¶��Ĩ�yɫ�������Ǿ����f���҂�����Ҫ��Q����z���⣬߀Ҫȥ��Q�댧(d��o)�w��Ƭ�Ć��}����
����(y��ng)ԓ���ˡ���
�ײ�˹Ҳ¶��Ĩ�yɫ��
�����@�r(sh��)���·���վ�˳����������댧(d��o)�w��Ƭ�I(l��ng)�����䌍(sh��)��Ͷ�Y����I(y��)����
����������
�ײ�˹����һ�@��
�üһ
���涼���u�֙C(j��)�������ﶼ��͵͵��������оƬ�ИI(y��)�ǰɣ�
���^�@Ҳ���ܹ��������l���{ͨ��˾��ؓ(f��)�ˣ����������ϲ�g�q�r(ji��)��Ū��һ�������֙C(j��)��I(y��)�Ͽ�������أ�
��оƬ������DZ��Ƶġ�
���䌍(sh��)�ɡ�����
Ҋ��Ҷ��f�_�ˣ�����ƽҲ�����[�m�ˣ�̹Ȼ�������҂��{(l��n)�G�S�@߅Ҳ�а댧(d��o)�w��Ƭ���֣��ѽ�(j��ng)���Ԫ�(d��)�����a(ch��n)6���Ƭ����
�����@߅Ҳһ�ӡ���
�·���¶��Ĩ�����f����
���ǬF(xi��n)�ھ��ǣ��댧(d��o)�w��Ƭ���}��Q�ˣ����_�ƿ����ˣ����]�뵽�Լ�ͬ���@ô����
һ��(g��)���������������I�O(sh��)�䡣
�ɂ�(g��)Ͷ�Y�댧(d��o)�w��Ƭ�a(ch��n)�I(y��)���ѽ�(j��ng)��(sh��)�F(xi��n)��6���Ƭ���a(ch��n)��
����߀�ڸ�ֱ������
�֙C(j��)�S���c�S��֮�g�����δ��Ҳ̫���˰ɡ�
Ȼ��߀�]�꣬�{(l��n)�G�S��һλ(li��n)�τ�(chu��ng)ʼ�������Ҋ���f�_�ˣ����������[�m�ˣ�ͬ��̹�Ե��������@߅���_(t��i)�ƽ���DUV��̙C(j��)�����^��48�{���Ƴ̵ġ���
�·��ǣ���������
�ײ�˹����������
����ƽ����������
�B�ƽ��Ĺ�̙C(j��)�����ˣ��F(xi��n)�ڸ��S���Ͽ��������Լ����ƶ��õ��_(t��i)�����f�ˡ�
��dz��@��ͬ�r(sh��)���Bæԃ��������Ҳ�����f�҂����Լ��Ĺ�̙C(j��)�������F(xi��n)�����ģ���
��ݸ�ǡ���
��������qԥ�ش����
����ƽ�����һ�ښ⣬�����Լ��ĺ������������]�뵽����ꐸ���صı���߀���
���˴˱˴ˡ���
���Ц�Ǻǵ���
�{(l��n)�G�S�mȻ��һ��(g��)��˾�����Ѓɂ�(g��)��Ʒ�ƣ�����ƽ��������Ԉ�(zh��)�ƴ��(qu��n)��
����]�뵽����ƽ���˰댧(d��o)�w��Ƭ������ƽҲ�]�뵽���͵͵�ƽ���һ�_(t��i)48�{���Ƴ̵Ĺ�̙C(j��)��
Ŀ����ȫ�̵��_�ƣ��F(xi��n)������(g��)����Щ�L(f��ng)����y����ͻȻ�X���ײ�˹������ƽ�������İ������
��˼���@������]��ȥ����оƬ���a(ch��n)�h(hu��n)��(ji��)��
���^��ǣ��F(xi��n)������Щ����(d��ng)������ֹ��ס�������@��(g��)��Ϣ��(sh��)����̫���r(sh��)�ˡ�
��������Լ��й�̙C(j��)������ֻ��48�{���Ƴ̵ģ��f����Ҳ���ö����ع⼼�g(sh��)���Ԯa(ch��n)��28�{���_�����оƬ��
���O(sh��)28�{���_�����оƬ�������a(ch��n)���S�����dX1�֙C(j��)�����a(ch��n)��������(hu��)��ô�룿
�����϶���(hu��)�룬�@̤�R���������l�����ģ�
��о���H��ɴ�����m���̎�ȥ�飬�@�ӾͿ��Ԏ���ϴÓ���ɣ��^�m(x��)�[���ڰ�̎�������d�Ƽ����a(ch��n)14�{���p��̎����оƬ��
�@��(g��)��̙C(j��)�����P(gu��n)�I��
�ײ�˹�t�����Ɇ�����������dž�������28�{���_�����оƬ����48�{��̙C(j��)�����a(ch��n)���
��Ҫ�������O(sh��)Ӌ(j��)����
�·������h��
��������֪�������ع⼼�g(sh��)��߀���Ԟ�48�{��̙C(j��)��ֻ�����a(ch��n)48�{��ˇоƬ��
Ҋ���˶��ͳ������ơ��ˣ����Ҳ�����[�m������ؑ�(y��ng)�����������ع⼼�g(sh��)���Խ�Q���Ȇ��}��48�{���Ƴ̹�̙C(j��)����Փ�ϣ����S������12�{��оƬ����
���ȿȡ��ȿȿȡ�����
�_�Ʋ�ˮ�����������@��Ԓ�o�ܵ��ˡ�
48�{���Ƴ̹�̙C(j��)���������a(ch��n)12�{��оƬ������
�·��ǡ��ײ�˹������ƽ���˶�¶��Ĩ�ɻ���������Bæ���������@��ô���a(ch��n)����
48�{���Ƴ̵�DUV��̙C(j��)Ŀǰ�ѽ�(j��ng)������̭�a(ch��n)��������Ʋ�����Ҳ���_�˲��٣��@�����㵽һ�_(t��i)����������ƽ⡣
���ƽ����˼Ҳ�܆μ�����������δ��I����
������������(hu��)ȫ���Ʋ�оƬ�I(l��ng)������͵͵�ƽ���һ�_(t��i)��̙C(j��)���Է����r(sh��)֮�衣
�F(xi��n)�����f���ܮa(ch��n)12�{��оƬ��
���_(t��i)48�{���Ƴ̵Ĺ�̙C(j��)�������������ڏU�F׃�S�𣬼����Ǔ쵽���ˣ�
�������ع⼼�g(sh��)����
��ǵ����f������(g��)�֡�
���¸��V����������]�������H�Բ���ʾ��������Ҳ��֪���@��ʲô���ԭ����
�������ع⣿��
��ʲô�Ƕ����ع⣿��
��ꐿ����y���ゃ���d�Ƽ��й���I(l��ng)���˲ţ���
�ڎ����ɻ�r(sh��)���·���¶��Ĩ��Ȼ��������飬����������ԭ����ˣ��ֲ�����о���H�ܽo�ゃ����14�{���p��оƬ��ԭ���������@��(g��)���^�Ķ����ع⼼�g(sh��)����
��ԭ�������I��EUV��̙C(j��)�����ײ�˹���㶣���߀�Ԟ���о���H����EUV��̙C(j��)�ء�
����֮ǰ�䌍(sh��)���ڲ£��������l�o���d�Ƽ���˾����14�{���p��̎����оƬ��
����H��
�������]EUV��̙C(j��)����
�]EUV�O������̙C(j��)����ô���a(ch��n)14�{��оƬ��
�F(xi��n)�ڣ�
ˮ��ʯ���ˣ�
��������������I(y��)���ٴΌ�(sh��)�F(xi��n)������܇���ü��g(sh��)���a(b��)���O(sh��)�侫���ϵIJ��㡣
�@һ��(ch��ng)�����ơ��Ľ�Մ��������ÿλ�Ͽ����ի@���࣬�e���{(l��n)�G�S�������
���K�����R(sh��)������(d��ng)���ěQ���Ƕ�ô���_��δ��I�����ǿ�����δ����ij��(g��)˲�g�������Լ��l(f��)չ��
���댧(d��o)�w��Ƭ���ˣ�����z����]��(du��)���d�Ƽ����ưɣ����������������Ɏ�λ���̎��^����ԇԇ48�{��̙C(j��)�ܲ��ܮa(ch��n)28�{���_�����оƬ����
������h����
���ѽ�(j��ng)�Ȳ��������뿴Ҋ�Լ���̙C(j��)���a(ch��n)������оƬ��
�������Ԯa(ch��n)��28�{��оƬ������ľ��Ǵ������^��Ȼֱ������������һ�壡
Ȼ��߀�����������_�ڣ����¶��Ĩ����Ц�⣬���o�����f����������Ҫ����о���H�����@߅�����˕�(hu��)�����ع⼼�g(sh��)����
�_�ƣ���������
�úúã�
�úúúúúã�
��˼��
������]����оƬ���a(ch��n)��
�@�������ˣ����Ƭ�ĸ��Ƭ�����O(sh��)��ĸ��O(sh��)�䣬���̙C(j��)�ĸ��̙C(j��)��߀�Ђ�(g��)�������ع⼼�g(sh��)��ͻ�ƹ�̙C(j��)���Ƶģ�
������
��ôȥ���˂�(g��)ֱ���ИI(y��)����
�¹�(ji��)�e(cu��)�`���c(di��n)�ˈ�(b��o)������(b��o)�ͺ�S�o(h��)�ˆT��(hu��)�ڃɷ�犃�(n��i)У���¹�(ji��)��(n��i)�ݣ�Ո(q��ng)���ĵȴ���