�ڒ���Ԓ���������ѽ�(j��ng)˯��ȫ�o,���_ʼ��ʰ�Լ����������(zh��n)�䷵�����,��
���������ܸ㵽���Ӽ���������ô���Ϳ��ԇLԇʹ�ôżs��,������Փ�����еġ���̹��S����(f��)�̳���,��
���^��
�뽨��̹��S,���ɲ��H�Hֻ��Ҫ���Ӽ�����,��
��(d��ng)�����f��ʮ���|���䌍�H����ͨС�����Ӽ������ăr��,�������Ҫ�I����á������M�����Ӽ�����,��������ʿLHC���Ӽ�����,�����Y�����Ҫ�ϰك|����
Ҫ֪��,�����mASML��˾�M�b��20�{���Ƴ̵�DUV��̙C,���������u�r��Ҳ�̓Ƀ|�������ҡ�
���̹��S,�����ϰك|,�����ڸ��N���_���ԡ�
�I��̙C����ʮ�׃|,�����Է�(w��n)�����a(ch��n)оƬ,��
����һ���Ⱦ�֪������ʲô��ǰ�]���뵽�@��������,��
���̏S���H�F,��߀�]�Ѕ�����(j��ng)�ஔ(d��ng)������ʯ�^�^��,�����в����͕��������,��Ͷ����Y��ȫ����ˮƯ��
���Ҹ㶨���Ӽ�����ֻ�ǵ�һ��,���ڶ���߀��Ҫ��(w��n)��,�����������ܹ���(y��ng)���Á��S�����Ӽ��������\�D(zhu��n),�������������,��߀Ҫ���]���ӿv�M��ɢ����Դ��(w��n)����,���żs���ɿ��ԵȆ��},��
���������������������I(y��)ُ�IEUV�O������̙C����Ӌ��̹��S�ĸ������hҲ�����������,��
����
��һ߅,��
���d�Ƽ���˾������
���ĬĬӛ������Ҫ���O(sh��)���,�������k����ǢՄ�^(q��),�����������z���O(sh��)���f�˳�����
�·���ü�^һ��,������ Ҋ�������л�ϙC,�����ӷ�ɢ�O(sh��)�䡢����(y��ng)�����ǿ�,���Ͳµ��������Ҫ��ʲô,��
�ײ�˹����ֱ�ף�ֱ��ԃ���������������л�ϙC�ͷ��ӷ�ɢ�O(sh��)��,���y��ꐿ���Ҫ���˹���z,����
����z��Ȼ�����^���ጣ�����оƬ���a(ch��n)����Ҫ��һ�h(hu��n),���O(sh��)��,���䷽���˲Ŷ���ȫ������i,����оƬ���Ϸ��i�����һ�h(hu��n),��
����f�댧(d��o)�w��Ƭ�����Ƶȼ���20��,����ô����z�����Ƶȼ�����100����
�����@��Ď�λ�Ͽ�,��������˾�����mȻ���漰оƬ�I(l��ng)��,����������l֪������͵͵�����˶����I(l��ng)��a(ch��n)�I(y��),��
�r��,��
�֙C�I(l��ng)��Ͱ�����оƬ��
����܉��оƬ���a(ch��n)��,���LJ���(n��i)�S�̲���ӭ������,��
��ҪоƬ���a(ch��n)�����댧(d��o)�w��Ƭ����z�@�ɂ�����Ҫ�����a(ch��n)�������������ܲ�ȥ�˽�,��
��ꐿ����䷽��,����
�_�Ƹ���ֱ�ס�
�� Ҋ����f������z���a(ch��n)�O(sh��)��r,��˲�g(li��n)�뵽���d�Ƽ�Ҳ�в���,�����ܬF(xi��n)�ھ�ȱ�O(sh��)�䡣
��λ�Ͽ��ɻ�ؿ������,����������֪����,��
Ȼ����
��ǵ���һЦ,���h����������Ժʿ���]�ˎ�λ������(y��ng)�I(l��ng)��Č��ҽo��,��Ŀǰ��Ԓ����θ㵽�O(sh��)����һ���y�},�,���
���²��Q��˦�����,��
�����@�N�pԺԺʿ,���J�R�ׂ�����z�I(l��ng)���˲źܺ����ɣ�
����z�I(l��ng)���˲�,��֪�����w�䷽�ܺ�����,��
�r���·��ǡ��ײ�˹����������ȥ���C,��
�S����ǰ�����̵���̖,����λ�Ͽ�Ҳ�D�к����ˣ������ǿ���������피��Ժʿ���},��
Ժʿ���u�����˵�Ԓ��
�l߀����,��
�·��dz�Ĭ�˰���,���S���_�ڵ�������������ϵĎ������]��(zh��n)����Ը�������@Щ�O(sh��)���һ��^�o�㆖��,�����^�r�g����Ҫ��һ�c,����
���a(ch��n)����z���O(sh��)��һ�㶼���M��,�����M�ڵ��O(sh��)��,���A(y��)�����ڱ������L���ټ��϶����������,���lҲ��֪������ʲô�r����Ը㵽,��
���Ǿ��韩���Ͽ��ˡ,���
���Ҳ������,����о���H�Ͽ�������Ҳ�f�ˣ�������߅߀�й���z��؛,��
Ŀǰ��(d��ng)��(w��)֮��,��߀�������12��댧(d��o)�w��Ƭ�����a(ch��n)��
����Ҳ������O(sh��)��,�,���
�ײ�˹Ҳ����һ��¶��Ĩ����Ц�ݵ������ҿ����ܲ����ڹ�����o���,����߅�����ƛ]��ô��,����
����ƽ����,��,������
�_�ƣ���,��,������
�������,��,������
�ڈ�����,���Bͬ��Ǻ��·��Ƕ��@��,��������܇߀���@���棿
�e�˶��ڼ��g(sh��)�Ϗ�����܇,�����ײ�˹�ڷ�ʽ�Ϗ�����܇,��
���^��һ�fһ��
�댧(d��o)�w���P(gu��n)�I(l��ng)���O(sh��)��ďS���Dz����u�O(sh��)���,��
��,��
�������u,���������u��
�oՓ�ǹ���z,��߀�ǰ댧(d��o)�w��Ƭ���a(ch��n)���O(sh��)��,���ֶ���������u���c����
������������վ���������Č�����,��ֻ�� �İ���,���ԹԵؽo������I(y��)�O(sh��)�ޡ�
�F(xi��n)�چ��}����,���������������I(y��)ُ�I��,��
������������I(y��)���P(gu��n)�ҹ������I(y��)ʲô��,��
�������I(y��)�o���o�I,��
Ҳ������뵽���@����������܇���Ŀ��ܣ��ײ�˹�ŕ���������,�������������֙C�Ј�,��
�X�������ߣ��������ڹ�����w������,�����Ҹむ���օf(xi��)�h,�������������I(y��)ُ�I�O(sh��)�䣬�@�������X����ȥ�˰�,��
�������P(gu��n)�I����,���������߅�mȻ�������Y�������s�������O(sh��)�������,����������(n��i)�����͛]��оƬ�����@������,��
���üһ�ײ�˹���Ƕ�������܇��,�������`��׃ͨ��,����
�_��ֱ���ײ�˹����,���Z�⎧������Թ,���������f���@�㲻�����ֵ܂�һ�𡰏�����܇��,��
��߀�e�f,����
�·��� ������ǰһ�����������������Ԅe����I(y��)��̖ȥ�I,����͵͵�\�؇���(n��i),�����S���ܽ�Qȱ�O(sh��)��Ć��}�,���
�����^,���Ҫһ�ڿڳ�,��·Ҫһ�����ߡ�
�F(xi��n)�������İ댧(d��o)�w�ИI(y��),������ȱ�O(sh��)�䣬��ȱ�˲�,��
��������Ƚ�Q�O(sh��)�䆖�},���˲ŷ���߀�ǿ����������B(y��ng)�ġ�
��ǿ����ײ�˹�������Ĩ����,���@�N��������܇���ķ������������,������������������ҵ���I(y��)�Ͽ�������
�����˹���z�O(sh��)��,���댧(d��o)�w��Ƭ��ô��Q,����
����ƽԃ����
оƬ���a(ch��n)�ɲ�ֹ����z,���댧(d��o)�w��ƬҲ������֮��,��
Ԓ���䣬�����������f�������댧(d��o)�w��Ƭ����,�����輯�F��߅��(y��ng)ԓ���Ը㶨��,��12��ě]�У�6���8���10NƷ�|(zh��)�댧(d��o)�w��Ƭ����߀���е�,�,���
���������еġ,���
��Ȼ���ǁ���Q���}��,�����Ҳ�]���[�m���ќ��輯�F��Մ������Ҳ��������,��
�����^����ʹ��6���8��İ댧(d��o)�w��Ƭ,��оƬ���a(ch��n)�ɱ���������ӣ��ҵ���Ը��Ӄr�I,�����ғ�(d��n)�ĵ���,�������������O(ji��n)ҕ���輯�F��ӆ�ι���(y��ng)�,���
���F(xi��n)�ڜ��輯�F,����о���H�����ڰ��ӣ��]�б�ץ���ѱ�,�����䌍�Dz����B��������,����
�������뵽������,�������������벻��,��
���輯�F���Ԯa(ch��n)6��,��8��댧(d��o)�w��Ƭ������Ҳ����ʲô���ܣ����������ܲ�ע��,��
����6���8��댧(d��o)�w��Ƭ�͛]ʲô�Ј�,����ͻȻ���������a(ch��n)���Ǿ��f��һ�����},���_������о���H�������p��оƬ,��
��������
�_�Ƈ@�˿ښ�,��¶��Ĩ�yɫ�������Ǿ����f,���҂�����Ҫ��Q����z���⣬߀Ҫȥ��Q�댧(d��o)�w��Ƭ�Ć��},����
����(y��ng)ԓ����,����
�ײ�˹Ҳ¶��Ĩ�yɫ,��
�����@�r,���·���վ�˳����������댧(d��o)�w��Ƭ�I(l��ng)�����䌍��Ͷ�Y����I(y��),�,���
�����,�,����
�ײ�˹����һ�@��
�üһ�,��
���涼���u�֙C,�������ﶼ��͵͵��������оƬ�ИI(y��)�ǰɣ�
���^�@Ҳ���ܹ�����,���l���{ͨ��˾��ؓ��,�����������ϲ�g�q�r��Ū��һ�������֙C��I(y��)�Ͽ��������,��
��оƬ,������DZ��Ƶġ�
���䌍�ɡ�����
Ҋ��Ҷ��f�_�ˣ�����ƽҲ�����[�m��,��̹Ȼ�������҂��{�G�S�@߅Ҳ�а댧(d��o)�w��Ƭ����,���ѽ�(j��ng)���Ԫ������a(ch��n)6���Ƭ�,���
�����@߅Ҳһ��,����
�·���¶��Ĩ�����f����
���ǬF(xi��n)�ھ���,���댧(d��o)�w��Ƭ���}��Q��,�����_�ƿ����ˣ����]�뵽�Լ�ͬ���@ô��,��
һ����������,�������I�O(sh��)�䡣
�ɂ�Ͷ�Y�댧(d��o)�w��Ƭ�a(ch��n)�I(y��),���ѽ�(j��ng)���F(xi��n)��6���Ƭ���a(ch��n),��
����߀�ڸ�ֱ������
�֙C�S���c�S��֮�g�����δ��Ҳ̫���˰�,��
Ȼ��߀�]�꣬�{�G�S��һλ(li��n)�τ�(chu��ng)ʼ�������Ҋ���f�_��,�����������[�m��,��ͬ��̹�Ե��������@߅���_�ƽ���DUV��̙C�����^��48�{���Ƴ̵�,�,���
�·��ǣ���������
�ײ�˹����������
����ƽ����������
�B�ƽ��Ĺ�̙C�����ˣ��F(xi��n)�ڸ��S���Ͽ��������Լ����ƶ��õ��_�����f��,��
��dz��@��ͬ�r,���Bæԃ��������Ҳ�����f�҂����Լ��Ĺ�̙C�������F(xi��n)������,����
��ݸ��,����
��������qԥ�ش��,��
����ƽ�����һ�ښ�,�������Լ��ĺ������������]�뵽����ꐸ���صı���߀��,�,���
���˴˱˴ˡ,���
���Ц�Ǻǵ�,��
�{�G�S�mȻ��һ����˾�����Ѓɂ���Ʒ��,������ƽ��������Ԉ�(zh��)�ƴ��(qu��n),��
����]�뵽����ƽ���˰댧(d��o)�w��Ƭ������ƽҲ�]�뵽���͵͵�ƽ���һ�_48�{���Ƴ̵Ĺ�̙C,��
Ŀ����ȫ�̵��_��,���F(xi��n)����������Щ�L(f��ng)����y����ͻȻ�X���ײ�˹,������ƽ,�������İ������
��˼���@��,�������]��ȥ����оƬ���a(ch��n)�h(hu��n)��(ji��)��
���^���,���F(xi��n)������Щ����,������ֹ��ס�������@����Ϣ������̫���r��,��
��������Լ��й�̙C,������ֻ��48�{���Ƴ̵ģ��f����Ҳ���ö����ع⼼�g(sh��),���Ԯa(ch��n)��28�{���_�����оƬ,��
���O(sh��)28�{���_�����оƬ�������a(ch��n)���S�����dX1�֙C�����a(ch��n),����������ô��,��
�����϶����룬�@̤�R���������l������,��
��о���H��ɴ�����m���̎�ȥ��,���@�ӾͿ��Ԏ���ϴÓ���ɣ��^�m(x��)�[���ڰ�̎,�������d�Ƽ����a(ch��n)14�{���p��̎����оƬ,��
�@����̙C�����P(gu��n)�I,��
�ײ�˹�t�����Ɇ�,����������dž�������28�{���_�����оƬ����48�{��̙C�����a(ch��n)��,����
��Ҫ�������O(sh��)Ӌ,����
�·������h��
��������֪�������ع⼼�g(sh��),��߀���Ԟ�48�{��̙C,��ֻ�����a(ch��n)48�{��ˇоƬ��
Ҋ���˶��ͳ������ơ���,�����Ҳ�����[�m,������ؑ�(y��ng)�����������ع⼼�g(sh��)���Խ�Q���Ȇ��}��48�{���Ƴ̹�̙C,����Փ��,�����S������12�{��оƬ�,���
���ȿȡ��ȿȿȡ�����
�_�Ʋ�ˮ���,��������@��Ԓ�o�ܵ��ˡ�
48�{���Ƴ̹�̙C���������a(ch��n)12�{��оƬ,��,����
�·���,���ײ�˹,������ƽ���˶�¶��Ĩ�ɻ���������Bæ���������@��ô���a(ch��n),����
48�{���Ƴ̵�DUV��̙CĿǰ�ѽ�(j��ng)������̭�a(ch��n)��,���������Ʋ�����Ҳ���_�˲��٣��@�����㵽һ�_,����������ƽ�,��
���ƽ����˼Ҳ�܆μ�����������δ��I��,��
������������ȫ���Ʋ�оƬ�I(l��ng)��,������͵͵�ƽ���һ�_��̙C���Է����r֮��,��
�F(xi��n)�����f���ܮa(ch��n)12�{��оƬ��
���_48�{���Ƴ̵Ĺ�̙C���������,�������ڏU�F׃�S��,�������Ǔ쵽���ˣ�
�������ع⼼�g(sh��),�,���
��ǵ����f�������֡�
���¸��V����,������]�������H�Բ���ʾ��,������Ҳ��֪���@��ʲô���ԭ����
�������ع�,����
��ʲô�Ƕ����ع�,����
��ꐿ����y���ゃ���d�Ƽ��й���I(l��ng)���˲�,����
�ڎ����ɻ�r,���·���¶��Ĩ��Ȼ��������飬����������ԭ�����,���ֲ�����о���H�ܽo�ゃ����14�{���p��оƬ,��ԭ���������@�����^�Ķ����ع⼼�g(sh��)����
��ԭ�������I��EUV��̙C,�����ײ�˹����,����߀�Ԟ���о���H����EUV��̙C�ء�
����֮ǰ�䌍���ڲ£��������l�o���d�Ƽ���˾����14�{���p��̎����оƬ,��
����H,��
�������]EUV��̙C��,��
�]EUV�O������̙C,����ô���a(ch��n)14�{��оƬ��
�F(xi��n)��,��
ˮ��ʯ����,��
��������������I(y��)���ٴΌ��F(xi��n)������܇,���ü��g(sh��)���a���O(sh��)�侫���ϵIJ���,��
�@һ�������ơ��Ľ�Մ��������ÿλ�Ͽ����ի@����,���e���{�G�S�����,��
���K�����R������(d��ng)���ěQ���Ƕ�ô���_,��δ��I�����ǿ�����δ����ij��˲�g�������Լ��l(f��)չ,��
���댧(d��o)�w��Ƭ���ˣ�����z����]�����d�Ƽ����ư�,�����������������Ɏ�λ���̎��^��,��ԇԇ48�{��̙C�ܲ��ܮa(ch��n)28�{���_�����оƬ����
������h��,��
���ѽ�(j��ng)�Ȳ�����,���뿴Ҋ�Լ���̙C���a(ch��n)������оƬ��
�������Ԯa(ch��n)��28�{��оƬ,������ľ��Ǵ������^��Ȼֱ,������������һ�壡
Ȼ��߀�����������_��,�����¶��Ĩ����Ц��,�����o�����f����������Ҫ����о���H�����@߅�����˕������ع⼼�g(sh��),�,���
�_�ƣ���������
�úúã�
�úúúúú�,��
��˼,��
������]����оƬ���a(ch��n)��
�@��������,�����Ƭ�ĸ��Ƭ,�����O(sh��)��ĸ��O(sh��)��,�����̙C�ĸ��̙C��߀�Ђ��������ع⼼�g(sh��),��ͻ�ƹ�̙C���Ƶ�,��
������
��ôȥ���˂�ֱ���ИI(y��)����
�¹�(ji��)�e�`,���c�ˈ���,�����ͺ�S�o�ˆT���ڃɷ�犃�(n��i)У���¹�(ji��)��(n��i)�ݣ�Ո���ĵȴ�,��