���d�Ƽ���˾����Ȼ�й���I(l��ng)����˲�,������߀��(hu��)�����ع⼼�g(sh��),���·�(gu��)�������W�^ĨԌ��,��һ��(g��)���µ����^�����X���W�^,��
�����룬�Л]�п��ܡ���о��(gu��)�H�ܴ���14�{��оƬ,���䌍(sh��)������@߅���ļ��g(sh��),��
��Ȼ��Ԓ����о��(gu��)�H��ʲô�M(j��n)չ�������,��
����(gu��)��I(y��)��֪��֪��,���l��֪����(du��)���Ў�׃ɡ�
�@Ҳ�Ǟ�ʲô�p��оƬ�����@ô�ã�߀���кܶ��˲��_�������Dz�����о��(gu��)�H����,��
����������d�Ƽ����ļ��g(sh��),������ǵ����}�Ϳ����ˡ�
оƬ�O(sh��)Ӌ(j��),������z,����̼��g(sh��)�����漰���l֪���������}�O��������,��
�����·�(gu��)��֪���ľ�������,�����o(j��)�֡����|��,������־��Ժʿ,���������J(r��n)�R(sh��)��Ժʿ�أ�
��ǵ������l,��
��������ͨ��ͥ��,��
�·�(gu��)�Dz�������ȥ�룬��Խ�l(f��)�X���������,��������߀�� ��,��������ؾֵ��ױ��H���ˣ������d�Ƽ���˾Ҏ(gu��)������,���@����ͨ����������,��
��ǵı��������·�(gu��)������Խ�l(f��)��˷���x,��
��һ߅,��
�ײ�˹ͬ�Ӻܳ��@��
���c�·�(gu��)�����һ��,���ѽ�(j��ng)��Щ��������ǵı���,���@������ͨ��ͥ���Ͽ���
��������ݱ�������(ji��n)��,����ʲô��(hu��)��ɽկ�C(j��)�_��,������(y��ng)ԓֱ�ӽӹ܇�(gu��)��
���Ү�(d��ng)�����d�Ƽ���˾���{ͨ��˾,�����Ʋõ��l�R�Ʈa(ch��n),����ʲô�]�˳��֎�æ��
���f��Ǜ]������,������(sh��)�(y��n)��һ��Ժʿ,����̎�����������}��
���f����б�����,��һ·�߁�,���������ǿ��Լ����]Ҋ�����˳��֎�æ��
�������Л]�б����@��(g��)���},�����_ס���·�(gu��)�Ǻ��ײ�˹,��
����t�Dz������ʲô������ֻҪ����̙C(j��)���þ���,���Bæ���h����
��ꐿ��㿴�@���в���,����̙C(j��)�ҽ�o�㣬��Ҳ�������X,�������@߅�Ĺ�̹��̎��^Ħ�����ع⼼�g(sh��),���㿴���Ԇ��
�^Ħ�ɂ�(g��)�ֺ�����,����Ҳ���f�W(xu��)��(x��),�������˽����ԡ�
��������,�,���
�������̕�˼����
�����ع⼼�g(sh��)���W(xu��)��ȥ,������о��(gu��)�H��¶���L(f��ng)�U(xi��n)��������,��
ԭ��ܺ�(ji��n)�Σ��F(xi��n)����о��(gu��)�H֮���Բ�������,�����������V�������]EUV��̙C(j��),�����Բ��������a(ch��n)14�{��оƬ�Ŀ��ܡ�
��������ع⼼�g(sh��)й¶,��������֪����Ԓ,������о��(gu��)�H�@�w���ӿ��ܾͱ���ס�ˡ�
���^�F(xi��n)����������C,����о��(gu��)�Hͬ�ӕ�(hu��)��¶,��
Ҫ���˼ҹ�̙C(j��)��߀���˼ҹ�̹��̎��^��,�������(hu��)��ô��,��
��(qu��n)�������^������Z������,��Ŀ��ֱҕ����f�������ҿ����������,����
���]�м����ش𣬶��dž������P(gu��n)�ĵĆ��},��
�����ܲ��ܻ�������,��
����ā����Ź���,��Ҳ�����ݹ���,�����@�Σ�����Ȼ�QȻ���Q��������ָ�������ҿ��Ԍ�(du��)��l(f��)�ģ��^��й¶�����ع⼼�g(sh��),�,���
�����
����c(di��n)���c(di��n)�^,��
Ҫ���˼ҹ�̙C(j��),�������ܲ��˼ҹ�̹��̎��^�����@�c(di��n)����������߀�Ƕ���,��
���^,�������Ǜ]�l����
������������C��,������f���Լ��������뷨���������̙C(j��)���Ұ���,�������Ժ��ҕ�(hu��)�˽��ゃ�����ع⼼�g(sh��),�,���
�@��Ԓ������ˡ��ゃ�����·�(gu��)�Ǻ��ײ�˹�D���D,������ͬ�������҂�Ҳ�з�,����
����Ȼ�,���
���Ц��Ц,���ش��������λ�܁�ѩ����̿���Ҳ������^�Ӳ��,����Ҷ�������(gu��)��I(y��),��оƬ�I(l��ng)��߀��Ҫ�y��ͬ�С,���
�̘I(y��)�I(l��ng)���������Դ�����,����оƬ�I(l��ng)����Ҫһ��(du��)�⣬��(n��i)�����������О�,��
�˼Ҷ���������,��߀��(n��i)����
���@����߀��������ɷ���,������������(g��)�����һ���,��
�·�(gu��)��������¶��Ĩ���p��¶��ĨЦ���f������оƬ�I(l��ng)��_��(sh��)Ҫ�y�ֲ��M(j��n),����Ȼ�����߅����̙C(j��),�����H�i���F(tu��n)�o���댧(d��o)�w�衭����
���ȵ����Ͽ�����
���ͻȻ�����,����Щ������˼�������䌍(sh��)���䌍(sh��)�҂����d�Ƽ�Ҳ���˰댧(d��o)�w��Ƭ����
�·�(gu��)�ǣ���������
�ײ�˹����������
����ƽ����������
�@��(ch��ng)��(hu��)�h����ֱ���üһ���,��һ��(g��)��(g��)�صÉ���,������@��ԒҲ�_����˰��룬�S��������������˰댧(d��o)�w��Ƭ,���ָ����z,���@��Ҫ�p���R�£���
����,������ץ,����
����x���^�m(x��)̹��,��
����������
�ײ�˹�L(zh��ng)��һ�ښ�,�����������J(r��n)�R(sh��)������ǰ㣬�п��������]�뵽ꐿ�Ұ���@ô��,����Ҫ�Լ����°댧(d��o)�w��Ƭ����z��,����
�����DZ��Ƶ�,�,���
�����������������,��
������DZ�����,���lԸ�⻨�X��댧(d��o)�w��Ƭ����z��
�댧(d��o)�w��Ƭ߀���f,������zȫ��Ͱك|�����Ј�(ch��ng),��߀������u���_(t��i)�֙C(j��)ٍ�X�ء�
�mȻ����z�Ј�(ch��ng)����ôٍ�X,�����治�ܛ]��,��
�]�й���z���͛]��оƬ,���]��оƬ�͛]���֙C(j��),�����߀���DZ������Ƶġ�
��߀�e�f,������댧(d��o)�w��Ƭ����zͬ�r(sh��)����,���Ǿ��x��ȫ����оƬ���a(ch��n)Ҳ�Ͳ��h(yu��n)�ˡ,���
�ײ�˹Ц�����͵�,��
��Ǯ����@��(g��)����ѽ�(j��ng)�@Ⱥ�Ͽ����^��,��
�_��Ҳ����L(f��ng)����y,���Bæ��B(t��i)������ꐿ�������O(sh��)�䣬߀ȱʲô,���XҪ��Ҫ,�����@߅����Ͷ�Yʮ�|�o��,����
ʮ�|�Y���ѽ�(j��ng)�����ĘO����,������ٶ��Ԓ,���ǾͲ����������İ��������,��
�oՓ���F�N��˾,��߀�Ǵ���˾��������H�i��˾,���ɖ|�ɶ��o�Ռ�(sh��)��(qu��n)��,��
�������пƼ���˾�������d�Ƽ��������һ��(g��)�˰ٷְٿع�,��
���f���X,����
����`��һ�W,��ͻȻ�뵽�˹�̏S�����Ӽ�����,�����ɵÿ����ˆ����������Ђ�(g��)���}����֪����λ�Ͽ�֪��֪��,��С�����Ӽ�����Ҫ�����X,����
��С�����Ӽ���������
����ƽ����,����������(du��)оƬ�ИI(y��)��ʲô����,��
�ײ�˹�����,���_���������U,���ׂ�(g��)������������Ҳ�����@��(g��)�|����ʲô,��
����Ҫ���Ӽ�������ʲô,����
ͻȻ��
�·�(gu��)���_����,��
��ü�^�o��,���M�Dz��⡣
���Ӽ���������оƬ�I(l��ng)����O(sh��)�䰡,��������]ӛ�e(cu��)��Ԓ,���@�Dzٿ��^���ӵ��O(sh��)�䡣
һ����r��,�����Á팍(sh��)�F(xi��n)���ӌ�(du��)ײ,��̽�����|(zh��)�Ļ�����(g��u)�ɣ��о���С�����ӽY(ji��)��(g��u),��
�������팍(sh��)�(y��n)��,���t(y��)�W(xu��)��(y��ng)��,�����Ϲ��̡������о��������õ����Ӽ�����,����оƬ�I(l��ng)��,�������f�߿Ƽ����g(sh��)�I(l��ng)��(y��ng)ԓ�ò������Ӽ������ɣ�
�y���ɡ�
�о��ɿغ˾�׃,��
��(du��)�ڹ�̹��S������,����Ǜ]���x���֪�������[�ޱ��_(d��)�������о����ͼ��g(sh��)�õõ�,�������놖���ゃ�ܲ���ԇ����æŪһ�_(t��i),����
Ҋ��Dz����f,���·�(gu��)��Ҳ�]�д���ɰ偆�����,���������Z��������?gu��)���� �� �����^���Ӽ������ɲ�����,������ֻ�з��g��С,��ҲҪʮ�|���ϵ��Y��,���
��˻������
�ײ�˹���˵���һ�ڛ���,��
���g��С�ęC(j��)������Ȼ��Ҫʮ�|�Y��,���@�M���DZȹ�̙C(j��)߀�F,��
�����˰��룬Ҳ���@�x�V�ăr(ji��)����,�����^һ�뵽���ǽ�����̹��S���ĺ����O(sh��)��,��ֻ���c(di��n)�^�ؑ�(y��ng)������ʮ�|���Ͼ�ʮ�|���ϰɣ����Ͽ���������ͺ�,�����x��,����
DUV��̙C(j��)��?y��n)��?93�{�ײ��L(zh��ng)���������,�������M(j��n)��7�{�����µ�оƬ����,��
��Ҫ������܇����Ҫ��������å��Ę,���Ǿͱ�횓�������(gu��)�����Ĺ���O(sh��)��,��
�r����һ�f���v��δ��оƬ�϶���Ҫͻ��7�{�����µ�,���F(xi��n)��һ�c(di��n)һ�c(di��n)ȥ����,��δ��I�����f�������Ԏ�����δ������I(y��)�l(f��)չ,��
�����I��,�������I̿,���ǿɲ�����ǵ������L(f��ng)��
����ꐿ���ȱ�X��,����
�_��������һ��,���F(xi��n)�ھ���߀�]����֡�
�H�i��˾,������˾,���{(l��n)�G�S���г��������F�N��˾�����X,�������ع⼼�g(sh��)�]����զ�k,����Ҳ�돝����܇��,��
���F(xi��n)�ڕ��r(sh��)��ȱ��,��Ҫ���_���������e�X��Ԓ�����ǿ����c��ͬ��,��ŪЩ����z�O(sh��)���,��һ������㵽Ҽ��ͻ�ơ,���
��?y��n)��J����ʮ��|,�����߀��IJ�̫ȱ�X��
�����@������ļ��I(y��)�˲�,����Ҳֻ���˲���1.5�|,��߀��8.5�|����(d��ng)�Y��]���á�
�_�����ε�Ŀ�⿴���ײ�˹,���������f������Ҳ���,����ҲҪ����оƬ���a(ch��n)�,���
�ײ�˹�����]�k��,���c(di��n)�^ʾ���(hu��)������
��ꐿ����Ђ�(g��)���},�,���
��Ĭ���S�õĶ���ƽͻȻ�_�ڣ��������ڈ�(ch��ng)������ע����,��
��ǣ����ο����f,����
������ꐿ����f��,�����d�Ƽ�Ҳ�в��ְ댧(d��o)�w��Ƭ�I(l��ng)��,�����놖���ゃ�F(xi��n)�ڵ���һ���ˣ���
����ƽ�f��,�����a(b��)��һ���������������ֵ�Ԓ,�����X�þ͛]��Ҫ�˰�,���Һ����Ͽ������Խo�㹩��(y��ng)�댧(d��o)�w��Ƭ�,���
�����]�����d�Ƽ��l(f��)չ�r(sh��)�g̫��,�������ܲ���̫�ã��@Ҳ�Ǟ���ǵ��X����,��
�����댧(d��o)�w��Ƭ,��������͵͵���փ����ˡ�
�{(l��n)�G�S���˃���r(sh��)�g,�����㏊(qi��ng)����6��댧(d��o)�w��Ƭ,��Ŀǰ�ѽ�(j��ng)�칥��8���Ƭ�ˣ�����12��,�������붼������Ĵ���,��
�·�(gu��)���ԣ�Ҳ���͵������]�e(cu��),������M(j��n)��(ch��ng)�r(sh��)�g��,�����Էŗ���I(y��)���аl(f��)�����ĸ����z,���댧(d��o)�w��Ƭ���҂�����(y��ng),����
����,����
��Ǔu�˓u�^,�������ؑ�(y��ng)��������λ�Ͽ����댧(d��o)�w��Ƭ����z�Ҷ���Ҫ����ץ,��6���8��Ĺ�Ƭ�ɱ�̫����,�����Ҫ�M������12�磬���ܸ��χ�(gu��)�Hˮƽ,�,���
12��댧(d��o)�w��Ƭ��
�·�(gu��)���c����ƽ���(du��)ҕһ�ۣ����������˴�Ŀ���е���Ĩ�o���c�|(zh��)��,��
�����������������,������12��댧(d��o)�w��Ƭ��(sh��)��̫�y��
6��Ͱ�������ס��,��12��,��
���d�Ƽ�Ҫ����ã�
���ɷ��J(r��n)����,�������оƬ�O(sh��)Ӌ(j��)��̷���,�����кܸߵijɾͣ����@�ǹ��I(y��)��������(gu��)���ǹ��I(y��)��(qi��ng)��(gu��),���B����(gu��)�������I(y��)�I(l��ng)��˾���]������������,�����d�Ƽ���˾�܉�̕r(sh��)�gͻ�ƣ�
����Ȼ���,�,����·�(gu��)�Ǜ]������nj��ĸ����z����������豭վ�������������҂��ͻ��ͻ���,�������оƬ���a(ch��n)�ij����]�h(hu��n),����
���Բ���ƣ���
�ײ�˹Ц��Ц,��Ҳ����豭,��
�_�ơ�����ƽ�Լ����Ҳ��������,���������Լ��豭�ؑ�(y��ng)����
���Ȼ��ͻ�����,����
���̘I(y��)�������ȷ�һ߅,��оƬ������,���҂��͑�(y��ng)ԓһ��(du��)��,���������(gu��)С����,����
���f�Û]�e(cu��),�,���
���ͬ������豭վ����������Ŀ��۽���������,��
ֻҊ����ǹ��ճ�Ĩ��������,��Ц�f�����������λ�����ǰ㣬�̘I(y��)�������ȷ�һ߅,���F(xi��n)��һ��(du��)��Ū��оƬ,������z�O(sh��)�������Ͱ����ˡ,���
Ԓ����,��
���в�ˮһ��M��
������λ�Ͽ�ͬ�����,�������_(d��)���Լ��ěQ��,��
ƽ�r(sh��)�̑�(zh��n)��(ch��ng)����������ƴ��(g��)�����һ�,��
���F(xi��n)��,����������������(gu��)��I(y��)�^����ʺ�����ˣ�߀��(n��i)���أ�
�ײ�˹��ɵ,���·�(gu��)�Ǹ���ɵ,������ƽ���_��,�����ͬ�Ӳ�ɵ,��������x��ǰ������߀���ܔ[���Լ�λ�õ�,��
��(d��ng)������]�S��ˮ?d��ng)���,���{ͨ��˾Ҳ����(hu��)�óѣ�������˾Ҳ�������@ô����(d��ng),��
�ڎ��˽Y(ji��)�˕r(sh��),�����{(l��n)��˾���B�빫˾,�����ɹ�˾�Ͽ����B���T,�����_(d��)�Լ���ͬ����Ը��
����(gu��)�֙C(j��)��I(y��)����,�����^�ǔQ����һ���K,���lҲ������һλ���Ʋõ����Լ���
��(d��ng)��nj�����һλλ����,�������k���ҵ���ش�ǰ,�������h(yu��n)̎�����Z�������댧(d��o)�w��Ƭ������z,����̹��S����Ҫ����,����(gu��)�a(ch��n)оƬҪ�ߵ�·߀���L(zh��ng)���,���
�F(xi��n)�����d�Ƽ��ѽ�(j��ng)���Ԫ�(d��)���O(sh��)Ӌ(j��)оƬ,�����������оƬ���a(ch��n)���nj���(sh��)�F(xi��n)�������x���]�h(hu��n),��
11N�댧(d��o)�w��ƬҪ��,��
����z�Լ�����(y��ng)����ԇ������ҲҪ��,��
EUV��̙C(j��)�㲻��,���Ǿ͓Q�N˼·�����̹��S,��
���箔(d��ng)����������,����̙C(j��)���ǂ�(g��)�l(f��)����(w��n)����Դ���O(sh��)�䣬ֻҪ�ܽ�Q��Դ���},�����ஔ(d��ng)�ڽ�Q�˹�̙C(j��)�Ć��},��
һ����̹��S����,���Ǿ��x����(gu��)�a(ch��n)оƬ���h(yu��n)�ˡ�
������(gu��)�a(ch��n)оƬ����������,����̙C(j��)�Ʋ�,��ԭ�����Ʋã�оƬ�I(l��ng)��ĸ��N����,������(hu��)��ʽ�S��һ���o���^���ďU��,��
�¹�(ji��)�e(cu��)�`���c(di��n)�ˈ�(b��o)��,����(b��o)�ͺ�S�o(h��)�ˆT��(hu��)�ڃɷ�犃�(n��i)У���¹�(ji��)��(n��i)��,��Ո(q��ng)���ĵȴ���