�ڒ���Ԓ��,���������ѽ�(j��ng)˯��ȫ�o(w��)���_(k��i)ʼ��ʰ�Լ����������(zh��n)�䷵����ǡ�
���������ܸ㵽���Ӽ���������ô���Ϳ��ԇLԇʹ�ôżs��,������Փ�����еġ���̹��S����(f��)�̳���(l��i)��
���^(gu��),��
�뽨��̹��S,���ɲ��H�Hֻ��Ҫ���Ӽ�������
��(d��ng)�����f(shu��)��ʮ��(g��)�|,���䌍(sh��)�H����ͨС�����Ӽ������ăr(ji��)��,�������Ҫ�I(m��i)����á������M(j��n)�����Ӽ�����,��������ʿLHC���Ӽ����������Y�����Ҫ�ϰك|����,��
Ҫ֪��,�����mASML��˾�M�b��20�{���Ƴ̵�DUV��̙C(j��)���������u(m��i)�r(ji��)��Ҳ�̓Ƀ|��������,��
���̹��S,�����ϰك|�����ڸ��N���_����,��
�I(m��i)��̙C(j��),����ʮ�׃|�����Է�(w��n)�����a(ch��n)оƬ,��
����һ��(du��)�Ⱦ�֪��,����ʲô��ǰ�](m��i)���뵽�@��(g��)�����ˡ�
���̏S���H�F,��߀�](m��i)�Ѕ�����(j��ng)�(y��n),���ஔ(d��ng)������ʯ�^�^(gu��)�ӣ����в����͕�(hu��)�������,��Ͷ����Y��ȫ����ˮƯ,��
���Ҹ㶨���Ӽ�����ֻ�ǵ�һ�����ڶ���߀��Ҫ��(w��n)��,�����������ܹ���(y��ng),���Á�(l��i)�S�����Ӽ��������\(y��n)�D(zhu��n),������������⣬߀Ҫ���]���ӿv�M��ɢ,����Դ��(w��n)����,���żs���ɿ��ԵȆ�(w��n)�}��
�������������������(gu��)��I(y��)ُ(g��u)�I(m��i)EUV�O������̙C(j��),����Ӌ(j��)��̹��S�ĸ������h(yu��n)Ҳ����(hu��)�������,��
����
��һ߅��
���d�Ƽ���˾����,��
���ĬĬӛ������Ҫ���O(sh��)���,�������k����ǢՄ�^(q��)�����������z���O(sh��)���f(shu��)�˳���(l��i),��
�·�(gu��)��ü�^һ��,������ (t��ng)Ҋ(ji��n)�������л�ϙC(j��)�����ӷ�ɢ�O(sh��)��,������(y��ng)�����ǿ�,���Ͳµ��������Ҫ��ʲô��
�ײ�˹����ֱ��,��ֱ��ԃ��(w��n)�������������л�ϙC(j��)�ͷ��ӷ�ɢ�O(sh��)��,���y��ꐿ���Ҫ���˹���z����
����z��Ȼ�����^(gu��)����,������оƬ���a(ch��n)����Ҫ��һ�h(hu��n),���O(sh��)�䡢�䷽,���˲Ŷ���ȫ������i,����оƬ���Ϸ��i���(y��n)��һ�h(hu��n)��
����f(shu��)�댧(d��o)�w��Ƭ�����Ƶȼ�(j��)��20��(j��),����ô����z�����Ƶȼ�(j��)����100��(j��),��
�����@��Ď�λ�Ͽ���������˾�����mȻ���漰оƬ�I(l��ng)��,����������,���l(shu��)֪������͵͵�����˶����I(l��ng)��a(ch��n)�I(y��)��
�r��,��
�֙C(j��)�I(l��ng)��Ͱ�����оƬ,��
����܉��оƬ��(gu��)�a(ch��n)�����LJ�(gu��)��(n��i)�S�̲���ӭ��(l��i)����,��
��ҪоƬ��(gu��)�a(ch��n)��,���댧(d��o)�w��Ƭ����z�@�ɂ�(g��)����Ҫ�����a(ch��n)�������������ܲ�ȥ�˽⡣
��ꐿ����䷽��,����
�_�Ƹ���ֱ��,��
�� (t��ng)Ҋ(ji��n)����f(shu��)������z���a(ch��n)�O(sh��)��r(sh��),��˲�g(li��n)�뵽���d�Ƽ�Ҳ�в��֣����ܬF(xi��n)�ھ�ȱ�O(sh��)��,��
��λ�Ͽ��ɻ�ؿ������,����������֪���𰸡�
Ȼ��,��
��ǵ���һЦ,���h����������Ժʿ���]�ˎ�λ����(du��)��(y��ng)�I(l��ng)��Č��ҽo�ң�Ŀǰ��Ԓ,����θ㵽�O(sh��)����һ���y�},����
���²��Q,��˦�����,��
�����@�N�pԺԺʿ���J(r��n)�R(sh��)�ׂ�(g��)����z�I(l��ng)���˲źܺ�����,��
����z�I(l��ng)���˲�,��֪�����w�䷽�ܺ����ɣ�
�r���·�(gu��)��,���ײ�˹����������ȥ���C,��
�S����ǰ�����̵���̖(h��o)����λ�Ͽ�Ҳ�D�к�����,�������ǿ�������(gu��)��피��Ժʿ���},��
Ժʿ���u�����˵�Ԓ��
�l(shu��)߀����,��
�·�(gu��)�dz�Ĭ�˰��Σ��S���_(k��i)�ڵ�������������ϵĎ���,���](m��i)��(zh��n)����Ը����(l��i),���@Щ�O(sh��)���һ��^�o�㆖(w��n)��(w��n)�����^(gu��)�r(sh��)�g����Ҫ��һ�c(di��n),�,���
���a(ch��n)����z���O(sh��)��һ�㶼���M(j��n)�ڣ����M(j��n)�ڵ��O(sh��)��,���A(y��)�����ڱ���(l��i)���L(zh��ng),���ټ��϶���������ƣ��l(shu��)Ҳ��֪������ʲô�r(sh��)����Ը㵽,��
���Ǿ��韩���Ͽ���,����
���Ҳ������,����о��(gu��)�H�Ͽ�������Ҳ�f(shu��)��,��������߅߀�й���z��؛,��
Ŀǰ��(d��ng)��(w��)֮����߀�������12��댧(d��o)�w��Ƭ�����a(ch��n),��
����Ҳ������O(sh��)��,����
�ײ�˹Ҳ����һ,��¶��Ĩ����Ц�ݵ������ҿ����ܲ����ڹ����(gu��)�o���,����߅�����ƛ](m��i)��ô��,���
����ƽ����,����,����
�_�ƣ���,����,����
�������,����,����
�ڈ�(ch��ng)����,���Bͬ��Ǻ��·�(gu��)�Ƕ��@�ˣ�������܇߀���@����,��
�e�˶��ڼ��g(sh��)�Ϗ�����܇,�����ײ�˹�ڷ�ʽ�Ϗ�����܇��
���^(gu��)��һ�f(shu��)һ,��
�댧(d��o)�w���P(gu��n)�I(l��ng)���O(sh��)��ďS���Dz����u(m��i)�O(sh��)���,��
����
�������u(m��i),���������u(m��i),��
�o(w��)Փ�ǹ���z��߀�ǰ댧(d��o)�w��Ƭ���a(ch��n)���O(sh��)��,���ֶ���(l��i)������u��(gu��)�c��(gu��),��
������������վ���������Č�(du��)���棬ֻ�� (t��ng)�İ���,���ԹԵؽo����(gu��)��I(y��)�O(sh��)��,��
�F(xi��n)�چ�(w��n)�}��(l��i)�ˣ������������(gu��)��I(y��)ُ(g��u)�I(m��i)��,��
����������(gu��)��I(y��),���P(gu��n)�ҹ����(gu��)��I(y��)ʲô�£�
�����(gu��)��I(y��)�o���o�I(m��i),��
Ҳ����?y��n)��뵽���@��(g��)��������܇���Ŀ���,���ײ�˹�ŕ�(hu��)��������,����������(gu��)���֙C(j��)�Ј�(ch��ng)��
�X(qi��n)��������,���������ڹ����(gu��)�w������,�����Ҹむ(g��)���օf(xi��)�h�������(gu��)������I(y��)ُ(g��u)�I(m��i)�O(sh��)��,���@�������X(qi��n)����ȥ�˰�,��
�������P(gu��n)�I���ǣ������(gu��)��߅�mȻ�������Y����,���s�������O(sh��)�������,��������(gu��)��(n��i)�����͛](m��i)��оƬ�����@��(g��)���
���üһ�,���ײ�˹���Ƕ�������܇��,�������`��׃ͨ���,���
�_��ֱ���ײ�˹����,���Z(y��)�⎧������Թ���������f(shu��),���@�㲻�����ֵ܂�һ�𡰏�����܇��,��
��߀�e�f(shu��)����
�·�(gu��)�� (t��ng)������ǰһ��,���������������Ԅe��(gu��)��I(y��)��̖(h��o)ȥ�I(m��i),����͵͵�\(y��n)�؇�(gu��)��(n��i)�����S���ܽ�Qȱ�O(sh��)��Ć�(w��n)�},�,���
�����^���Ҫһ�ڿڳ�,��·Ҫһ������,��
�F(xi��n)������(gu��)�İ댧(d��o)�w�ИI(y��)������ȱ�O(sh��)��,����ȱ�˲š�
��������Ƚ�Q�O(sh��)�䆖(w��n)�},���˲ŷ���߀�ǿ����������B(y��ng)��,��
��ǿ����ײ�˹�������Ĩ���壬�@�N��������܇���ķ������������(l��i),������������(gu��)������ҵ���I(y��)�Ͽ�����,��
�����˹���z�O(sh��)�䣬�댧(d��o)�w��Ƭ��ô��Q,����
����ƽԃ��(w��n),��
оƬ���a(ch��n)�ɲ�ֹ����z,���댧(d��o)�w��ƬҲ������֮�ء�
Ԓ����,�������������f(shu��)�������댧(d��o)�w��Ƭ����,�����輯�F(tu��n)��߅��(y��ng)ԓ���Ը㶨�ɣ�12��ě](m��i)��,��6���8���10NƷ�|(zh��)�댧(d��o)�w��Ƭ����߀���е�,����
���������е�,�,���
��Ȼ���ǁ�(l��i)��Q��(w��n)�}�ģ����Ҳ�](m��i)���[�m,���ќ��輯�F(tu��n)��Մ������Ҳ��(du��)������,��
�����^(gu��)����ʹ��6���8��İ댧(d��o)�w��Ƭ��оƬ���a(ch��n)�ɱ���(hu��)�������,���ҵ���Ը��Ӄr(ji��)�I(m��i),�����ғ�(d��n)�ĵ��ǣ�������(hu��)����(hu��)�O(ji��n)ҕ���輯�F(tu��n)��ӆ�ι���(y��ng),�,���
���F(xi��n)�ڜ��輯�F(tu��n)����о��(gu��)�H�����ڰ���,���](m��i)�б�ץ���ѱ�,�����䌍(sh��)�Dz����B�������ġ,���
�������뵽������,�������������벻����
���輯�F(tu��n)���Ԯa(ch��n)6��,��8��댧(d��o)�w��Ƭ������Ҳ����ʲô����,�����������ܲ�ע�⡣
����(l��i)6���8��댧(d��o)�w��Ƭ�͛](m��i)ʲô�Ј�(ch��ng),����ͻȻ���������a(ch��n),���Ǿ��f(shu��)��һ��(g��)��(w��n)�}���_��(sh��)����о��(gu��)�H�������p��оƬ,��
����,����
�_�Ƈ@�˿ښ⣬¶��Ĩ�yɫ�������Ǿ����f(shu��),���҂�����Ҫ��Q����z����,��߀Ҫȥ��Q�댧(d��o)�w��Ƭ�Ć�(w��n)�}����
����(y��ng)ԓ���ˡ,���
�ײ�˹Ҳ¶��Ĩ�yɫ,��
�����@�r(sh��)���·�(gu��)��վ�˳���(l��i)�������댧(d��o)�w��Ƭ�I(l��ng)��,�����䌍(sh��)��Ͷ�Y����I(y��),����
���,��,�����
�ײ�˹����һ�@,��
�üһ�,��
���涼���u(m��i)�֙C(j��)�������ﶼ��͵͵��������оƬ�ИI(y��)�ǰ�,��
���^(gu��)�@Ҳ���ܹ�����,���l(shu��)���{ͨ��˾��ؓ(f��)�ˣ����������ϲ�g�q�r(ji��),��Ū��һ������(gu��)�֙C(j��)��I(y��)�Ͽ��������,��
��оƬ������DZ��Ƶġ�
���䌍(sh��)�ɡ�����
Ҋ(ji��n)��Ҷ��f(shu��)�_(k��i)��,������ƽҲ�����[�m��,��̹Ȼ�������҂��{(l��n)�G�S�@߅Ҳ�а댧(d��o)�w��Ƭ���֣��ѽ�(j��ng)���Ԫ�(d��)�����a(ch��n)6���Ƭ,�,���
�����@߅Ҳһ�ӡ,���
�·�(gu��)��¶��Ĩ�����f(shu��)��,��
���ǬF(xi��n)�ھ��ǣ��댧(d��o)�w��Ƭ��(w��n)�}��Q��,�����_�ƿ�����,�����](m��i)�뵽�Լ�ͬ���@ô����
һ��(g��)��������(gu��),�������I(m��i)�O(sh��)��,��
�ɂ�(g��)Ͷ�Y�댧(d��o)�w��Ƭ�a(ch��n)�I(y��)���ѽ�(j��ng)��(sh��)�F(xi��n)��6���Ƭ���a(ch��n),��
����߀�ڸ�ֱ������
�֙C(j��)�S���c�S��֮�g,�����δ��Ҳ̫���˰ɡ�
Ȼ��߀�](m��i)��,���{(l��n)�G�S��һλ(li��n)�τ�(chu��ng)ʼ�������Ҋ(ji��n)���f(shu��)�_(k��i)�ˣ����������[�m��,��ͬ��̹�Ե��������@߅���_(t��i)�ƽ���DUV��̙C(j��),�����^(gu��)��48�{���Ƴ̵�,����
�·�(gu��)�ǣ���������
�ײ�˹����������
����ƽ����������
�B�ƽ��Ĺ�̙C(j��)������,���F(xi��n)�ڸ��S���Ͽ��������Լ����ƶ��õ��_(t��i)�����f(shu��)��,��
��dz��@��ͬ�r(sh��)���Bæԃ��(w��n)������Ҳ�����f(shu��)�҂����Լ��Ĺ�̙C(j��),�������F(xi��n)������,����
��ݸ�ǡ,���
��������qԥ�ش��,��
����ƽ�����һ�ښ⣬�����Լ��ĺ������������](m��i)�뵽��,��ꐸ���صı���߀��,����
���˴˱˴�,�,���
���Ц�Ǻǵ���
�{(l��n)�G�S�mȻ��һ��(g��)��˾,�����Ѓɂ�(g��)��Ʒ��,������ƽ��������Ԉ�(zh��)�ƴ��(qu��n)��
����](m��i)�뵽����ƽ���˰댧(d��o)�w��Ƭ,������ƽҲ�](m��i)�뵽���͵͵�ƽ���һ�_(t��i)48�{���Ƴ̵Ĺ�̙C(j��),��
Ŀ����ȫ�̵��_�ƣ��F(xi��n)������(g��)����Щ�L(f��ng)����y,����ͻȻ�X(ju��)���ײ�˹,������ƽ�������İ������
��˼���@��,�������](m��i)��ȥ����оƬ���a(ch��n)�h(hu��n)��(ji��),��
���^��ǣ��F(xi��n)������Щ����(d��ng),������ֹ��ס�,������@��(g��)��Ϣ��(sh��)����̫���r(sh��)�ˡ�
��������Լ��й�̙C(j��),������ֻ��48�{���Ƴ̵�,���f(shu��)����Ҳ���ö����ع⼼�g(sh��)���Ԯa(ch��n)��28�{���_(k��i)�����оƬ,��
���O(sh��)28�{���_(k��i)�����оƬ�������a(ch��n),���S�����dX1�֙C(j��)�����a(ch��n)��������(hu��)��ô�룿
�����϶���(hu��)��,���@̤�R���������l(shu��)������,��
��о��(gu��)�H��ɴ�����m���̎�ȥ�飬�@�ӾͿ��Ԏ���ϴÓ����,���^�m(x��)�[���ڰ�̎,�������d�Ƽ����a(ch��n)14�{���p��̎����оƬ��
�@��(g��)��̙C(j��),�����P(gu��n)�I,��
�ײ�˹�t�����Ɇ�(w��n)����������dž�(w��n)������28�{���_(k��i)�����оƬ,����48�{��̙C(j��)�����a(ch��n)��,����
��Ҫ�������O(sh��)Ӌ(j��)����
�·�(gu��)�����h,��
��������֪�������ع⼼�g(sh��),��߀���Ԟ�48�{��̙C(j��)��ֻ�����a(ch��n)48�{��ˇоƬ,��
Ҋ(ji��n)���˶��ͳ������ơ���,�����Ҳ�����[�m������ؑ�(y��ng)�����������ع⼼�g(sh��)���Խ�Q���Ȇ�(w��n)�},��48�{���Ƴ̹�̙C(j��),����Փ�ϣ����S������12�{��оƬ,�,���
���ȿȡ��ȿȿȡ�����
�_�Ʋ�ˮ�����������@��Ԓ�o�ܵ���,��
48�{���Ƴ̹�̙C(j��),���������a(ch��n)12�{��оƬ��,��,��
�·�(gu��)�ǡ��ײ�˹,������ƽ���˶�¶��Ĩ�ɻ�,����������Bæ��(w��n)�������@��ô���a(ch��n)����
48�{���Ƴ̵�DUV��̙C(j��)Ŀǰ�ѽ�(j��ng)������̭�a(ch��n)��,���������Ʋ�����Ҳ���_(k��i)�˲���,���@�����㵽һ�_(t��i)����������ƽ�,��
���ƽ����˼Ҳ�܆μ�,����������δ��I��,��
������������(hu��)ȫ���Ʋ�оƬ�I(l��ng)������͵͵�ƽ���һ�_(t��i)��̙C(j��),���Է����r(sh��)֮��,��
�F(xi��n)�����f(shu��)���ܮa(ch��n)12�{��оƬ��
���_(t��i)48�{���Ƴ̵Ĺ�̙C(j��)���������,�������ڏU�F׃�S�𣬼����Ǔ쵽����,��
�������ع⼼�g(sh��),����
��ǵ����f(shu��)������(g��)��,��
���¸��V����,������](m��i)�������H�Բ���ʾ��������Ҳ��֪���@��ʲô���ԭ��,��
�������ع�,����
��ʲô�Ƕ����ع⣿��
��ꐿ�,���y���ゃ���d�Ƽ��й���I(l��ng)���˲�,����
�ڎ����ɻ�r(sh��)���·�(gu��)��¶��Ĩ��Ȼ���������,������������ԭ��(l��i)���,���ֲ�����о��(gu��)�H�ܽo�ゃ����14�{���p��оƬ��ԭ��(l��i)�������@��(g��)���^�Ķ����ع⼼�g(sh��),����
��ԭ��(l��i)�����I(m��i)��EUV��̙C(j��),�����ײ�˹���㶣���߀�Ԟ���о��(gu��)�H����EUV��̙C(j��)��,��
����֮ǰ�䌍(sh��)���ڲ�,���������l(shu��)�o���d�Ƽ���˾����14�{���p��̎����оƬ��
���(gu��)�H,��
�������](m��i)EUV��̙C(j��)�,���
�](m��i)EUV�O������̙C(j��),����ô���a(ch��n)14�{��оƬ,��
�F(xi��n)�ڣ�
ˮ��ʯ����,��
��������(gu��)������I(y��),���ٴΌ�(sh��)�F(xi��n)������܇���ü��g(sh��)���a(b��)���O(sh��)�侫���ϵIJ���,��
�@һ��(ch��ng)�����ơ��Ľ�Մ,��������ÿλ�Ͽ����ի@����,���e���{(l��n)�G�S�������
���K�����R(sh��)��,����(d��ng)���ěQ���Ƕ�ô���_,��δ��I�����ǿ�����δ��(l��i)��ij��(g��)˲�g�������Լ��l(f��)չ��
���댧(d��o)�w��Ƭ����,������z����](m��i)��(du��)���d�Ƽ����ư�,�����������������Ɏ�λ���̎��^(gu��)��(l��i)��ԇԇ48�{��̙C(j��)�ܲ��ܮa(ch��n)28�{���_(k��i)�����оƬ,����
������h��,��
���ѽ�(j��ng)�Ȳ��������뿴Ҋ(ji��n)�Լ���̙C(j��)���a(ch��n)������оƬ,��
�������Ԯa(ch��n)��28�{��оƬ,������ľ��Ǵ������^��Ȼֱ������������һ��,��
Ȼ��߀�����������_(k��i)��,�����¶��Ĩ����Ц�⣬���o�����f(shu��)����������Ҫ����о��(gu��)�H,�����@߅�����˕�(hu��)�����ع⼼�g(sh��),����
�_�ƣ���������
�úú�,��
�úúúúú�,��
��˼��
������](m��i)����оƬ���a(ch��n),��
�@��������,�����Ƭ�ĸ��Ƭ�����O(sh��)��ĸ��O(sh��)��,�����̙C(j��)�ĸ��̙C(j��),��߀�Ђ�(g��)�������ع⼼�g(sh��)��ͻ�ƹ�̙C(j��)���Ƶ�,��
����,��
��ôȥ���˂�(g��)ֱ���ИI(y��)����
�¹�(ji��)�e(cu��)�`���c(di��n)�ˈ�(b��o)��,����(b��o)�ͺ�S�o(h��)�ˆT��(hu��)�ڃɷ�犃�(n��i)У���¹�(ji��)��(n��i)��,��Ո(q��ng)���ĵȴ���